MEMS在手机中的运用

1、成员：。 MEMS在手机中的运用 目 录 CONTENTS MEMS在手机中的 运用 02 MEMS的概念01 p 概念 p 优点 p MEMS加速计 p MEMS陀螺仪 p MEMS麦克风 PART ONE MEMS 概念 1 MEMS的概念 1 优点 MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-Electro Mechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型 执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器 件或系统。 它是利用传统的半导体工艺和材料，用微米技术在芯片上制造微型机械， 并将其与对应电路集成为一个整体的技术。

2、l 相对于传统的机械，它们的尺寸更小； l 采用以硅为主的材料，电气性能优良； l 采用与集成电路（IC）类似的生成技术，进行大批量、低成本生产， 使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。 MEMS PART TWO MEMS 在手机中 的运用 2 MEMS在手机中的运用 2 MEMS应用广泛，涉及航天航空，消费类电子、汽车工业等多 领域。 在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手 势识别、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用。 下面主要介绍三种运用为加速计、陀螺仪与MEMS麦克风。 应用 2 MEMS在手机中的运用 3 分为三种：压电式、容感式、热感式。 M

3、EMS加速计 1. 压电式 运用压电效应，在其内部有一个刚体支撑的质量快，有运动的情况下 质量块会产生压力，刚体产生应变，把加速度转变成电信号输出。 2 MEMS在手机中的运用 4 MEMS加速计 2. 容感式 标准的平板电容器。加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平 板电容两极的间距和正对面积，通过测量电容变化量来计算加速度。 2 MEMS在手机中的运用 5 MEMS加速计 3. 热感式 内部没有任何质量块，中央有一个加热体，周边是温度传感器，里面 是密闭的气腔，工作时在加热体的作用下，气体在内部形成一个热气团， 热气团的比重和周围的冷气是有差异的，通过惯性，热气团的移动形成的 热场变化

4、让感应器感性到加速度值。 2 MEMS在手机中的运用 6 MEMS加速计 根据终端设备的指向，MEMS加速计可以把图像、视频等进行旋转。 通过上下左右倾斜手机，可以查看手机菜单；还能检测到用户抖动手机的 动作，可以用于跳转播放歌曲等。 2 MEMS在手机中的运用 7 MEMS陀螺仪 MEMS陀螺仪是科里奥利力的最常见应用。旋转中的陀螺仪可对各种 形式的直线运动产生反应，通过记录陀螺仪部件受到的科里奥利力可以进 行运动的测量与控制。 一般的MEMS陀螺仪由梳子结构的驱动部分和 电容板形状的传感部分组成，是补充MEMS加 速计功能的理想技术。 2 MEMS在手机中的运用 8 MEMS陀螺仪 MEM

5、S陀螺仪通常安装有两个方向的可移动电容极。径向的电容极加 震荡电压迫使物体做径向运动，横向的电容极测量由于横向科里奥利运动 带来电容变化。 因而，MEMS陀螺仪内“陀螺物体”在驱动下不断做径向运动或震荡， 可以由电容的变化计算出MEMS陀螺仪的角速度。 原理 2 MEMS在手机中的运用 9 如果组合使用加速计和陀螺仪这两种传感器，系统设计人员可以跟踪 并捕捉三维空间的完整运动，为用户提供现场感更强的用户使用体验、精 确的导航系统以及其他功能。 使用加速度计和陀螺仪实现手势识别，比如拍打、双击和摇动，进而 激活某些功能和调节工作模式。 2 MEMS在手机中的运用 10 MEMS麦克风 MEMS麦克风由两个芯片、MEMS传感 器单元和CMOS电路构成。 声信号在MEMS中转换为电容的变化。CMOC IC将电容变化转换成数字 或模拟输出电压，然后通过移动设备中的其他元件进行处理。 优点：尺寸小、灵敏度高、信噪比高、 与数字信号处理具有适应性，生产组装 简单，稳定性好，在设备加工制造方面 具有可扩展性、耐热性。 2 MEMS在手机中的运