JMP的使用PPT课件

.1，JMP电池章小蕙2009.12.07，2，(1) JMPDOE设计，(2) JMP数据分析，(3) JMPDOE分析，3、JMPDOE设计，根据OTBPECVD工艺因素的影响，实验分三部分设计。目的：找出影响效率的最重要因素，选择6个因素。包括：PHTTOP、DCHTOP、sourcecurrent、gasratio、totalflow、PUMPFREQUENCY DOE 2(表面DOE) :找出影响较大的三个因素，并在实验的三个因素中设计出最佳的工艺参数设置。其中三个因素包括：PHTbottom、dchtop和gaspatio。验证实验：根据前两次的结果，验证最佳工艺的稳定性。4，screenningdesigndoe，进入如图所示的screenDOE设计界面。选择PHTTOP、DCHTOP、sourcecurrent、gasratio、totalflow、pumpfrequency这六个因素，每个因素选择1、2、3、水平，例如，上图每个因素选择2个水平，实验设计。5、筛选设计方案，选择实验方案的类型：工艺组的数量、排列的顺序以及各因素间交叉实验的类型。6、筛选设计方案，该方案包括流程的顺序、参数的配置等。一目了然。对于表面DOE 2的设计，选择表面设计，进入正确的界面添加所需的实验因素，并清楚地填写它们的名称。在表格中填写每个因子的上下限，JMP可以自动取这个范围内的值来设计实验。对于8的设计，曲面2，选择设计实验的类型、过程的数量、中心的数量和对称的类型。右图显示了可选列表工艺方案的显示顺序。如图所示，如果列表是随机的，则每次排列顺序可能不同。对于9、SurfaceDOE2的设计和工艺方案JMP自动值列表，如图所示，分析jmp数据和显示各工艺之间的结果趋势：复制原始数据并粘贴如图所示，然后数据将显示在JMPdatatable中。单击可变性/量表图表。嘿。11、JMP数据分析如右图所示，将待显示的数据添加到VOC、ISC、NCELL等中。在Y表中，将组和分类项目添加到Xgrouping中，然后单击确定。嘿。12，JMP数据分析，13、JMP数据分析，以及生产变化趋势图运行图，如图所示，进入右边界面。选择要显示的参数，如挥发性有机化合物、ISC等。然后在样本标签中选择样本标签。单击确定。嘿。14，JMP数据分析，选择所需图片，复制并粘贴，以便查看分析结果。分析JMP数据，数据分布：检查数据是否符合正态分布。并且可以显示每个数据的百分比。16、JMPDOE的实验分析、数据准备：首先对原始数据进行处理，剔除异常后，每组参数的平均值与DOE利用枢纽表设计的方案相对应。然后将其粘贴到JMPdatatable中。JMP能源部实验分析，JMP实验分析：通过制作模型可以获得实验的可靠性和真实性。同时得出各因素对结果的影响程度和预期的变化趋势。如右图所示，选择效率NCELL作为Y值分析，影响因素为前一个DOE2设计中的3个因素：井底压力、双进双出和气比。考虑这些因素是如何相互作用的，在宏中选择相应的动作模式，处理数据，然后单击运行模式获得相应的模型。当RSQ相对标准偏差为0.8时，对JMP数据的分析表明，在变化因素和结果之间建立的模型符合实际情况。如图Rsq=0.87所示，该模型非常成功，具有一定的参考价值。如右图所示，显示了各种因素对结果的