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文档简介
1、课程名称:固体物理学- 微电子学院微电子实验教学中心-首页 半导体物理导论教学大纲 课程编号:mi2221022 课程名称:半导体物理导论 英文名称:instruction of semiconductor physics 学时: 46 学分:3 课程类型:限选 课程性质:专业课 适用专业:集成电路设计与集成系统 先修课程:大学物理 开课学期:4 开课院系:微电子学院 一、课程的教学目标与任务 目标:本课程是集成电路设计与集成系统专业的一门重要专业理论课程,通过本课程的学习,使学生掌握半导体的基本属性。 任务:重点介绍固体的晶体结构和缺陷、理论物理概要、半导体的能带与杂质能级、半导体中的平衡与
2、非平衡载流子和半导体中载流子的输运现象等。 二、本课程与其它课程的联系和分工 本课程的先修课程是大学物理。 三、课程内容及基本要求 (一) 绪论(1学时) 具体内容:固体的分类及其特点、半导体的重要性质、本课程的任务与作用。 1.基本要求 (1)了解本课程的任务与作用。 (2)掌握半导体的重要性质。 2.重点、难点 重点:物质分类,半导体性质等。 难点:半导体性质及应用。 3.说明:使学生建立本课程涉及范围、研究对象等的相关概念。 (二) 半导体晶体结构和缺陷(9学时) 具体内容:化学键和晶体结构,晶体结构及其各向异性,晶体结构的周期性和对称性,原胞和晶胞,半导体晶体中的缺陷。 1、基本要求:
3、 (1)掌握化学键类型和晶体结构的规律性、周期性和对称性。 (2)了解元胞和晶胞,掌握晶格、晶向与晶面定义。 (3)掌握金刚石结构及其各向异性。 (4)掌握晶格热振动,晶体中的杂质和缺陷。 2、重点、难点: 重点:晶体结构及特性,杂质及缺陷。 难点:晶体结构,杂质及缺陷。 1 3、说明:这部分内容重点涉及半导体物理中所必须的固体物理基础知识内容,应突出重点和难点内容进行讲解。 (三) 理论物理概要(8学时) 具体内容:量子力学基础,包括能量子,波粒二象性,测不准原理,薛定愕方程,波函数及其物理意义,薛定愕方程的应用。统计物理基础,包括费米-狄拉克分布函数与费米能级,波耳兹曼分布函数。 1、基本
4、要求: (1)掌握量子力学基础,掌握波粒二象性,测不准原理,薛定愕方程,波函数及其物理意义。 (2)掌握统计物理基础,掌握费米分布和波耳兹曼分布及其意义。 2、重点、难点: 重点:薛定愕方程及其解的意义,费米-狄拉克分布函数,波耳兹曼分布 难点:薛定愕方程的应用,费米能级及其意义 3、说明:这部分内容涉及半导体物理中所必须的理论物理知识,突出进行薛定愕方程及其两种分布函数及其相关知识的讲解。 (四) 半导体的能带与杂质能级(10学时) 具体内容:半导体中电子共有化运动与能带,常用半导体材料的能带结构,本征半导体和杂质半导体。 1、基本要求 (1)掌握晶体中的schrodinger方程及其解的意
5、义,bloch定理与bloch波函数,brillouin 区与能带。 (2)掌握导体、半导体和绝缘体的能带,半导体中e(k)k关系和能带结构。 (3)掌握本征和杂质半导体特点及杂质补偿。 2、重点、难点: 重点:共有化运动与能带,有效质量,等能面,si,ge,gaas能带结构,本征半导体和杂质半导体,空穴概念。浅能级和浅能级杂质、杂质的补偿作用、深能级和深能级杂质。 难点:能带的形成,有效质量,能带结构,空穴概念,杂质与杂质能级。 3、说明:这部分内容是半导体物理中最重要的基础知识,是后续章节和其它课程的基础,必须重点突出,结合难点进行讲述。 (五) 半导体中的平衡与非平衡载流子(9学时) 具
6、体内容:导带电子浓度与价带空穴浓度,本征载流子浓度与本征费米能级,杂质半导体的载流子浓度,简并半导体及其载流子浓度,非平衡载流子的产生与复合,准费米能级,非平衡载流子的寿命。 1、基本要求 (1)掌握状态密度,导带电子浓度与价带空穴浓度,载流子浓度积。 (2)掌握本征半导体费米能级和本征载流子浓度。 (3)掌握杂质半导体的载流子浓度计算和简并半导体载流子浓度计算。 2 (4)掌握非平衡载流子的产生与复合理论。 2、重点、难点: 重点:本征和杂质半导体的载流子浓度,简并半导体载流子浓度,非平衡载流子,载流子复合理论,载流子寿命。 难点:半导体载流子浓度,非平衡载流子的产生、复合理论,寿命。 3、
7、说明:这部分是本课程最重要的核心内容之一,通过对重点和难点内容的讲解,学生必须对半导体中的平衡与非平衡载流子有深刻的理解,熟练掌握相关的知识。 (六) 半导体中载流子的输运现象(9学时) 具体内容:载流子的漂移运动与迁移率,半导体中的主要散射机构和迁移率与平均自由时间的关系,半导体的迁移率、电阻率与杂质浓度和温度的关系,载流子的扩散运动和爱因斯坦关系,连续性方程的建立和应用。 1、基本要求 (1)掌握载流子的漂移运动与迁移率。 (2)掌握半导体的主要散射机构,迁移率、电阻率与杂质浓度和温度的关系。 (3)掌握载流子的扩散运动和爱因斯坦关系,连续性方程的建立。 2、重点、难点: 重点:迁移率概念,漂移和扩散运动,爱因斯坦关系,散射机构,连续性方程。 难点:散射机构,连续性方程。 3、说明:这部分同样是本课程最重要的核心内容之一,也是学生必须熟练掌握的知识。通过学习,学生应对半导体中载流子的输运现象有深刻认识和理解。 四、教学安排及方式 总学时 46 学时,讲课 38 学时,多种形式教学 8 学时。 教学 教学 时数 环节 课程内容 绪论 半导体晶体结构和缺陷 理论物理概要 半导体的能带与杂质能级 半导体中的平衡与非平衡载流子 半导体
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