动力系统架构介绍20190825 文档资料

1、Gongchuang PV Confidential,1,动力系统架构介绍,动力部,-,袁学申,2019.8.25,时间：,14:00-15:30,Gongchuang PV Confidential,2,前言,动力部,-,欧美、台资企业习惯称为,Facility,Department,，随着半导体行业的在大陆的发展,，受欧美、台资企业的影响，人们习惯将为,FAB,提供水、电、气、及其他动力供应的部门,为厂务部，简称,FAC,国内企业习惯将同种职能部门称呼为动力,部门或设施部门，为尊重公司的企业文化和大,家习惯，在此称之为动力部，厂务和动力即为,同一个部门。,Gongchuang PV Con

2、fidential,3,课程目的：,?,了解动力部门的基本职能和作用,?,熟悉动力设备分布及主要系统构成,?,了解动力设备与生产的相关及重要性,Gongchuang PV Confidential,4,动力部门的职能：,为生产制造部门提供安全的、连续稳定、高品质的动力,、水、电、气供应；同时提供清洁、安全的生产环境。,保证动力设施安全稳定运行同时，持续开展节能工作、降,低能源消耗是厂务部门的一个重要工作目标。,Gongchuang PV Confidential,5,动力系统架构图,Gongchuang PV Confidential,6,动力系统组成,?,电力供应系统,?,暖通、动力及排气系

3、统,?,气化系统,?,给排水系统,Gongchuang PV Confidential,7,NF3,DEZ,房,特气房,柴油发电机房,LN2.LO2.LAr,氢气站,危险化学品仓,库,硅烷站,配电室,锅炉房,102,厂,房,空压机房,冷冻水站,纯水站,PCW,系统,冷却水塔,2F,空调箱,2F,空调箱,厂务系统分布图,废水处理系统,消防,?,溶解气体,：,CO2,O2,N2,等,;,?,可溶解固体,(TDS),：如,Ca. Mg. Na. K. Fe. HCO3. NO3. SO4. SiO2,等,;,?,有机物,(TOC),：油脂、污水、溶劑、等,;,?,微生物,：各种细菌,藻类,病素等,;

4、,一、纯水系统,Gongchuang PV Confidential,24,3.,工艺设备,?,盘式过滤器,:,去除水中较大的颗粒杂质、悬浮物、胶体絮凝、有机颗粒团，降低浊度（需,要逆洗）；,?,超滤,:,去除水中较小的颗粒杂质、悬浮物、胶体絮凝、有机颗粒团，降低浊度（需要逆,洗）；,? EDI,:,通过离子交换和电渗析结合的技术去除水中的阴阳离子，整个工艺无酸碱废水产生,（需要消耗电能）；,? Filter,:,去除水中的,Particle,等；,? RO (Reverse Osmosis),逆渗透技术,:,利用压力差为动力的膜分离过滤技术，将,源水中的水,分子与无机盐、重金属离子、,有机物

5、、胶体、细菌、病毒等杂质分离出来,UV,:,在波长,254nm,的紫外灯辐射下，对细菌,DNA,分子结构可造成不可逆的破坏，从而达到,杀灭和抑制细菌的繁殖的目的。,Gongchuang PV Confidential,25,纯水系统工艺流程图,Gongchuang PV Confidential,26,二、工艺冷却水系统（,PCW,）,Gongchuang PV Confidential,27,三、工业废水处理系统,说明：工业废水由车间,HF,废水收集管道收集后进入,HF,总管，经过废水站处理，,满足国家三级废水排放标准后达标排放。,三级排放标准：,COD 400ppm PH:69 F,：,2

6、0ppm Zn,：,5ppm,SS:400ppm,Gongchuang PV Confidential,28,四、厂区排水系统,厂区排水系统：,采用清污分流，污废分流原则，雨水直接,由厂区雨水管网收集，然后通过市政雨水管网,进入湘江，工业废水经过厂区废水站处理达到,国家三级排放标准后，与污水汇合排入市政污,水管网，经过园区污水处理厂处理达标后排入,湘江。,Gongchuang PV Confidential,29,结语,作为整个制造设备的动力、部分原料的供应来源，动,力系统设备稳定性、安全性直接影响到整个工厂的生产运,营，与制造设备故障特性不同在于：动力设备故障后影响,范围广,产能损失巨大，严重时将导致整个生产线的停产。,高品质，高稳定性且连续的动力供应标准，对负责动,力系统的运行、维护、管理的人员提出了非常严格的要求，,除正常的,24,小时设备巡检外，完善的系