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东北农业大学本科课程论文刀具涂层技术理论研究学生姓名指导教师所在院系工程学院所学专业机械设计制造及其自动化研究方向机械设计及理论东北农业大学中国哈尔滨2015年12月目录摘要1关键词1前言31研究意义411粘结磨损412氧化磨损413剥落与崩刃414扩散磨损42国內外刀具涂层技术的现状521国外CVD技术的发展522国外PVD技术的发展523我国CVD技术的发展524我国PVD技术的发展63涂层材料的特点及要求631涂层材料的特点632涂层材料的要求64刀具涂层技术综述741化学气相沉积涂层7411高温化学气相沉积涂层的优点7412高温化学气相沉积涂层的缺点7413中温化学气相沉积涂层优点742物理气相沉积涂层7421物理气相沉积涂层步骤8422物理气相沉积涂层优点8423物理气相沉积涂层缺陷843等离子体化学气相沉积涂层8431等离子体化学气相沉积涂层优点8432等离子体化学气相沉积涂层缺点844溶胶凝胶法95刀具涂层改性意见96结语9参考文献10致谢11摘要机械制造工业是制造业最重要的组成之一,它担负着向国民经济的各个部门提供机械装备的任务。我国现代化建设的发展速度在很大程度上要取决于机械制造工业的发展水平,因此,从这个意义上说,机械制造工业的发展水平是关系全局的。机械制造中的加工方法很多,其中材料去除加工精度较高表面质量较好,有很强的加工适应性,是目前机械制造中应用最广泛的加工方法。材料去除加工又可分为切削加工和特种加工,切削加工是利用切削刀具从工件上切除多余的材料,这就要求切削刀具的硬度要比工件高得多。刀具切削性能的优劣取决于刀具材料切削部分几何参数及刀具的结构。目前生产中所用的刀具材料主要是高速钢和硬质合金,高速钢强度高韧性好,但硬度与耐磨性比硬质合金差;硬度合金硬度与耐磨性较好,但强度与韧性比高速钢差,而涂层刀具是在高速钢或硬质合金基体上涂覆一层难熔金属化合物,涂层刀具表面硬度高耐磨性好,其基体又有良好的抗弯强度和韧性,涂层硬质合金刀具寿命可提高13倍,涂层高速钢刀具寿命可提高1510倍。涂层刀具可以进行干切削,即无需在加工中使用切削液,从而节省资源,节约材料,降低能耗,减少排放,减轻对人及周围环境的污染,实现机械加工过程的绿色化,干式加工对刀具材料要求很高,它要求材料要具有很高的红硬性和热韧性,良好的耐磨性耐热冲击和抗粘结性,现在立方氮化硼CBN聚晶金刚石PCD超细晶粒硬质合金等超硬材料已经广泛应用于干切削。实验表明,干式切削理想的条件应该是在高速切削条件下进行,这样可以减少传到工件刀具和机床上的热量。经过大量的研究,高速钢和硬质合金经过PVDCVD涂层处理后也可以用于干切削,且成本较立方氮化硼CBN聚晶金刚石PCD超细晶粒硬质合金等超硬材料要低。实验表明,在加工铝硅合金和淬火钢中,涂层刀具与未涂层刀具相比寿命有大幅度提高。关键词涂层材料;涂层刀具;切削性能;刀具寿命ABSTRACTMACHINERYMANUFACTURING,ONEOFTHEMOSTIMPORTANTCOMPONENTSOFMANUFACTURING,BEARSTHEMISSIONTOPROVIDEMACHINERIESANDEQUIPMENTSFOREACHDEPARTMENTOFTHENATIONALECONOMYTHEPACEOFMODERNIZATIONOFOURCOUNTRYDEPENDSMAINLYONTHEDEVELOPMENTOFMACHINERYMANUFACTURINGINDUSTRYTHEREFORE,FROMTHISSENSE,THEMACHINERYMANUFACTURINGINDUSTRY15RELATEDTOTHEDEVELOPMENTOFTHECOUNTRYAMONGTHEWAYSOFMACHINERYMANUFACTURINGPROCESSING,MATERIALREMOVALPROCESSINGHASBEENWIDELYUSEDBECAUSEOFITSHIGHPRECISION,BETTERSURFACEQUALITYANDINTENSESELFADAPTINGMATERIALREMOVALPROCESSINGCANBEDIVIDEDINTOCUTTINGPROCESSINGANDSOMESPECIALPROCESSINGCUTTINGPROCESSING,WHICHISTOCUTTHEEXTRAMATERIALFROMTHEWORKPIECEWITHTOOLS,REQUIRESTHEHARDNESSOFCUTTINGTOOLSMUCHHIGHERTHANTHEWORKPIECECURRENTLYTHEMAINMATERIALUTILIZEDINTHEPRODUCTIONOFCUTTINGTOOLSISHIGHSPEEDSTEELANDHARDALLOYHIGHSPEEDSTEELISOFHIGHSTRENGTHTHANGOODTOUGHNESS,BUTTHEHARDNESSANDWEARRESISTANCEAREWORSETHANHARDALLOYHARDALLOYISOFGOODHARDNESSANDWEARRESISTANCE,BUTTHESTRENGTHANDTOUGHNESSAREWORSETHANTHEHIGHSPEEDSTEELTHECOATINGTOOL,THESUBSTRATEOFHIGHSPEEDSTEELORHARDALLOYCOATEDWITHALAYEROFREFRACTORYMETALCOMPOUNDS,15OFHARDSURFACE,GOODWEARRESISTANCEANDITSMATRIXHASGOODBENDINGSTRENGTHANDTOUGHNESSTHELIFETIMEOFCOATEDHARDALLOYTOOLCANBEINCREASEDBYL3TIMES,WHILECOATEDHIGHSPEEDTOOLCANBEINCREASEDFROM15TO10TIMESCOATEDCUTTINGTOOLCANDODRYCUTTING,THAT15,WITHOUTOFCUTTINGFLUIDINPROCESSING,THEREBYCANSAVERESOURCES,SAVEMATERIAL,REDUCEENERGYCONSUMPTION,DRAINCONTAMINATION,ANDPOLLUTIONTOTHESURROUNDINGANDACHIEVETHEFRIENDLYMACHININGPROCESSDRYTYPEPROCESSING,HIGHDEMANDINGOFTHEMATERIALOFTOOL,REQUIRESMATERIALSTOBEOFHIGHREDHARDNESSANDTOUGHNESSOFHOT,GOODWEARRESISTANCE,THERMALSHOCKANDANTICAKINGNOWSUPERHARDMATERIALSSUCHASCUBEBORONNITRIDECBN,POLYCRYSTALLINEDIAMONDPCDANDULTRAFINEGRAINEDCEMENTCARBIDEHAVEBEENWIDELYUSEDINDRYCUTTINGTHEEXPERIMENTALRESULTSSHOWTHATTHEIDEALCONDITIONOFDRYCUTTINGISHIGHSPEEDCUTTING,WHICHCANREDUCETHESPREADOFTHEHEATONTHEWORKPIECES,TOOLSANDMACHINETOOLSMANYSTUDIESREVEALTHATHIGHSPEEDSTEELANDCEMENTEDCARBIDECOATEDBYPVD,CVDCANALSOBEUSEDINDRYCUTTING,ANDAREMUCHCHEAPERTHANSUPERHARDMATERIALSSUCHASCUBEBORONNITRIDECBN,POLYCRYSTALLINEDIAMONDPCDANDULTRAFINEGRAINEDCEMENTEDCARBIDETHEEXPERIMENTAL,RESULTSSHOWTHATINTHEPROCESSINGOFALS1ALLOYANDHARDENEDSTEEL,THECOATEDTOOLHASALONGERLIFETIMETHANTHEUNCOATEDONEINTHISPAPERFROMTHECUTTINGEXPERIMENTWEFINDTHATITISFEEDRATETHATAFFECTSSURFACEROUGHNESSOFPARTSUNDERHIGHSPEEDDRYCUTTINGCONDITIONSKEYWORDSCOATINGMATERIAL;COATEDTOOL;TOOLLIFETIME;CUTTINGPERFORMANCE前言我们知道,刀具表面徐层是提高刀具寿命的一项有效手段,因为刀具表面涂层不仅可以提高刀具的表面硬度,增强其耐磨性,而且可以减小刀具表面摩擦系数,增加润滑能力,提高切削速度,减少换刀次数,改善被加工零件的精度及表面光洁度,提高产品质量,提高生产效率。工业发达国家的涂层刀具占使用刀具的80以上,而我国不及20,因此涂层刀具在我国广泛使用具有重大意义目前,国内镀膜工艺尚不完善、也不太稳定,因而极大地限制了它的实际应用。我们从多弧离子镀技术工艺的角度,对刀具涂层质量的因素进行了研究,发现影响刀具涂层质量的因素主要是刀具温度、涂层组分、涂层厚度等【1】。随着制造业的发展,采用高强度高硬度高耐磨性高耐热性和高化学稳定性等材料越来越多,它们的加工难度较大,虽然可以使用硬质合金涂层金刚石立方氮化硼和陶瓷等刀具加工,但这些刀具价格昂贵,又不抗冲击,所以一般工厂采用不多。淬火钢的硬度一般在45HRC以上,材料硬度高塑性变形性差切削阻力大切削温度高,加工刀具容易磨损,切削很困难;高硅铝合金具有较高的高温强度良好的热稳定性和高的耐磨性,是一种理想的耐磨材料,近年来高硅铝合金在汽车摩托车军工及航天等领域得到了广泛的应用。因此,探讨这些难加工材料的切削加工性能选择合适的刀具材料十分必要。本文应用试验的方法,通过不同涂层材料的刀具进行切削加工,在保证加工质量的前提下,寻求切削加工的最佳参数。目前,金刚石涂层刀具多选用钨钻类硬质合金WCCO或氮化硅SIN等陶瓷材料作基体。硬质合金基体的不足之处在于基体中作为粘结相的CO具有催石墨化的作用,对金刚石涂层的质量及涂层与基体之间的附着力有不利影响。以WCCO硬质合金为基体的金刚石涂层刀具是当前研究和发展的主要方向。国内外对涂层刀具的研究己有十数年的历史,目前己有的研究表明,采用涂层刀具进行加工,不仅可以满足零件的加工质量要求,而且可以实现绿色加工,在世界各国越来越重视环保的今天,相信涂层刀具的应用前景十分广阔。1研究意义刀具表面涂层技术是应市场需求发展起来的一种优质表面改性技术。由于该项技术可使切削刀具获得优良的综合机械性能,从而大幅度提高机械加工效率及刀具使用寿命,因此该项技术已成为满足现代机械加工高效率高精度高可靠性要求的关键技术之一。世界各国都十分注重涂层技术的发展【2】【3】。刀具表面涂层应具有足够的化学稳定性能热硬度和与基体较强的粘结性能,优化的涂层厚度细的显微结构及残余压应力可以进一步提高涂层性能。涂层材料化学惰性的标准是它的形成标准,即自由能的负数很高或在一定切削温度下,它在工件材料的溶解度很低。在一定切削温度下,只要硬涂层比基体的硬度高,就有助于增强抗磨粒磨损。虽然切削主要由化学磨损所控制,但由于高的涂层硬度会使刀具前面在较高的温度下,其抗月牙洼磨损性能得到增强。涂层方法及过程参数影响硬涂层的显微结构,反之,显微结构如颗粒尺寸颗粒结构颗粒边界和相边界又影响硬涂层的力学性能和金属切削性能。为了获得满意的切削能,刀具涂层与基体的粘结必须牢固;为了达到最大的金属切除率,涂层的厚度必须是最优化的太薄,在切削时保持的时间太短;太厚,它的作用就好象是整体的材料,失去了与基体组合的优越性4。刀具表面涂层的目的是延缓磨损,提高刀具寿命,因此研究刀具在切削过程中的磨损机理是刀具表面改性的前提条件。刀具磨损可概括为以下几个方面56。11粘结磨损粘结是指刀具与工件材料接触到原子间的距离时所产生的结合现象。它是在足够大的压力和温度作用下,产生塑性变形而发生所谓的冷焊现象,是摩擦面塑性变形所形成的表面原子间吸附力所造成的结果。两摩擦表面的粘结点因相对运动,晶粒或晶粒群受剪或受拉而被对方带走是造成粘结磨损的原因。粘结磨损在两材料的接触面上,不论在软材料一边还是硬材料一边,都可能发生。同时,刀具材料往往有组织不均存在内应力微裂纹以及空隙局部软点等缺陷,所以刀具表面也常常发生破裂而被工件材料带走形成粘结磨损。12氧化磨损在高速切削过程中,当切削区的温度比较高时,气体介质靠相互间的化学作用力渗入刀具和工件材料的摩擦表面,于是摩擦表面形成的氧化膜也可能在接触区形成裂纹和缩孔。如果氧化膜与刀具和工件表面的结合强度低,那么氧化膜就很快为摩擦所破坏,然后重新形成。这样就建立了一个氧化膜不断破坏又不断重新生成的稳定的动态平衡过程。当氧化速度超过摩擦面所发生的其他过程速度时,刀具产生的磨损即为氧化磨损。13剥落与崩刃剥落和崩刃是指在刀具的前刀面上或后刀面上剥落一块贝壳状碎片,经常是连切削刃一起剥落。崩刃是指在切削刃上产生小的缺口。剥落与崩刃等实际上都是属于刀具的脆性磨损,是一种非正常的磨损。性质较脆的刀具材料如陶瓷刀具材料和硬质合金刀具材料在大多数情况下都会产生这种现象。特别是在重型切削或有冲击如断续切削的情况时,崩刃和破碎更为常见。14扩散磨损扩散磨损是指刀具材料和工件材料在高温下相互扩散而造成刀具的磨损。例如在很高的切削温度下,硬质合金材料同被切削材料钦合金的接触硬度比很大,这样导致切削力显著减小;但是在高的接触温度下,大的塑性变形使两金属接触十分紧密,促进了刀具和被切削金属间的固体互相溶解。扩散磨损常常伴有接触表面层中成分的分解,工件材料和刀具材料成分之间的相互扩散。研究解决这些磨损机理,归根到底就是要研究切削过程中刀具的应力分布和温度分布情况,找出发生磨损的薄弱环节,通过先进的表面工程技术阻止或减缓以上磨损现象的发生,从而达到延长刀具寿命的目的。2国內外刀具涂层技术的现状刀具涂层技术通常可分为化学气相沉积CVD技术和物理气相沉积PVD技术两大类,分别评述如下7。21国外CVD技术的发展二十世纪六十年代以来,CVD技术被广泛应用于硬质合金可转位刀具的表面处理。由于CVD工艺气相沉积所需金属源的制备相对容易,可实现TIN、TIC、TICN、TIBN、TIB2、AL2O3等单层及多元多层复合涂层的沉积,涂层与基体结合强度较高,薄膜厚度可达79LM,因此到八十年代中后期,美国已有85的硬质合金工具采用了表面涂层处理,其中CVD涂层占到99;到九十年代中期,CVD涂层硬质合金刀片在涂层硬质合金刀具中仍占80以上。尽管CVD涂层具有很好的耐磨性,但CVD工艺亦有其先天缺陷一是工艺处理温度高,易造成刀具材料抗弯强度下降;二是薄膜内部呈拉应力状态,易导致刀具使用时产生微裂纹;三是CVD工艺排放的废气、废液会造成较大环境污染,与目前大力提倡的绿色制造观念相抵触,因此自九十年代中期以来,高温CVD技术的发展和应用受到一定制约。MTCVD涂层刀片适于在高速、高温、大负荷、干式切削条件下使用,其寿命可比普通涂层刀片提高一倍左右。22国外PVD技术的发展PVD技术出现于二十世纪七十年代末,由于其工艺处理温度可控制在500E以下,因此可作为最终处理工艺用于高速钢类刀具的涂层。由于采用PVD工艺可大幅度提高高速钢刀具的切削性能,所以该技术自八十年代以来得到了迅速推广,至八十年代末,工业发达国家高速钢复杂刀具的PVD涂层比例已超过60。PVD技术在高速钢刀具领域的成功应用引起了世界各国制造业的高度重视,人们在竞相开发高性能、高可靠性涂层设备的同时,也对其应用领域的扩展尤其是在硬质合金、陶瓷类刀具中的应用进行了更加深入的研究。研究结果表明与CVD工艺相比,PVD工艺处理温度低,在600E以下时对刀具材料的抗弯强度无影响试验结果见表1;薄膜内部应力状态为压应力,更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层;PVD工艺对环境无不利影响,符合现代色制造的发展方向。随着高速切削加工时代的到来,高速钢刀具应用比例逐渐下降、硬质合金刀具和陶瓷刀具应用比例上升已成必然趋势,因此,工业发达国家自九十年代初就开始致力于硬质合金刀具PVD涂层技术的研究,至九十年代中期取得了突破性进展,PVD涂层技术已普遍应用于硬质合金立铣刀、钻头、阶梯钻、油孔钻、铰刀、丝锥、可转位铣刀片、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理目前PVD技术不仅提高了薄膜与刀具基体材料的结合强度,涂层成分也由第一代的TIN发展为TIC、TICN、ZRN、CRN、MOS2、TIALN、TIALCN、TINALN、CNX等多元复合涂层。这种新涂层与基体结合强度高,涂层膜硬度接近CBN,抗氧化性能好,抗剥离性强,而且可显著改善刀具表面粗糙度,有效控制精密刀具的刃口形状及精度,23我国CVD技术的发展我国从二十世纪七十年代初开始研究CVD涂层技术,由于该项技术专用性较强,国内从事研究的单位并不多。八十年代中期,我国CVD刀具涂层技术的开发达到实用化水平,工艺技水平与当时的国际水平相当,但在随后的十多年里发展较为缓慢与国外研究状况类似;九十年代末期,我国开始MTCVD技术的研发工作,MTCVD工艺及装备的研究开发预计可在2001年内基本完成,根据研究目标,工艺技术及设备将达到当前国际先进水平;我国PCVD技术研究始于九十年代初,PCVD工艺技术主要用于模具涂层,目前在切削刀具领域的应用还十分限。总体而言,国内CVD技术的总体发展水平与国际水平差距不大,待MTCVD技术开发成功,我国在刀具CVD涂层领域的整体水平将可与国际先进水平基本保持同步。24我国PVD技术的发展我国PVD涂层技术的研发工作始于八十年代初期,至八十年代中期研制成功中小型空心阴极离子镀膜机,并开发了高速钢刀具TIN涂层工艺技术。在此期间,由于对切削刀具涂层市场前景看好,国内共有七家大型工具厂从国外引进了大型PVD涂层设备均以高速钢TIN涂层工艺为主。技术及设备的引进调动了国内PVD技术的开发热潮,许多科研单位和各大真空设备厂纷纷展开了大型离子镀膜机的研制工作,并于九十年代初开发出多种PVD涂层设备。但由于多数设备性能指标不高,无法保证刀具涂层质量,同时预期的市场效益未能实现,因此大多数企业未对PVD刀具涂层技术作进一步深入研究,导致近十年国内PVD刀具涂层技术的发展徘徊不前。目前国外刀具PVD涂层技术已发展到第四代,而国内尚处于第二代水平,且仍以单层TIN涂层为主。3涂层材料的特点及要求31涂层材料的特点涂层的特点是涂层薄膜与刀具基体相结合,提高刀具的耐磨性而不降低基体的韧性,从而降低刀具与工件的摩擦因数,延长刀具的使用寿命。此外,由于涂层自身的热传导系数比刀具基体和加工材料低得多,可以有效减少摩擦所产生的热量,形成热屏蔽,改变热量的散失途经,从而降低刀具与工件、刀具与切屑之间的热冲击和力冲击,有效地改善了刀具的使用性能。刀具磨损机理研究表明,在高速切削时,刀刃温度最高可达900E,此时刀具磨损不仅是机械摩擦磨损刀具后面磨损的主要形式,还有粘结磨损、扩散磨损、摩擦氧化磨损刀具刀刃磨损及月牙洼磨损的主要形式和疲劳破损,这5种磨损直接影响刀具的使用寿命。而刀具涂层所起的作用表现为1在刀具与被切削材料之间形成隔离层;2通过抑制从切削区到刀片的热传导来降低热冲击;3有效减少摩擦力及摩擦热。刀具通过涂层处理,实现固体润滑,减少摩擦和粘结,使刀具吸收热量减少,从而可承受较高的切削温度【8】。32涂层材料的要求刀具表面的硬质薄膜要求1硬度高,耐磨性能好;2化学性能稳定,不与工件材料发生化学反应;3耐热耐氧化,摩擦因数低,与基体附着牢固等。单一涂层材料很难全部达到上述技术要求。例如,碳化钛TIC是一种高硬度耐磨化合物,有着良好的抗摩擦磨损性能;氮化钛TIN的硬度稍低,但却有较高的化学稳定性,且能大大减少刀具与被加工工件之间的摩擦因数。但两者的单一涂层均很难满足高速切削对刀具涂层的综合要求,故往往制成多元复合涂层,配制成较理想的刀具涂层材料。如TICN兼有TIC和TIN的综合性能,其硬度高于TIC和TIN,可降低涂层的内应力,提高涂层的韧性,增加涂层的厚度,阻止裂纹的扩散,减少刀具崩刃,显著提高了刀具的使用寿命。单一涂层向多元复合涂层的发展把不同的涂层材料所具有的优良特性结合起来,这些特性包括由中间层提供高的热稳定性,由最上层提供高硬度,或者由软的或固态自润滑层的最上层提供低的摩擦因数【9】。4刀具涂层技术综述涂层成分能否在涂层刀具上发挥应有的性能,除了涂层与基体的结合强度、涂层及界面组织结构、择优取向、各单层厚度及总厚度等决定涂层刀具性能的重要因素外,在很大程度上还取决于涂层工艺的技术水平,因为刀具材料表面的物理、化学、力学性能严重影响现代切削加工的顺利进行。因此,涂层制备工艺至关重要。常用的刀具涂层工艺一般分为化学气相沉积CVD、中温化学气相沉积MTCVD、物理气相沉积PVD、离子辅助沉积技术IBAD、等离子增强化学气相沉积技术PECVD以及溶胶凝胶法SOLGELMETHOD。41化学气相沉积涂层化学气相沉积涂层CVD是使挥发性化合物气体发生分解或化学反应,并在被镀工件上沉积成膜的方法。其基本原理是沉积物以原子、离子、分子等原子尺度的形态在材料表面沉积,形成金属或化合物的涂层。这一涂层的沉积必须在一定的能量激活条件下进行,经过物料气化,扩散到基体表面并在基体表面发生反应形成覆盖层10。411高温化学气相沉积涂层的优点1其所需涂层源的制备相对容易;2可实现TIC、TIN、TICN、TIB、AL2O3等单层及多元复合涂层;3涂层与基体之间具有很高的结合强度,薄膜厚度可达79LM;4涂层具有良好的耐磨性能。412高温化学气相沉积涂层的缺点1涂层是在1000E以上的温度下沉积而成,由于涂覆温度高,使涂层与基体之间容易产生一层脆性的脱碳层G相,导致刀具脆性破裂,抗弯强度大大下降;2涂层内部为拉应力状态,使用时容易产生微裂纹,影响刀具性能;3CVD工艺在涂层过程中排放的废气、废液会造成环境污染,与国家所提倡的绿色制造、绿色工业相左,从20世纪90年代中后期以来,高温气相沉积技术的发展和应用受到了一定的制约。目前,顺应时代潮流,发展中低温的化学气相沉积涂层MTCVD,其机理与高温化学气相沉积涂层的机理相同,只是前者的涂层比后者的涂覆温度低一些,仅为700900E,趋于向低温、高真空的方向发展。413中温化学气相沉积涂层优点1沉积速度快;2涂层厚且均匀;3涂层附着力高;4内部残余应力小。采用MTCVD技术获得的致密纤维状结晶形态结构的涂层具有极高的耐磨性、抗热震性及韧性,例如用MTCVD技术沉积TICN,可得到较厚的细晶纤维状结构,涂层厚度可达CVD技术涂层厚度的15倍,且为半粘结状态,有效地改善了刀具在连续切削条件下的抗崩刃性。而且,MTCVD技术沉积形成的单相AAL2O3显微晶相结构,一改传统氧化铝涂层AAL2O3与CAL2O3的混合相结构表面不光滑、热稳定性差的弊端,表面光滑,热稳定性好,抗扩散磨损好。目前广泛应用于各类硬质合金刀具。其涂层工艺的主要发展阶段及应用领域。42物理气相沉积涂层物理气相沉积法PVD是通过气相反应过程使蒸发或溅射出来的金属原子发生气相反应,从而在刀具表面沉积出所要求的化合物。其机理是在真空条件下,用物理的方法蒸发或溅射等物理形式将涂层材料汽化成原子、分子或电离成离子,通过气相过程在硬质合金的表面沉积成涂层。421物理气相沉积涂层步骤1使涂层材料通过蒸发、升华和分解等成为涂层源材料的汽化过程;2涂层材料中的原子、分子或离子迁移到硬质合金表面的迁移过程,这一过程伴随着一系列复杂的变化过程,如原子、分子或离子之间可能发生碰撞产生离化、复合、反应以及能量和运动方向的改变;3原子、分子或离子在硬质合金表面的吸附、堆集、形核和长大以至最终形成涂层。PVD涂层技术能制备氮化钛、碳氮化钛、铝钛氮化合物以及各种难熔金属的碳化物和氮化物等涂层。422物理气相沉积涂层优点1涂层沉积温度低,一般在600E以下,对刀具材料的抗弯强度影响很小;2涂层内部的应力状态是压应力,更适应于硬质合金精密复杂刀具的涂层;3对环境不造成污染,符合目前绿色工艺、绿色制造的发展动向;4随着纳米涂层的出现,PVD涂层刀具质量显著提高,不仅具有结合强度高、硬度高和抗氧化性能好等优点,还能有效地控制精密刀具刃口形状及精度。虽然物理气相沉积涂层具有以上优点423物理气相沉积涂层缺陷1涂层设备复杂、工艺要求高、涂层时间长,使得刀具的成本增加;2生产的刀具抗冲击性能、硬度和均匀性比CVD技术生产的刀具差,使用寿命也比CVD技术生产的刀具短;3涂层的刀具几何形状单一,使用领域受限;4易产生内应力和微裂纹1112。43等离子体化学气相沉积涂层由于CVD涂层技术与PVD涂层技术均有其不可克服的缺点,等离子体化学气相沉积法PECVD应运而生,它是将CVD技术与PVD技术相结合所开发研制的一种新型低温涂层艺PECVD技术的机理是通过电极放电产生高能电子使气体电离成为等离子体,或者将高频微波导入含碳化合物气体产生高频高能等离子体,由其中的活性碳原子基团在硬质合金的表面沉积涂层17。由于它直接利用等离子体来促进反应发生,431等离子体化学气相沉积涂层优点1可将涂覆温度控制在600E以下目前涂覆温度已降至180200E;2低的涂覆温度使硬质合金基体与涂层材料之间不会发生扩散、相变或交换反应,从而基体保持了原有的强韧性。所涂刀具在加工普通钢、合金钢、铣削时显示出比采用普通化学气相沉积技术涂层的刀具具有更为优异的性能。此外,因其低温工艺不影响焊接部位的刀具性能,还可用于涂覆焊接硬质合金刀具,大大提高了刀具使用寿命,显示出了良好的使用性能。432等离子体化学气相沉积涂层缺点1设备投资大,成本高,对气体的纯度要求高;2涂层过程中所产生的剧烈噪音、强光辐射、有害气体、金属蒸汽粉尘等对人体产生危害;3对小孔径内表面难以涂层等。这些问题还亟待解决。CVD涂层技术和PVD涂层技术各有优势。PVD涂层技术工艺温度低,不影响硬质合金刀具自身的强度且刀片刃部可磨得十分锋利,也可进行除AL2O3外的多种涂层;CVD涂层技术使得涂层与基体具有更好的结合强度,且膜厚易于控制,一般车削刀片的CVD涂层性能要高于PVD涂层。因此2种涂层技术各显其能,在刀具涂层市场中占有各自的份额。一般来说,大部分硬质合金刀具均采用CVD涂层技术,而价格昂贵不可重磨的高速钢等钢制刀具、精密锋利的硬质合金精加工刀片和形状复杂的硬质合金整体棒状刀具均采用PVD涂层技术。总之,我们应该在了解其工艺原理及优缺点之后,将CVD工艺与PVD工艺相互比较,相互结合,取长补短,充分发挥各自优势,互相利用,互相补充,寻找更为合适的涂层技术,使其在刀具应用上发挥最大的能力。44溶胶凝胶法溶胶凝胶法SOLGELMETHOD是材料湿法制备中新兴的一种方法,是以金属有机化合物主要是金属醇盐和部分无机盐为前驱体,首先将前驱体溶解水或者有机溶剂都可形成均匀的溶液,接着溶质在溶剂中发生水解或醇解,水解产物缩合聚集成1NM左右的溶胶粒子,溶胶粒子进一步聚集成溶胶。其主要过程首先是将原料分散在溶剂中,然后经过水解反应生成活性单体,活性单体进行聚合,开始成为溶胶,进而生成具有一定空间结构的凝胶,经过干燥和热处理制备出纳米粒子和所需材料。溶胶凝胶法镀膜生产成本相对较低,制品均匀度高、纯度高。烧结方法比传统方法低约400600E,反应易于控制,尤其易于控制涂层的化学反应等。溶胶凝胶法还可以制备复合涂层和非氧化物陶瓷涂层13。5刀具涂层改性意见要提高刀具的寿命,就要对刀具刀尖及其附近区域进行涂层改性,刀具涂层应具有以下性能1)涂层材料与刀具基体材料要有很高的结合强度和相似的应力应变特性,这样才能使涂层在切削过程中受到较大应力时与刀具基体不会发生分离,从而发挥涂层的作用。2)涂层应具有较高的硬度,使得涂层表面不易发生微观变形,这样即使切削时刀尖附近区域存在高压,刀具与工件的相交量也会减少,从而使相对运动时刀具表面剥落率降低。3)涂层材料与工件材料的摩擦系数要小,且涂层要有较平整的宏观表面和微观表面,这样刀具与工件的高压接触区摩擦力就会减小,从而减少刀具材料剥落。4)涂层材料的化学惰性越高越好,这样就可减少刀具涂层的氧化磨损和扩散磨损。6结语刀具涂层技术较好解决了刀具强度和韧性之间的矛盾,通过优化涂层的晶格结构、添加合金元素及多层涂层组合来提高涂层的强韧性,以适应不同的切削条件,大大提高了刀具的耐用度和切削速度。目前研究的热点是开发具有纳米多层结构和纳米复合涂层的新型刀具涂层材料,具有特殊性能的刀具软涂层也将成为刀具涂层材料新的研究领域。参考文献1吴玉广影响刀具涂层质量因素的研究表面技术1997年第26卷第5期2王晓霞金属切削原理与刀具航空工业出版社,2003胡兴军刀具表面涂层技术进展综述精密制造与自动化20054韩荣第胡广义韩滨刀具涂层技术及涂层刀具切削性能的试验研究现代金属加工技术,2004,1017195舒彪何宁无污染切削介质下钦合金铣削刀具磨损机理研究机械科学与技术,2005,2444544576刘杰华,任昭荣金属切削与刀具实用技术北京国防工业出版社,20067赵海波国内外切削刀具涂层技术发展综述成都工具研究所2002年第36卷8KLOCKEF,KRIEGTCOATEDTOOLSFORMETALCUTTINGFEATURESANDAPPLICATIONSJCIRPANNALSMANUFACTURINGTECHNOLOGY,1999,4825155259陈维喜刀具涂层技术的现状与展望J工程技术,2000,3433510阎洪金属表面处理新技术M北京冶金工业出版社,199612716011周彤刀具涂层技术的应用J机械工人冷加工,2002,9222512廖先富最新涂层材料及其涂覆技术J工具技术,1996,307363813韦奇,王大伟,张术根溶胶凝胶法制备AL2O3SIO2复合膜的微观结构分析J硅酸盐学报,2001,294392396致谢本文是在李老师的课程论文基础上由自己独自完成的。大学期间,无论在学习上还是生活上,李老师都给了我悉心指导和帮助。李老师品格高洁治学严谨,师恩难忘,在此,对李老师表示由衷的感谢和敬意。最后,我要感谢我的家人和朋友,是他们的关心鼓励和资助,使得我顺利完成了大学阶段的学习任务。请删除以下内容,O_O谢谢THEORIGINOFTAXATIONINTHEUNITEDSTATESCANBETRACEDTOTHETIMEWHENTHECOLONISTSWEREHEAVILYTAXEDBYGREATBRITAINONEVERYTHINGFROMTEATOLEGALANDBUSINESSDOCUMENTSTHATWEREREQUIREDBYTHESTAMPTAXTHECOLONISTSDISDAINFORTHISTAXATIONWITHOUTREPRESENTATIONSOCALLEDBECAUSETHECOLONIESHADNOVOICEINTHEESTABLISHMENTOFTHETAXESGAVERISETOREVOLTSSUCHASTHEBOSTONTEAPARTYHOWEVER,EVENAFTERTHEREVOLUTIONARYWARANDTHEADOPTIONOFTHEUSCONSTITUTION,THEMAINSOURCEOFREVENUEFORTHENEWLYCREATEDSTATESWASMONEYRECEIVEDFROMCUSTOMSANDEXCISETAXESONITEMSSUCHASCARRIAGES,SUGAR,WHISKEY,ANDSNUFFINCOMETAXFIRSTAPPEAREDINTHEUNITEDSTATESIN1862,DURINGTHECIVILWARATTHATTIMEONLYABOUTONEPERCENTOFTHEPOPULATIONWASREQUIREDTOPAYTHETAXAFLATRATEINCOMETAXWASIMPOSEDIN1867THEINCOMETAXWASREPEALEDINITSENTIRETYIN1872INCOMETAXWASARALLYINGPOINTFORTHEPOPULISTPARTYIN1892,ANDHADENOUGHSUPPORTTWOYEARSLATERTHATCONGRESSPASSEDTHEINCOMETAXACTOF1894THETAXATTHATTIMEWASTWOPERCENTONINDIVIDUALINCOMESINEXCESSOF4,000,WHICHMEANTTHATITREACHEDONLYTHEWEALTHIESTMEMBERSOFTHEPOPULATIONTHESUPREMECOURTSTRUCKDOWNTHETAX,HOLDINGTHATITVIOLATEDTHECONSTITUTIONALREQUIREMENTTHATDIRECTTAXESBEAPPORTIONEDAMONGTHESTATESBYPOPULATIONPOLLOCKVFARMERSLOANTHEEXPLANATIONOFTHETAXREFORMACTOF1986WASMORETHANTHIRTEENHUNDREDPAGESLONGPUBL99514,OCT22,1986,100STAT2085COMMERCECLEARINGHOUSE,APUBLISHEROFTAXINFORMATION,RELEASEDAVERSIONOFTHEINTERNALREVENUECODEINTHEEARLY1990STHATWASFOURTIMESTHICKERTHANITSVERSIONIN1953CHANGESTOTHETAXLAWSOFTENREFLECTTHETIMESTHEFLATTAXOF1913WASLATERREPLACEDWITHAGRADUATEDTAXAFTERTHEUNITEDSTATESENTEREDWORLDWARI,THEWARREVENUEACTOF1917IMPOSEDAMAXIMUMTAXRATEFORINDIVIDUALSOF67PERCENT,COMPAREDWITHARATEOF13PERCENTIN1916IN1924SECRETARYOFTHETREASURYANDREWWMELLON,SPEAKINGTOCONGRESSABOUTTHEHIGHLEVELOFTAXATION,STATED,THEPRESENTSYSTEMISAFAILUREITWASANEMERGENCYMEASURE,ADOPTEDUNDERTHEPRESSUREOFWARNECESSITYANDNOTTOBECOUNTEDUPONASAPERMANENTPARTOFOURREVENUESTRUCTURETHEHIGHRATESPUTPRESSUREONTAXPAYERSTOREDUCETHEIRTAXABLEINCOME,TENDTODESTROYINDIVIDUALINITIATIVEANDENTERPRISE,ANDSERIOUSLYIMPEDETHEDEVELOPMENTOFPRODUCTIVEBUSINESSWAYSWILLALWAYSBEFOUNDTOAVOIDTAXESSODESTRUCTIVEINTHEIRNATURE,ANDTHEONLYWAYTOSAVETHESITUATIONISTOPUTTHETAXESONAREASONABLEBASISTHATWILLPERMITBUSINESSTOGOONANDINDUSTRYTODEVELOPCONSEQUENTLY,THEREVENUEACTOF1924REDUCEDTHEMAXIMUMINDIVIDUALTAXRATETO43PERCENTREVENUEACTS,JUNE2,1924,CH234,43STAT253IN1926THERATEWASFURTHERREDUCEDTO25PERCENTTHEREVENUEACTOF1932WASTHEFIRSTTAXLAWPASSEDDURINGTHEGREATDEPRESSIONREVENUEACTS,JUNE6,1932,CH209,47STAT169ITINCREASEDTHEINDIVIDUALMAXIMUMRATEFROM25TO63PERCENT,ANDREDUCEDPERSONALEXEMPTIONSFROM1,500TO1,000FORSINGLEPERSONS,ANDFROM3,500TO2,500FORMARRIEDCOUPLESTHENATIONALINDUSTRIALRECOVERYACTOF1933NIRA,PARTOFPRESIDENTFRANKLINDROOSEVELTSNEWDEAL,IMPOSEDAFIVEPERCENTEXCISETAXONDIVIDENDRECEIPTS,IMPOSEDACAPITALSTOCKTAXANDANEXCESSPROFITSTAX,ANDSUSPENDEDALLDEDUCTIONSFORLOSSESJUNE16,1933,CH90,48STAT195THEREPEALIN1933OFTHEEIGHTEENTHAMENDMENT,WHICHHADPROHIBITEDTHEMANUFACTUREANDSALEOFALCOHOL,BROUGHTINANESTIMATED90MILLIONINNEWLIQUORTAXESIN1934THESOCIALSECURITYACTOF1935PROVIDEDFORAWAGETAX,HALFTOBEPAIDBYTHEEMPLOYEEANDHALFBYTHEEMPLOYER,TOESTABLISHAFEDERALRETIREMENTFUNDOLDAGEPENSIONACT,AUG14,1935,CH531,49STAT620THEWEALTHTAXACT,ALSOKNOWNASTHEREVENUEACTOF1935,INCREASEDTHEMAXIMUMTAXRATETO79PERCENT,THEREVENUEACTSOF1940AND1941INCREASEDITTO81PERCENT,THEREVENUEACTOF1942RAISEDITTO88PERCENT,ANDTHEINDIVIDUALINCOMETAXACTOF1944RAISEDTHEINDIVIDUALMAXIMUMRATETO94PERCENTTHEPOSTWORLDWARIIREVENUEACTOF1945REDUCEDTHEINDIVIDUALMAXIMUMTAXFROM94PERCENTTO91PERCENTTHEREVENUEACTOF1950,DURINGTHEKOREANWAR,REDUCEDITTO844PERCENT,BUTITWASRAISEDTHENEXTYEARTO92PERCENTREVENUEACTOF1950,SEPT23,1950,CH994,STAT906ITREMAINEDATTHISLEVELUNTIL1964,WHENITWASREDUCEDTO70PERCENTTHEREVENUEACTOF1954REVISEDTHEINTERNALREVENUECODEOF1939,MAKINGMAJORCHANGESTHATWEREBENEFICIALTOTHETAXPAYER,INCLUDINGPROVIDINGFORCHILDCAREDEDUCTIONSLATERCHANGEDTOCREDITS,ANINCREASEINTHECHARITABLECONTRIBUTIONLIMIT,ATAXCREDITAGAINSTTAXABLERETIREMENTINCOME,EMPLOYEEDEDUCTIONSFORBUSINESSEXPENSES,ANDLIBERALIZEDDEPRECIATIONDEDUCTIONSFROM1954TO1962,THEINTERNALREVENUECODEWASAMENDEDBY183SEPARATEACTSIN1974THEEMPLOYEERETIREMENTINCOMESECURITYACTERISACREATEDPROTECTIONSFOREMPLOYEESWHOSEEMPLOYERSPROMISEDSPECIFIEDPENSIONSOROTHERRETIREMENTCONTRIBUTIONSPUBLNO93406,SEPT2,1974,88STAT829ERISAREQUIREDTHATTOBETAXDEDUCTIBLE,THEEMPLOYERSPLANCONTRIBUTIONMUSTMEETCERTAINMINIMUMSTANDARDSASTOEMPLOYEEPARTICIPATIONANDVESTINGANDEMPLOYERFUNDINGERISAALSOAPPROVEDTHEUSEOFINDIVIDUALRETIREMENTACCOUNTSIRASTOENCOURAGETAXDEFERREDRETIREMENTSAVINGSBYINDIVIDUALSTHEECONOMICRECOVERYTAXACTOF1981ERTAPROVIDEDTHELARGESTTAXCUTUPTOTHATTIME,REDUCINGTHEMAXIMUMINDIVIDUALRATEFROM70PERCENTTO50PERCENTPUBLNO9734,AUG13,1981,95STAT172THEMOSTSWEEPINGTAXCHANGESSINCEWORLDWARIIWEREENACTEDINTHETAXREFORMACTOF1986THISBILLWASSIGNEDINTOLAWBYPRESIDENTRONALDREAGANANDWASDESIGNEDTOEQUALIZETHETAXTREATMENTOFVARIOUSASSETS,ELIMINATETAXSHELTERS,ANDLOWERMARGINALRATESCONSERVATIVESWANTEDTHEACTTOPROVIDEASINGLE,LOWTAXRATETHATCOULDBEAPPLIEDTOEVERYONEALTHOUGHTHISSINGLE,FLATRATEWASNOTINCLUDEDINTHEFINALBILL,TAXRATESWEREREDUCEDTO15PERCENTONTHEFIRST17,850OFINCOMEFORSINGLESAND29,750FORMARRIEDCOUPLES,ANDSETAT28TO33PERCENTONREMAININGINCOMEMANYDEDUCTIONSWEREREPEALED,SUCHASADEDUCTIONAVAILABLETOTWOINCOMEMARRIEDCOU

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