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文档简介
刻蚀机操作规程一、开机1、检查并确认CF4、氧气、氮气的气体压力是否在0.10.2Mpa范围内，压缩空气的压力在0.5Mpa左右；2、打开排风扇、打开冷却水阀门；3、打开配电柜电源开关，开启设备电源，按下高频电源的“预热”按钮，需让电源预热10分钟后再启动真空泵；4、待电脑启动后输入用户名、密码。登陆后须空运行一次；5、一切正常即可生产。二、关机1、关闭压缩空气、氮气、氧气和CF4阀门，关闭排风扇；2、待真空泵冷却后关闭冷却水阀门；3、关闭设备电源，配电柜电源；4、清理工作场地。三、注意1、严格按照正常操作步骤使用设备。2、真空泵在工作状态中温度较高，检修、维修须待冷却后再进行，避免烫伤。3、具有相当压力及能量的流体贯穿于整个设备中，务必按照规范操作，以防高压水流、气流喷泄造成对系统的损害以及对人体带来严重伤害。4、在设备工作时，禁止扶、靠设备，禁止触摸高频电缆和线圈，以免发生意外。5、高频电源实际使用功率不能超过800W。6、操作时务必谨慎，防止关门时对身体部位造成夹伤。7、在任何紧急情况下，操作者可以通过急停按钮来停止设备运行。
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