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0621 14844一93半导体材料牌号表示方法of 14844一93半导体材料牌号表示方法of 晶、晶片和外延片产品牌号的表示方法。本标准适用于编制半导体材料的牌号。在编写国家标准和行业标准时,应采用本标准所规定的牌号表示方法。产品出厂时,应使用本标准规定的牌号标志。2牌号分类按照晶体结构和产品形状,半导体材料牌号分为多晶、单晶、晶片和外延片四类。3牌号表示方法3.,多晶牌号半导体多晶的牌号表示为:口一口一口一(口)一口1,2,3,4,5分别代表牌号的第一项至第五项。生产方法与特殊用途的组合,分别用英文的第一个字母或其字母组合的大写形式表示,其中:b. c. d. 牌号的第二项中子式表示多晶名称。别用英文第一个字母的大写形式表示,其中:a. b. 牌号的第四项中括号内的元素符号表示掺杂剂。家技术监督局1993一12一24批准1994一09一01实施 不掺杂等,其牌号相应部分可省略。3门了示例:a. b. c. 一口一口()一<)一一一11,2,3,4分别代表牌号的第一项至第四项。别用英文的第一个字母或其字母组合的大写形式表示,其中:a. b. c. d. e. 号内元素符号表示掺杂剂,单晶不强调生产方法或不掺杂时,其牌号的相应部分可省略。示例: B)一(100)表示晶向为(100)的(111表示晶向为(111)的(100)表示晶向为(100)的r+O)一100)表示晶向为<100)掺铬和氧的液封直拉砷化稼单晶。月曰砂,口一口一口()一<)丁下一下 14844一931,2,3,4,5分别代表牌号的第一项至第五项。牌号的第一项表示产品的生产方法或特殊用途,1条。另以以下英文第一个字母组合的大写形式表示为:a. b. c. d. 牌号的第二项用分子式表示单晶的名称。别用英文第一个字母组合的大写形式表示,其中:a. b. c. d. e. f. h. 牌号的第五项用密勒指数表示晶向。晶体不掺杂时,其牌号的相应部分可省略。a. b)-<111)表示晶向为(111)的b. <111)表示晶向为<111)的一口一口()一()1,2,3,4分别代表牌号的第一项至第四项。34.,牌号的第一项表示外延片的生长方法,a. b. c. d. 牌号第二项用分子式表示外延片的名称。号内用元素符号表示掺杂剂,分别用下列符号表示:a. n/b. p/p+表示在p+型衬底上生长 14844一93c. n/p(或p/n)表示在底上生长导电类型相反的外延层;d. n/I(或p/I)表示在绝缘衬底上生长延层;e. n/p/生长他多层外延片结构表示方法以此类推。示例:a. n+(P/<100)表示晶向为(100)衬底为重掺锑外延层掺磷的b. n+(e)一<100)表示
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