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文档简介

.,厦门联芯P1集成电路制造项目制程排气系统设备介绍,.,1.系统流程图,.,1.洗涤塔,.,1.洗涤塔,.,2.洗涤塔附件-循环水泵,循环水泵作用:提供洗涤塔喷淋所需的循环水型号:YD-65VK-BK7.55品牌:WorldChemical设计流量:45m3/h各系统需求流量:AT60m3/h水泵运转数量:2+1AK54m3/h水泵运转数量:2+1EPIG36m3/h水泵运转数量:1+1BAC36m3/h水泵运转数量:1+1常见故障:1.循环水泵马达异响原因:轴承磨损处理方式:更换轴承2.马达接线盒进水原因:接线盒防水平安装,接线处密封垫偏小处理方式:更换接线盒3.水泵与马达连接处漏水:原因:施工不良,内部管路未粘胶水处理方式:重新粘结管路,后续施工加强监工,.,2.洗涤塔附件-水箱液位开关,水箱液位开关作用:显示洗涤塔水箱液位型号:FGDCFU5P30850(长度85CM)厂牌:凡宜常见故障:1.液位计表头进水原因:盖子没拧紧或接线处密封不良处理方式:检查漏水原因,做相应处理,线管安装时应注意下垂,使水不容易进入液位计2.此液位计安装与NaOH药桶中会时间久了容易结晶造成浮球卡住,需用水冲洗,此片法兰需现场加工,.,2.洗涤塔附件-ph感测器,水箱液位开关作用:侦测循环水PH型号:EPHM/HF厂牌:EMEC常见故障:1.PH计不准原因:过滤杯过脏,导致无法侦测的新的循环水/PH长时间未校正处理方式:1.清洗过滤杯,目前一个月洗一次,建议半个月洗一次。2.使用手持PH比对,当误差超过0.5需要校正,若可以校正说明PH计没有问题。目前PH一个月校正一次。3.若校正后PH相差还是比较大,则怀疑是PH计本身故障或PH延长线故障(延长线中间有接头),可以使用备用延长线更换,检查是否OK.,清洗,校正时关闭此阀门,安装时此线管尽量垂直,并固定,.,2.洗涤塔附件-导电度感测器,导电度感测器作用:侦测循环水导电度型号:ECDHLC/1厂牌:EMEC常见故障:1.导电度数值不准,此时需要及时比对校正。有时可能是电极触电氧化接触不良,必要时更换电机延长线,.,2.洗涤塔附件-循环水流量感测器,循环水流量感测器作用:侦测循环水流量型号:AXF150G/AXF80G厂牌:Yokogawa常见故障:,.,2.洗涤塔附件-洗涤塔水洗过滤网,作用:防止异物进入水箱,堵塞循环水泵保养周期:每周检查清洗一次。,若不及时清洗,滤网过脏,塔体的水进入不到水洗,导致塔体液位高于水箱液位,而液位计安装于水箱一侧,这样会造成低液位补水电磁阀打开补水,造成水溢流,浪费,.,2.洗涤塔附件-洗涤塔补排水电磁阀,作用:控制补排水球阀开关型号:OM1-Aseries厂牌:DDD常见故障:执行器电机故障更换执行器,施工时需注意溢流排液管压高于溢流口,否则水会溢流,造成浪费,.,2.洗涤塔附件-洗涤塔现场操作盘盘面,循环水流量计,PH计,导电度计,循环水液位计,状态显示灯,风车压差开关,循环泵,加药泵,补排水控制旋钮,状态显示灯测试按钮,.,2.洗涤塔附件-PH计,PH计型号:JDPH厂牌:EMEC作用:PH计与PH感测器配合使用,控制加药泵动作。设定值:AT:7.59.5(PH低于7.5加药泵启动,高于9.5加药泵停止)AK:4.56.5(PH低于6.5加药泵启动,低于4.5加药泵停止)故障处理:1.当PH显示数值不准确时,可以检查校正PH感测器,若无法校正可以采用交叉比对的办法(将已知正常的PH感测器换上去看PH是否正常,若正常说明PH感测器损坏,若不正常说明PH计损坏)2.检查PH仪表接线是否松动3.PH测试杯过滤网太脏导致探头感应时间变长,加药延迟。,.,2.洗涤塔附件-导电度,导电度计型号:JDGITALCD厂牌:EMEC作用:导电度计与导电度感测器配合使用,控制排水电磁阀动作。设定值:AT:12ms/cm(导电度高于12ms/cm,排水电磁阀启动)AK:11ms/cm(导电度高于11ms/cm,排水电磁阀启动)故障处理:1.当导电度显示数值不准确时,可以检查校正导电度感测器,若无法校正可以采用交叉比对的办法(将已知正常的导电度感测器换上去看导电度是否正常,若正常说明导电度感测器损坏,若不正常说明导电度计损坏)2.导电度一般三个月校正一次,基本上没有问题,.,2.洗涤塔附件-液位显示表头,液位显示计型号:TAIKS2-412PA-2DP7A41D厂牌:台技作用:液位显示表头与液位计配合使用,控制补水电磁阀动作。设定值:65%73%(低于65%补水电磁阀打开补水,高于73%补水电磁阀关闭停止补水)故障处理:1.液位异常时,检查水箱过滤网是否干净2.若很明显的错误,比如实际水位大概65CM,而液位显示为0或99,则仪表本身故障(之前有这种情况,现场已将所有仪表更换,原因为仪表制造厂商的原材料有瑕疵),.,2.洗涤塔附件-液位显示表头,液位显示计型号:TAIKS2-412PA-2DP7A41D厂牌:台技作用:液位显示表头与液位计配合使用,控制补水电磁阀动作。设定值:65%73%(低于65%补水电磁阀打开补水,高于73%补水电磁阀关闭停止补水)故障处理:1.液位异常时,检查水箱过滤网是否干净2.若很明显的错误,比如实际水位大概65CM,而液位显示为0或99,则仪表本身故障(之前有这种情况,现场已将所有仪表更换,原因为仪表制造厂商的原材料有瑕疵),.,2.洗涤塔附件-循环水流量计,循环水流量计型号:AXF14G厂牌:Yokogawa作用:循环水流量计与循环水流量感测器配合使用,显示洗涤塔循环水流量。正常值:AT60M3/hAK54M3/hEPIG32M3/hBAC32M3/h异常处理1.检查循环各阀件开关状态是否OK2.当流量低于上述正常值时先确定水泵是否正常运转,再检查循环泵出口压力,若出口压力变大说明管路堵塞,流量减小,此时需要切换水泵检查出口型过滤器。3.若循环泵出口压力正常,流量减小,则需要检查水箱液位是否足够,保证水泵可以吸到水,若液位正常则检查循环泵进口过滤器或者泵头是否有堵塞(此工作需要水泵断电,把水泵拆开检查)4.若循环水泵在停止状态下,循环水流量在0.12之间判定为正常,若数值在1030之间跳动,则检查仪表设定,其中有一项是空管警报,此项关闭后就不会乱跳。5.检查循环管路出口逆止阀是否完全关闭,若没有完全关闭时在水泵停止状态,循环管路中的水导流导致循环水流量有数值显示。,.,2.洗涤塔附件-风车压差开关,风车压差开关型号型号:PhotohelicA3000-25cm厂牌:Dwyer作用:显示风机开关状态正常值GEN/AS2000BAC/AT13000AT2/AT3/EPI/SOL2500故障情况:1.风车开启状态,数值是0,检查风机前后段气管是否堵塞2.风车关闭状态,有数值,检查仪表是否未归零。,.,2.洗涤塔附件-风车压差开关,风车压差开关型号型号:PhotohelicA3000-25cm厂牌:Dwyer作用:显示风机开关状态正常值GEN/AS2000BAC/AT13000AT2/AT3/EPI/SOL2500故障情况:1.风车开启状态,数值是0,检查风机前后段气管是否堵塞2.风车关闭状态,有数值,检查仪表是否未归零。,.,2.洗涤塔附件-水泵,补排水电磁阀旋钮,旋钮左边,LOC启动,旋钮中间表示关闭,旋钮右边表示自动状态(图控控制),.,2.洗涤塔附件-SCR盘背面,循环水泵电源,维修时需断电,维修后切机复原,各信号端子排,信号断线时检查其保险丝是否完好,.,2.洗涤塔附件-加药泵,洗涤塔加药泵型号:VAMD07063/VAMD12042厂牌:普罗名特作用:输送化学品至洗涤塔常见故障:1.加药超时a.泵进口有空气泵动作时未吸到药液,排气,使进口管路为满管得药液,不要有空气。b.隔膜损坏导致动作时没有产生吸力,更换隔膜。c.泵进出口单向阀结晶卡死,清理冲洗进出口单向阀d.加药泵冲程比较小,调大2.泵未启动,药液自流至洗涤塔,PH异常a.施工时未按照标准安装背压阀,导致虹吸(泵出口高于洗涤塔加药口),.,2.风车,.,2.风车,.,2.风车附件-CDA阀组,CDA调压阀型号:GER400-15厂牌:AirTAC作用:调节CDA压力,过滤CDA杂质常见故障:1.漏气,检查与调压阀相连接管道是否锁紧,2.CDA调压阀过滤杯中有杂质,施工环节严格管控,对于丝口连接的管道,套死完要彻底清洗丝口油污,用空压机吹干,对于焊接的管道,焊接时充氮气保护,焊接完毕要进行吹扫,吹扫不能使用系统的CDA,.,2.风车附件-烟囱流量计及pugebox,烟囱流量计型号:EJA110E-DFS5G-912DB厂牌:YOKOGAWA作用:显示烟囱流量常见故障:1.风机正常运转情况下,烟囱流量为0,检查流量计两侧气管有无进水堵住,接头处若没有锁紧,一般下雨后雨水进入会有这种情况,清理后即可恢复。2.烟囱流量与实测值相差比较大,此时需要校正,安装时表头要前后左右都保持水平

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