镀膜机常见故障及分析解决预防措施47167

1、。镀膜机常见故障及分析解决预防措施一. 常见故障 , 问题及解决方法下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析 , 并给予解决方案及预防措施 .故 障故障现象故障原因解决及预防措施备注点1.1. 开枪有高压，1.灯丝保险烧断1.检查灯丝保险，烧断则更换立即无束流2.灯丝烧断2.保险正常则检查灯丝更换枪关高1. 高3.南光枪枪体右边引体.压压 和线碰到枪体底坐3.调整引线 与枪体 底坐的间束流距. 在抽气前检查枪体 .1.2. 开高压显示跳1.束流控制调在手动，1.电位器归零 . 在预熔完后应立即动幅度大，并有束电位器未归零将灯丝电位器归零关高流跳动2.枪体短路2.

2、将连接灯丝变压器的高压引压3.高压电极保护罩或线取下（注意引线不能碰到机屏蔽碰到高压引线造器应悬空）开高压，正常则枪成短路体或高压电极保护罩或屏蔽短4.电柜故障路造成3.放气检查电极保护罩或屏蔽4.检修电柜1.3. 开枪无高压，1.高压保护不到位（偏1.检查相应的高压保护无束流转. 真空. 柜门）2.检修高压控制电路2.高压电路出问题1.4. 镀膜时高压会1.真空继电器烧坏1.更换真空继电器常见 4下跌2.高压电路出问题2.检修高压电路号机1.5. 镀膜时灯丝突1.BT138 可控硅被 击1.更换 BT138常见 4然很亮 ( 束流达到穿2.检查枪体号机满格 )2.枪体短路1.6 有高压，有灯

3、1.栅极片短路1.整理枪体丝电流，无光斑2.扫描出问题或扫描2.检修扫描，正确连接扫描线线接反了1.7. 束流上不去，1.灯丝位置不正或变1.重新安装或更换灯丝 . 为了达不到以前的水平形更好的对灯丝定形及延长灯丝（同样功率达不到2.灯丝被氧化使用寿命 , 在更换新灯丝后应以前的速率）3.连接枪体的各接头对灯丝进行预热处理松动2.更换灯丝 . 为防止灯丝氧化4.坩埚转速太快在放气前应注意检查关闭灯丝5.材料被污染电源开关6.晶片被挡住3.拧紧各连接处 .4.调整坩埚转速5.取出被污染的材料或更换新材料6.调整晶片挡板位置 . 抽气应检精选资料，欢迎下载。17.电柜出问题查晶片是否被挡7.检修电

4、柜1.8. 阻蒸电流调不1.蒸发舟烧断或松掉1.更换蒸发舟或拧紧螺钉. 为上去造成接触不良了防止接触不良，各电极和压2.空气开关跳闸块应清洗干净 . 更换在蒸发舟3.调节电流的电位器时应将铜压块取下砂干净再安坏了装蒸发舟4.铜电极与真空室底2.打开空气开关板下的引线接触不良3.更换电位器4.清洁磨平接触不良的地方并拧紧螺钉1.9. 速率不稳定1. 晶片失效1.选择好的晶片，1.2 枪的速率2.料面不好要匹配3.功率设置不合理2.料要加平整，养成停坩埚的4.控制参数 PID 设置好习惯不合理3.预熔功率及最大功率设置合5.灯丝接触不好或老理 ( 最大功率为略大于蒸发时化所需功率）6.高压打火4.

5、设置合理的 PID 参数5.紧固或更换灯丝6.解决打火现象1.10. 高压打火1. 枪体污染，杂物掉入1.整理枪体，在吹枪体时应用枪体吸尘器边吸使吹出的杂物吸走2.各接线处未拧紧不被落在枪体里3.聚四氟套管太脏2.拧紧各连接处，使其接触良4.枪体阳极，栅极变形好5.高压电极太脏3.清洗或更换套管，应定时清6.屏蔽不佳或未屏蔽洗7.光斑位置不合理，扫4.调整或更换阳极，栅极片描状态不好5.更换高压电极8.2 枪高压干扰6.调整屏蔽或加装屏蔽9.材料污染有杂物7.调整好光斑，检查扫描10. 高压打在 10KV8.蒸镀 1 枪时应关闭 2 枪高压11. 预熔不够充分9.将被污染的材料去除或更换12.

6、 功率设置不合理新材料10. 将高压调在正确的档位 （中档 8KV）. 在触摸屏上操作时 ( 如调整坩埚转速时) 应注意是否误碰到高压调节档位11. 预熔时间及加的束流应合理（束流最后应加到接近镀第一套时所需束流坩锅转一到两圈）12. 设置合理的功率, 预熔功率不应太大 , 最大功率应与速率精选资料，欢迎下载。相匹配 , 注意在第一套时速率较小时功率的设置22. 扫 2.1.光斑不能调整1.扫描引线或线圈短1.检查引线及线圈 , 引线间不描 和路能碰在一起 , 抽气前应检查引光斑2.整流桥击穿线是否互相触碰和松动3.引线或线圈断路2.更换整流桥4.遥控盒上的连线松3.检查引线及线圈脱或电位器坏

7、了4.接好连线或更换电位器2.2光斑及扫描状1.灯丝变形1.更换灯丝态不好2.极靴位置不正2.调整极靴位置 . 在拆下清洗3.扫描频率不合适时要做好记号避免安装时位置4.短路条多或少了 , 位不正置不好3.调整合适频率 , 频差和密度5.高压档位不对4.调整短路条的位置及数量6.扫描连接线有误5.调整正确的高压档位6.正确连接扫描线 , 维修时应做好记号精选资料，欢迎下载。3. 坩 3.1坩埚转动不灵1. 坩埚周边间隙太小1.调整坩埚周边的间隙埚 和或不转2. 坩埚间隙有材料 ( 卡2.清理间隙中的材料 . 注意料工转料)不要加得太高 , 预熔时数量不3.轴承锈死要加得太快 , 防止材料飞溅掉

8、4.减速器出问题入间隙里使坩埚卡住或转得不5.电机出问题顺畅6.防污底板顶到坩埚3.清洗或更换轴承 . 在打扫真(2 枪)空室及洗机时应将坩埚下面的7.连接键脱落料渣清除 , 防止料渣太多影响轴承的性能4.检查减速器5.维修或更换电机6.调整好大门底板的位置( 稍高于坩埚 ), 关门时 感到异常( 如较平时紧 ) 应检查底板及防污板的位置7.重新安装好键3.2工转噪音大 ,1. 电机轴承坏了1.更换电机轴承晃动大2.大轴承干磨性能下2.清洗或更换大轴承降3.将电机与减速箱连接好3.电机与减速箱连接4.更换齿轮不好4.传动齿轮磨损3.3工转转不了1. 电机损坏1.更换电机2.电机与传动部分的2.

9、重装或更换键键脱落或磨损3.更换齿轮3.传动的齿轮磨损4.更换或维修单向器 (2 楼)4.单向器坏了5.检修电路5.电路出问题33.4.工转电压调不1.调节电位器损坏1.更换电位器上 , 电压显示指针2.控制器出问题2.检修控制器跳动大3.工转传动不稳3.维修传动部分4.碳刷接触不良4.整理碳刷接触面或更换5.电压表有问题5.维修或更换电压表4. 阀 4.1.阀门打不开1.气压不够1.调高气压到适当位置门2. 控制阀门的气动阀2.维修或更换气动阀有问题3.检查与其互锁的阀门. 应注3.阀门间互锁意阀门指示灯显示关闭但实际阀门并未关闭的现象4.2.阀门打开后会1.气压不够1.调高气压到合适位置自

10、动关闭2. 气动阀阀芯内的橡2.更换阀芯或气动阀皮松脱精选资料，欢迎下载。4.3. 放气取膜 , 放1.高阀没关到位1.检查高阀没关到位的原因,气阀打不开2.放气阀的气动阀有不能强行手动关闭问题2.更换或维修气动阀5. 真5.1. 在镀膜过程中1.高阀 , 预阀等阀门自1.检查气压是否正常, 正常则空度真空度突然下跌动关闭是相应的阀门问题, 一般为气2.扩散泵断相或跳闸动阀的阀芯松脱3. 坩埚卡料强行转动2.合上闸刀 , 断相表现为三相造成漏气指示灯有一或两个灯不亮,更换电炉盘3.维修坩埚 , 当卡料时不能强行转坩5.2. 低真空突然抽1.机械泵掺气阀没关1.关闭掺气阀不动2.真空室门压到东西

11、2.检查大门密封 . 关门抽气时3.并路阀 ( 旁通阀 ), 截应检查大门是否压到东西或密止阀自动关闭封圈上有杂物4.机械泵出问题3.检查相应的阀门及控制阀门5.罗茨泵出问题的气动阀和气压6.管道漏气4.维修机械泵7. 机械泵上的机放阀5.维修罗茨泵漏气6.维修管道8.真空室漏气7.更换或维修机放阀8.按 5.4 步骤检漏5.3 抽气慢1.真空室太脏 , 没换防1.更换防污板或清洗真空室污板2.清洗扩散泵 ( 大约一年洗一2.扩散泵太久没洗次 )3. 扩散泵出气口挡油3.调整挡油板板被吸起4.给机械泵掺气或换油4.机械泵没掺气5.调节真空表基准或更换真空5. 真空测量表基准不表准6.检修机械泵

12、 , 罗茨泵6.机械泵 , 罗茨泵有问题47. 真空室暴露在大气7.尽量减少敞大气时间, 玻片时间过长或玻片未烘应完全烘干干8.按 5.4 步骤检漏8.漏气精选资料，欢迎下载。5.4. 真空度低1. 真空表测量不准1.更换真空表2.真空规管测量口被2.关闭高阀 , 若此时真空室真百叶窗挡住空度比较稳定 , 则放气调整百3.真空室大门没关好叶窗的位置4.真空泵出问题3.用酒精注射大门密封看真空5.管道漏气度变化 , 如有变化则放气整理6.动密封如坩埚, 工真空室门密封转 , 观察窗 , 挡板等密4.维修或更换真空泵封漏气5.维修管道7. 洗机或维修时动过6.更换或重装动密封的部件或附近有松动快速

13、连续转动看真空度是否8.堵头没装好有较大的变化 , 有则是该转动9.通了水的如坩埚 , 工部动密封有问题转, 探头等地方有漏点7.检查动过的部件及附近, 确10. 高阀 , 低阀气缸漏认后紧固气8.用酒精注射堵头, 若真空度11. 金属焊缝漏有变化则紧固或重装该堵头9.通过用高压气来冲水管看真空度是否有变化 , 有则检查水路10. 通过开关高阀 , 低阀或用酒精注射阀门确认后更换阀体或密封圈11. 用酒精注射各焊缝来确认是否有漏 , 有则补焊焊缝6. 掉6.1. 掉膜1.真空室或玻片潮湿1.烘烤玻片及防污板的时间要膜 问（更换防污板后）适当题2. 玻片没洗干净2.用干净的布清洗好玻片, 清3.

14、更换新玻片 , 玻片上洗时应认真仔细有油污3.先用洗洁精清洗干净玻片,4.真空度低再用清水将玻片冲洗干净5.打火严重 , 造成膜厚4.检漏不均匀引起应力大5.解决打火现象6.真空室有油污6.清洗真空室7.蒸发速率过高7.降低速率到合适位置8.脱膜剂镀得过多8.减少脱膜剂的厚度9. 扩散泵返油造成高9.擦洗高阀盖及冷井. 给扩散阀盖及冷井处有油污泵加热时间不能少于90分钟.6.2. 周一掉膜严重1.洗机时产生的一些1.用酒精仔细擦干净真空室且膜质不好粉尘在抽气时飞到玻2.延长轰击时间 , 防污板应彻片上底烘干后才装入真空室2. 洗机时的潮气及防污板的潮气未干精选资料，欢迎下载。7. 膜 7.1.

15、 膜质发黑不亮 1.U5 材料镀少了 ( 有 1. 适当增加 U5 厚度质泽时有银灰色 )2.调节光斑和扫描频率2.2 枪光斑能量太散3.适当减少 U3 厚度( 扫描频率有问题 )4.将 2 枪坩埚位置移到适当位3.U3 材料镀多了 ( 膜置质稀烂 )5.更换新料4.2 枪坩埚位置不合6.检查真空度适5.U5 材料太旧或氧化6. 真空度低7.2. 膜发银1.U5 材料镀多了1.适当减少 U5 厚度2. 跳程序或假速率造2.发现时应适当加镀一些U5,成 U5 材料没镀上或镀在镀 2.6 层时应特别注意有无少此现象3.U3 材料蒸发过快造3.镀 U3 材料时速率不要过高 ,成 U5 没镀上或镀少镀

16、完 U3材料时应稍微停顿5 秒再镀 U57.3. 膜质发硬 , 打1. 玻片太脏1.仔细清洗玻片 , 玻片放入真卷2. 玻片表面光洁度差空室经抽气未使用应更换或清3.U3 材料镀的过少洗后才能使用 . 应打扫完真空室卫生后再装玻片 , 减少污染2.更换好的玻片3.适当增加 U3 厚度8. 膜8.1. 晶片失效1. 晶片使用寿命已到1.更换好的晶片 . 在用超声波厚 控2. 晶片压簧损坏清洗晶片时应注意打晶片的时制仪3. 连接探头的各接触间及方法 , 延长晶片的使用寿点接触不良命4. 探头冷却水过小或2.更换晶片压簧 . 在取压簧时水温过高应轻拿轻放5. 探头挡板碰到工3.整理各连接处4.调大探

17、头冷却水流量或开启冷冻机降水温 , 水温小于 28 度5.调在探头挡板与工转的距离8.2. 开始镀膜控制1. 程序清零1.重新设置程序 . 在操作膜厚仪无工作2. 没选择到镀膜程控制仪时动作不应过快, 控制仪要有良好的接地2.选择好镀膜程序 . 在调程序时应注意光标是否在对应的镀膜程序上8.3. 手动遥控盒不1. 连接控制仪的接头1.接好接头受控没接好2.焊好接线 . 在用遥控时应注2. 遥控盒上的按键的意连线不要用力过大拉扯连线接线脱焊精选资料，欢迎下载。9. 其9.1. 开枪镀膜时发1.晶片被挡住1. 放气整理 . 关门抽气时应检他现膜厚仪上没速率2.枪挡板未打开查晶片是否被挡显示3.高压

18、没开2. 修理挡板3. 打开高压64.束流控制调在手动4.将束流控制调的自动9.2. 枪挡板打不开1.气压不够1.调高气压到合适位置2.控制挡板的气动阀2.维修或更换气动阀坏了3.重新装上键或螺钉3. 气缸与挡板轴的连接键或螺钉脱落二 . 一些基础知识及注意事项和应急措施1. 膜厚控制仪控制参数Soak power1- 预熔功率 1 约为蒸发功率的一半Soak power2-预熔功率 2 也称预蒸镀功率略小于最大功率Maxpower-最大功率Dep Rate -蒸发速率Final Thk-膜厚（波长）Soak time-预熔时间Rise time-功率上升时间Density -材料密度检测膜厚

19、原理通过改变探头上晶片的频率 （由于膜的蒸发改变了其重量， 所以其震动频率发生变化）来计算膜厚，而探头所处的位置和工具因数的设置都影响到测试精度， 探头的位置和测试膜厚的关系如小：(1).探头高了 , 测试得到的厚度 实际得到的膜厚 ( 玻片上厚度 )(3).工具因数调高 , 相当于探头位置降低 , 所以膜厚要增加2. 膜和材料间的关系2.1.U5 吸收杂光 , 影响膜质和亮度 . 镀的过多 , 膜会发银 ; 镀的过少 , 膜发黑 , 不亮泽 , 有银色 ; 没镀上 , 则为银白2.2.U3脱膜剂 , 影响膜质 . 镀的过多 , 膜质稀烂 , 易脱落 ; 镀的过少 , 膜会打卷 , 发硬2.3

20、.SiO2决定颜色2.4.U6基层 , 影响膜的鲜艳度和亮度3. 均匀性3.1. 径向均匀性 : 同一玻片上部与下部的不均匀 , 与光斑的调节、材料的料面、坩埚转速和转向、玻片的曲率有关3.2.重复均匀性 : 同一锅膜的每一套间的不均匀, 与真空度的高低、操作者看颜色有关3.3. 整体均匀性 : 同一套膜四块玻片上的均匀性 , 与光斑的稳定性、工转的转速和蒸发速率的匹配、真空度的高低、径向均匀性有关4. 灯丝问题4.1.放气时要记住关灯丝电源, 以免氧化灯丝4.2. 初次使用或更换新灯丝 , 应进行灯丝预热定型处理 , 以防灯丝加热过快变形 . 预热时 , 高压关闭 , 直接加热灯丝 , 缓慢加灯丝电流 , 由几安培加至 15A 时, 维持 3-5 分钟4.3.灯丝安装a. 灯丝不宜太高或太低 : 太高会造成光斑不可调 , 容易打烂栅极和阳极片 ; 太低会造成光斑能量太散 , 不易蒸发b. 栅极片应略低于阳极片精选资料，欢迎下载。c. 各个压块、引线的接触面应清洗干净避免造成接触不良d. 打紧螺钉时应松紧适当，太松会接触不良，太紧会造成“滑丝”5.轰击条件：真空度 4.0Pa 到 8.0P