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文档简介

厂务系统概述,一、厂务系统功能,目录,三、厂务系统流程,二、厂务系统使用材质,一、厂务系统功能,1.1水系统在制程中的功能,1.2气体系统在制程中的功能,1.3化学系统在制程中的功能,1.4真空系统在制程中的功能,1.5排气/排水系统在制程中的功能,二、厂务系统使用材质,2.1水系统使用材质,2.2气体系统使用材质,2.3化学系统使用材质,2.4真空系统使用材质,2.5排气系统使用材质,2.6排水系统使用材质,三、厂务系统流程,3.1制程冷却水系统简略流程,3.2冰水系统简略流程,3.3纯水系统简略流程,3.4自来水/回收水系统简略流程,3.5CDA/GN2/PN2系统简略流程,3.6其他大宗气体/特气系统简略流程,3.7高真空/排气系统简略流程,3.8真空系统简略流程,3.9化学系统简略流程,3.10废水收集系统简略流程,3.11废水处理系统简略流程,WasteWaterTreatment,英文缩写对照,
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