CDS-(中央供酸系统).ppt

CDS(中央供酸系統)CenterChemicalDispenseSystem,Preparedby：Date：,CDS：系统目的,2,供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案供应高纯度化学品以显影芯片图案供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物供应高纯度化学品以研磨芯片供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件,3,客戶需求:,N2,Chemical,Chemical,温度、压力、流量、方向、位置,温度、時间、浓度,化学品之种类与用途(一),4,酸性:腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4.毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE.碱性:NH4OH,KOH,Developer.有机溶剂易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液.腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS.氧化性:HNO3,H2O2.,化学品之种类与用途(二),5,系统基本要求,6,操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品兼容微粒子控制：过滤器循环过滤满足最大需求流量：高浓度化学品如H2SO4、H3PO4自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化取样分析：系统、管路之粒子数、金属离子取样分析泄漏警报：侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO)系统诊断：Pump、Filter、Valve运转时数维修保养管路AutoPurge/Flush功能化学品用量统计,化学品供应质量要求,7,系统流程图(一),8,CCB,StorgeTank12m3,CDU,VMB,T,T,T,VMB,VMB,VMB,Tool-1,Tool-2,Tool-3,Tool-4,6m3,Tote1m3,200L,Drum,化学槽车充填衔接站将化学品由槽车以N2加压直接输送至Tank,适合使用量较大之化学品,如H2O2,H2SO4等,适合使用量中等之化学品,如HF,H3PO4等,适合使用量较小之化学品,如BOE,HNO3等,将化学品经循环过滤,再经N2或Pump加压输送至有需求之生产机台内,将化学品经管路分配至不同生产机台,S,可依实际用量需求选择使用,TeeBox,SamplingBox,系统流程图(二),9,TOOL机台,OCP,SCADAComputer,HUB,CDU,T-BOX,主管路,GN2,加强讯号,循环过滤25”后供酸,启动CDU循环过滤后，同时由OCP供应GN2，打开VMB内气动阀，将化学品供应至TOOL,CHEMICALLINEGN2LINESIGNALLINE,供酸,VMB,泄漏警报,系统流程图(三),10,ToolSide,OCPSide,Trouble,Ready,Stop,Request,EMO,1.当机台需求化学品时,传送Request讯号给OCP2.OCP收到讯号后,会先检查CDU是否Ready供应若是，则回传Ready讯号若否，则回传Trouble讯号3.机台端EMO被压下时，则停止供应化学品,+24V,Chemical输送方式：,11,Chemical供酸方式（1）：桶槽供酸,12,Chemical供酸方式（2）：槽车供酸,13,CDS设备布置：,14,设备位置：,15,洁净室：1.使用点2.VMB阀分支箱)POU(使用点)机台操作控制介面电控程式连结,高架地板1.CDSVMB管2.VMB需求3.监控线4.液传感器,UtilitySubFAB1.管2.连接线裝置3.VMB,TeeBox裝置4.管连接(CDSVMB)5.管连接(VMBPOU),系统配置方式：,16,用：80200L/Day使用：较少用pump或压送的方式,Pump系統日需求TANK,系统配置方式：,17,用：3004000L/Day使用：较多用pump或压送的方式,压输送系統日需求TANK,系统配置方式：,18,用：4000L/Day以上用压送的方式,Pump系統日需求TANK,系统配置方式：,19,Pump系統PumpA,系统配置方式：,20,Pump系統PumpBWithdaytank,系统配置方式：,21,PressureTypePumpA,系统配置方式：,22,PressureTypePumpBWithdaytank,系统配置方式：,23,TankLorryType4000L/Day以上,CCB流程图,GN2linet,StorageTank,充填槽车,CDU,CDU之流程图(型一),Outlet,Pump,TransferFilter,SupplyFilter,GN2inlet,CDAinlet,Drum,DayTank,Tank,CDU之流程图(型二),Outlet,Drum,Tank,Pump,Trans/RecFilter,SupplyFilter,TEE-BOX构造,主管路,主管路,VMB,Drain排水Port,手动阀,箱体内侧下方装设泄漏侦测器,1.箱体以PP制成2.CPVC外盖3.箱体与外盖间以O-Ring密合4.管件以PFA制成,一般酸碱类适用,VMB构造,箱体内侧下方装设泄漏侦测器,DrainPort,inlet,ToTools,CDAinletFromOCPto气动阀,ForTheFutureUse,Purgeinlet,DrainPort,Exhaust,气动阀,手动阀,保养管路时需先以PN2将化学品Purge至机台端Drain,4,1,3,2,1.箱体以PP制成2.CPVC外盖3.箱体与外盖间以O-Ring密合4.管件以PFA制成,一般酸碱类适用,SAMPLING-BOX构造,1.将取样瓶置入,并关闭箱门2.按压按钮,再打开取样手动阀3.化学品流出达需求之量后,关闭手动阀,放开按钮4.打开箱门,盖上瓶盖,取出取样瓶5.清洁取样箱,按钮,手动阀,箱体内侧下方装设泄漏侦测器,Drain排水Port,inlet,1.箱体以SUS制成2.钢丝玻璃外盖3.箱体与外盖间以O-Ring密合,有机溶剂类适用,CDS：系统设备之材料要求,30,一般无机酸碱类外管：CPVC（氯化聚氯乙烯）内管：PFA（可溶性聚四氟乙烯）Piping&Tubing管件：铁弗龙材质制品有机溶剂类外管：SUS304内管：SUS316LEP管件：SUS316L以上制品有机碱类外管：SUS304内管：PFAPiping&Tubing管件：铁弗龙材质制品,31,ATCBumping化学供酸系統结构：,32,ATCBumpingCDS控制：,33,ATCBumpingCDSHookup介面及要求,VBox,RemoteBox,用酸设备,6芯控制线,每一点Hookup包含一管路及控制信号配线管路ASolvent:SUS外管+PFA內管BACIDPVC外管+PFA內管CVBox预留1/2阀口，hookup管径则视设备需要而定控制线路:6芯以上控制线路测试ARequired信号正常。B设备端EMO信号正常。CRequired信号下，EMO信号打开是否強制停止要酸信号。D开关供酸。,部份机台並沒有EMO信号接点，而使用本身的控制系統以断绝Required，此時更必须要求设备端模拟EMO狀況以确保安全。,34,ATCBumpingCDS混酸,35,ATCBumpingCDS混酸,体积比&重量比比重=质量体积*看客戶需求*目前比例(体积比)3MH2SO4H2O2H3PO4DI401003005009260AZ400KDI1:3AZDev.DI3:1BOEDI1:3,MixTank,Drain,粗调,微调,供酸,WetN2,Sensor,在调整配比的过程中，换算成重量不仅方便也更准确。,36,ATCBumpingCDSMixsystem,CDS：运转操作注意事项(一),37,充份阅读MSDS，认识化学品之物质特性，危害性，危害标示，危害途径及防护措施工作前，先行思考及演练各细节后，再行动工作时应双人以上搭配作业，事前事后确认正确选用及使用适当防护器具正确处理化学品废弃物，避免造成后续伤害良好个人安全卫生环保习惯认知工作安全”意外”意识,CDS：运转操作注意事项(二),38,熟知化学品泄漏处理七项步骤远离泄漏源辨示泄漏状况寻求协助支持管制隔离污染区拯救伤员围堵外泄物清除污染物及环境检测事故调查记录留存,CDS：运转操作注意事项(三),39,熟知化学品淋溅烧伤之急救处理稀释、去除污染在皮肤或粘膜上之有害化学物质自救-救人前应先保护自己冲-清水不断冲洗至少15分钟脱-边冲边脱并避免二次伤害支持-请求支持成立紧急处理ERT对HF时-须不断地涂抹葡萄酸钙(涂抹-按摩-擦净-涂抹)送-尽速送医,CDS：运转操作注意事项(四),40,熟知化学品吸入/食入/眼睛接触之处理原则1.维持