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第14章晶体薄膜的衍衬成像分析,GH710和GH720Li合金的典型组织,Inconel740合金中的相和晶内魏氏组织相,主要内容,衍衬成像原理消光距离衍衬运动学简介晶体缺陷分析,明场像:物镜光阑挡住衍射束成像暗场像:物镜光阑挡住透射束成像,14.1衍衬成像原理,对于B晶粒:,对于A晶粒,由于位向不同:,假设:1)B晶粒的某(hkl)晶面与入射方向恰好成精确布拉格角;或满足“双光束条件”;,2)A晶粒与内所有晶面均不满足布拉格条件,于是,明场像:用物镜光阑挡住B晶粒衍射束.图象衬度为:,中心暗场像:用物镜光阑挡住B晶粒透射束.图象衬度为:,14.2消光距离(了解),从动力学的角度考虑透射波和衍射波之间的相互作用。反映了衍射波随样品深度的变化规律。定义:透射波和衍射波强度在晶体深度方向上发生周期性震荡。震荡的深度周期定义为消光距离。,14.3衍衬运动学简介(从衍衬运动学的角度了解衍衬图象的形成原因),利用衍衬运动学原理可以计算各像点的衍射强度,定性解释透射电镜衍衬图象的形成原因.,基本内容:1)基本假设2)理想晶体的衍射强度3)理想晶体衍衬运动学方程的应用,1)基本假设不考虑衍射束和入射束之间的相互作用;不考虑电子束穿过晶体时的多次反射和吸收A)双光束近似B)柱体近似,2)理想晶体的衍射强度,理想晶体的衍射强度随样品的厚度t及衍射面与精确布拉格位向之间的偏离矢量s而变化.,3)理想晶体衍衬运动学方程的应用,A)等厚条纹(偏离矢量S恒定),B)等倾条纹(样品厚度t恒定),4)晶体缺陷的衍衬成像特征,与理想晶体相比,缺陷矢量R引入附加位相角,从而造成不同晶柱对应的衍射强度不同,可以反映晶体缺陷引起的衬度。,A)层错,倾斜于薄
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