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1,第5节铸锭多晶硅的生产5.1铸锭多晶炉和热场的剖视图,铸锭硅是介于原始多晶硅与单晶硅之间的一种产品。铸锭硅虽然也属于多晶硅,但它的晶粒要比原始多晶硅大得多,一般为几到几十毫米。用铸锭硅片制做的太阳能电池片,虽然光电转换效率比单晶硅要低一点,但铸锭硅的生产成本比单晶硅要低,并且产量大。铸锭硅的生产也是把高纯多晶硅装入到铸锭炉中,先熔化成液态,通过铸锭炉的自动化的操作,使液态硅自下向上缓慢地重新结晶,生成一块大晶粒的多单晶体的铸锭硅来。见图16。,图16:铸锭炉室和热场的剖面示意图,5.2铸锭硅的生产过程简介,1.装炉:把铸锭炉室及石墨件清理干净,把经过氮化硅喷涂及烘烤的方形陶瓷坩埚放置到石墨底板中间,把多晶硅料和掺杂剂放入到坩埚中,再用叉车把石墨护板、陶瓷坩埚连同多,2,4.退火处理:坩埚内的液态硅全部结晶成固态后,把炉温控制在稍比熔点低一些,并让硅锭整体温度保持一致,退火处理34个小时,以消除硅锭内部的应力和裂纹,减少位错。,图17:铸锭硅的外形尺寸,晶硅料一并装入到铸锭炉中。关闭炉室,给炉室抽真空并通氩气。2.加热熔化硅料:给炉室内的石墨加热器通电加热。硅的熔点为1416,只有在高于此温度的情况下,硅料才能熔化成液态。从开始加热到硅料全部熔化成液态的时间,一般需要1621个小时左右。3.铸锭硅生长:通过缓慢提升隔热系统或缓慢降低坩埚的方法,使下部的液态硅温度降低首先凝固成晶体,并从下往上非常缓慢地长晶,长晶的速度大约为0.2mm/分左右。最后生成一个大晶粒的多晶铸锭硅来,这个过程大概需要2227个小时左右。,每开一炉的时间(含停炉冷却时间),随装料量的不等而不同。对装料450公斤的铸锭硅的生产而言,正常情况下,约需65个小时左右。,5.停炉冷却:把加热功率降低并关闭,让铸锭硅在炉内自然冷却813个小时。方可打开炉室,取出铸锭硅块,交检验部门进行原始硅块的初检。,5.3铸锭硅的外形尺寸,从铸锭炉生产出来的铸锭硅是方形的。装料,3,5.4生产铸锭硅的主要原辅材料,第5节复习题1、了解铸锭硅生产的简单过程。2、生产铸锭硅的主要原辅材料有哪些?,270公斤的铸锭硅的尺寸,一般为690690mm,高243mm左右。装料450公斤的铸锭硅一般为845845mm,高270mm左右。见图17。,1.高纯多晶硅:要求纯度6个“9”,使用前还必须经过高纯清洗。2.陶瓷坩埚:是盛装多晶硅料及液体硅的容器,主要成分为SiO2、Al2O3、CaO等。其形状是方形的,根据装料量的不同而有几种规格。3.高纯石墨件和固化碳毡:用于构成石墨加热器、护板、隔热材料等。
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