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文档简介
1、WALEXWALEX 曝光工藝知識曝光工藝知識 培訓教材培訓教材 日期:日期:2015.03.26 QS2015.03.26 QS 一、前言 二、工序制作简介 三、工艺制作流程 四、作业环境要求 五、讨论 編寫本教材為圖形轉移工藝製作原理, 適用於本公司生產參考、及相關技術人 員的培訓等範圍。 v图形转移的定义: 利用油墨的感光性,透過紫外光照射,把板面油墨 由单体变成聚合体.這種反應過程是由油墨成份中的 感光樹脂與光敏劑所產生的光合作用來完成。形成一 种抗蚀的护膜图形,那些未被油墨所保护覆盖的铜箔 属于的不需要的铜箔,将在随后的化学蚀刻工艺中被 蚀刻掉,经过蚀刻工艺后再褪去抗蚀膜层,得到所需
2、 要的裸铜电路图形。 v圖形轉移工序包括: v 外層製作影像、 外層絲印、內層製作影像等三種 工序,前兩種圖形轉移方法屬於我們常用生產工藝。 板面 前处 理 曝 光 对 位 菲林制作 Q C 显 影 预 烤 蚀 刻 印线 路感 光油 Q C 印防 焊感 光油 板面 中处 理 后 烤 对 位 曝 光 Q C 冲板 成型 1、板面前处理工作原理: 清洁、粗化板面,保 证線路感光油墨转移 至板面的结合力,并 能抗蚀。 印刷感光線路油目的: 將已處理合格的基板 銅面,通過網印法將 感光油墨整板印製在 基板上,輔助線路導 電圖成型及抗蝕效果。 預烤基板感光線路油 目的:將已印好感光 油墨的基板送入烤箱
3、內烘烤,以便達到板 面油墨不沾菲林及抗 蝕之效應。 烘烤條件:恒溫75 時間:30分種 黃菲林製作目的: 通過原始光繪負片菲 林與重氮片正面吻合, 放入曝光機內並結合 紫外光源給予圖形轉 移成像。將已曝光 成像的黃菲林放入 26BE的氨水 桶內顯 影,以至達到圖形完 好成像。 菲林對位目的:將複 製好的黃菲林與基板 完全吻合,以至達到 圖形位置精准無偏移。 (菲林三點座標同基 板座標完全重合,視 為位置無偏移) 曝光原理:將已貼好 黃菲林的基板放入曝 光機內,利用油墨的 感光性,透過紫外光照 射,把板面油墨由單體 變成聚合體.這種反應 過程是由油墨成份中 的感光樹脂與光敏劑 所產生的光合作用來
4、 完成圖形轉移之效應。 光源光源 曝光机 紫外光能量 光引发剂 R 单体 聚合物 自由基传递 聚合交联反应 顯影目的:將未受光 聚合部分油墨溶解並 通過噴淋方式沖洗掉, 從而使線路圖形顯現 出來。 顯影液配比:0.81.2% 水:碳酸鈉=100:0.81.2 显影机 CO CO OH OCH3 CO CO ONa OCH3 未聚合之油墨層被Na2CO3溶液沖掉的原理,是形 成鈉鹽而被溶解,而已感光部分則不會形成鈉鹽 而得以保存。 1%Na2CO3 项目项目干膜抗蚀剂 干膜抗蚀剂 液态抗蚀剂 液态抗蚀剂 解像度3mil1 mil 填平性差较好 成本比干膜低4060% 废水处理膜厚、处理量大无保护膜、膜薄、处理量小 自动化程度 可实现自动化生产,但要配用 自动除干膜保护膜设备 可以实现自动化生产 房间:100K级房间:10K级 设备:10K级设备:1K级 适用蚀刻剂 酸性或碱性蚀刻剂酸性或碱性蚀刻剂 洁净房要求 注:产品线路结构特性而巽,干膜针对导电线路为精密形及在线宽0.15mm使用。 v 曝光室操作环境环境控制: 1、温、湿度要求: 温度:20 2, 湿度:50
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