气体动力32-01-大宗气体系统施工技术

,大宗气体系统施工技术,李华新,目录1、常用大宗气体系统的组成2、汇流排等设备安装技术3、大宗气体管道安装技术4、大宗气体管道系统的调试和测试,划,1、常用大宗气体系统的组成大宗气体纯化及输送系统工程技术规范定义大宗气体：对电子工厂中使用量较大的氮气、氢气、氧气、氩气和氦气的气体统称。,划,2、汇流排等设备安装技术1）简介：指瓶装高压气体，通过此设备减压到一定的使用压力，是集中供气体的一种设备。汇流排由左右两根汇流主管道组成，中间有四只高压阀门，分别控制左右两组汇流管，每组有相当数量的分阀，软管及卡具连接气瓶，中间装有一块高压表，用来检测汇流管内的压力，高压阀门上方分别有两组减压器，以便控制调节使用压力及流量，减压器上方分别有两只低压阀门，用来控制两排汇流切换时的低压气体，汇流低压主管道装有一只低压总阀门，用来控制低压管道的气体。气体汇流排是一种集中充气或供气的装置,它是将多只钢瓶气体通过阀门、导管联接到汇流总管，以便同时对这些钢瓶充气；或者经减压、稳压后由管道输送到使用场所的专用设备，以保证用气器具的气源压力稳定可调，并达到不间断供气的目的。,划,2、汇流排等设备安装技术2）安装技术所有的管路、阀门、压力表都由高质量的不锈钢构成，气体汇流排并且都是标准配件。所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管SS-316L组成，铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方（比如通风柜）根据实验室的用气量，计算供气压力、流量和管道的内径，所有气体主管道原则上不低于9.52mm（3/8in,仪器空气主管道直径为12.7mm）.管路末端，原则上不低于6.35mm（1/4in,也可根据实际使用量而定）。引到工作台的气体管路将安装单独的球阀或针阀来控制。气相色谱工作台上均匀的排放各种气体的出口龙头，管径为3.18mm(1/8in).在氦气管路前面建议安装气体净化装置。工作台上气体出口由单独的阀门来控制。气体管路每隔1.5m的距离，都要有明确表标示，同时指示气体的流向。,划,2、汇流排等设备安装技术所有管路在天花板下面布设，并通过功能柱到中央台。气体汇流排边台的气体管路隐藏在实验工作台后面服务通道内。易燃气体（如乙炔、氢气等）需要和其他气体分开，单独引入。所有气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时，才可以使用压力配件。每个实验室都要有单独的阀门、减压阀门、压力表。此外，对于供应多台分析仪器的气体管路，另外还需要气体压力控制指示装置。气体管路的支架要求耐腐蚀，可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。每隔1.5m左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的直径，气体汇流排设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。所有“U”性弯曲处根据安装情况，需要有支撑,划,3、大宗气体管道安装技术1）自动焊接焊接工序,划,3、大宗气体管道安装技术2）在下列情况，应进行样品的试焊每天正式焊接前每天下班前管子及部件规格变更焊接前管子及部件规格变更焊接结束后氩气的纯度变化时焊接程序变化时以上几种情况出现时，必须先焊样品，样品焊缝合格后，该参数即可采用，进行正式焊接。3）正式焊接作业当一张预制加工图上的整根管子组装、点固、完毕后，从进氩气端焊口开始，依次往后焊接，每焊一个焊口卸下焊头后，必须趁热刷亮，并自检外观质量。直至全部焊口焊完；经吹扫冷却后在管内停止充氩的同时，密封该管两端并在每个焊口旁编写顺序号，填写焊接记录表，经检验合格后，该图的预制工作结束。,划,3、大宗气体管道安装技术4）对样品焊逢的质量要求全焊透焊逢内表面银白色，热影响区不变色。内外焊波无明显内凹或内凸,波纹均匀，宽窄一样。内波纹宽度不小于外波纹宽的60%。焊缝外表刷亮错边量小于管壁厚的10%手工氩弧焊接遵守相关现场质量检查表。ZLBZ-HJJJGY-01洁净工艺管道焊接施工质量标准ZLBZ-HJBXG-01不锈钢管道氩弧焊接施工质量标准ZLBZ-HJJJQT-01洁净气体管道焊接施工质量标准,划,3、大宗气体管道安装技术1）不锈钢管焊接遵守ZLBZ-HJBXG-01不锈钢管道氩弧焊接施工质量标准ZLBZ-HJJJGY-01洁净工艺管道焊接施工质量标准洁净气体管道还要遵守ZLBZ-HJJJQT-01洁净气体管道焊接施工质量标准,划,4、大宗气体管道系统的调试和测试1）压力试验标准：气压试验压力应为设计压力的1.15倍。严密性试验为设计压力。2）严密性试验要求试验工作可在压力试验结束后连续进行，试验压力为设计压力，试验时间为24小时，实行24小时连续监视，试验开始就要记录起始压力值和起始环境温度及有关情况，然后每隔1小时检查记录一次。检查重点是焊口、阀门填料函、法兰、丝扣连接处等，最终考虑环境温度变化等因素。无压力降、无泄漏为合格。3）系统吹扫要求：A气体管道压力试验结束后，投运之前，应用上述试压用的同种高纯气体（纯度99.999）对输配管路系统进行彻底吹扫，达到不但吹除系统内的遗留粒子，而且起到对管路系统的干燥作用，去除管壁和管材所吸留的部分含湿气体。常用的吹扫方式为连续吹扫式和间断吹扫式，采用一种方式或两种方式并用吹扫流速应在20m/s以上。B吹扫过程中，吹扫口切勿直接对准人。防止事故发生。c吹扫人员戴好耳塞、手套；贴好吹扫标识。,划,4、大宗气体管道系统的调试和测试4)系统吹扫程序：氮气罐、汽化器已经调试合格；管路压力试验合格。方可进行管路吹扫。6.4.1将系统各干管、支管末端阀门全部关闭6.4.2将氮气罐后主控制阀开启，氮气充满主管路；开启过程注意不要触摸管路，防止低温冻伤。6.4.3逐一开启支干管阀门，氮气充满支干管6.4.4开启支干管末端吹扫阀，进行吹扫；当用洁净白纱布，遮挡住吹扫口，观察白纱布上无污物、颗粒即为合格。合格后进行下一步6.4.5逐一开启支干管预留阀逐一吹扫；,划,4、大宗气体管道系统的调试和测试5)注意事项安全：气压试验比较危险，如果没有采取保护措施容易造成人员伤亡事故。试压区域应该有明显的标识，闲杂人员不允许在试压区域来回走动。一些临时紧固的支架试压前要进行确认，有足够的强度后方可进行试压的正式工作。气体试验的泄压点要远离人员走动的地方，泄压时的阀门要缓缓开启，管道内的焊杂等异物吹到人身上也会造成伤害。升压过程要慢，过程中要检查固定和滑动支架的位移情况，超出警戒的部分要立即停止。防护：气压试验前要对周围的设备、配电箱采取保护措施，避免压力试验时损坏设备。升压：系统升压速度要慢，以满足巡查人员有足够的时间检查系统是否有漏点。稳压：稳压时对焊口的检查一定细致，气压试验时用肥皂水对每条焊缝进行检测。仔细查检焊缝是否有渗漏，如发现问题及时上报并进行处理，确保试压顺利进行。泄压：气压试验合格后泄压时气体流速大，躁音大