CDS-(中央供酸系统)

1、Enabling a Microelectronic World CDS (中央供酸系統中央供酸系統) Center Chemical Dispense System Prepared by： Date： 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID CDS ：系统目的系统目的 2 供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子 供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案 供应高纯度化学品以显影芯片图案 供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物 供应高纯度化学品以研磨芯片 供应高纯度化学

2、品以清洗制程设备零配件 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID3 客戶需求客戶需求: N2 Chemical Chemical 可不可以直接引作工艺使用? 温度、压力、 流量、方向、 位置 温度、時间、 浓度 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 化学品之种类与用途化学品之种类与用途(一一) 4 酸性: 腐蚀性腐蚀性:H2SO4,HCl,H

3、NO3,HF,H3OP4. 毒性毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE. 碱性:NH4OH,KOH,Developer. 有机溶剂 易燃液体易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液光阻液. 腐蚀性有机溶剂腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS. 氧化性:HNO3,H2O2. 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 化学品之种类与用途化学品之种类与用途(二二) 5 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary

4、 Business Information7/17/2021, USER ID 系统基本要求系统基本要求 6 操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑 化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品兼容 微粒子控制：过滤器循环过滤 满足最大需求流量：高浓度化学品如H2SO4、 H3PO4 自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化 取样分析：系统、管路之粒子数、金属离子取样分析 泄漏警报：侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO) 系统诊断：Pump、Filter 、Valve运转时数 维修保养管路 Auto Purge/Flush 功能 化学品用量统计 2006 Amkor Technology, Inc

5、.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 化学品供应质量要求化学品供应质量要求 7 Geometry SizeParticles/mlSizeMetallics 11000.510 PPb .8100-2000.2-0.31-2 PPb .550-1000.21 PPb .35200.21 PPb .25100.1100 PPt 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系统流程图系统流程图(一一

6、) 8 CCB Storge Tank 12m3 CDU VMB T T T VMB VMB VMB Tool-1 Tool-2 Tool-3 Tool-4 6m3 Tote 1m3 200L Drum 化学槽车充填衔 接站将化学品由 槽车以N2加压直 接输送至Tank 适合使用量较 大之化学品,如 H2O2,H2SO4等 适合使用量中 等之化学品,如 HF,H3PO4等 适合使用量较 小之化学品,如 BOE,HNO3等 将化学品经循环 过滤,再经N2或 Pump加压输送 至有需求之生产 机台内 将化学品经管路分 配至不同生产机台 S 可依实际用量需求选择使用 Tee Box Sampling

7、 Box 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系统流程图系统流程图(二二) 9 TOOL 机台机台 OCP SCADA Computer HUBCDUT-BOX 主管路 GN2 加强讯号 循环过滤 25”后 供酸 启动CDU 循环过滤后，同时由OCP供应GN2， 打开VMB内气动阀，将化学品供应至TOOL CHEMICAL LINE GN2 LINE SIGNAL LINE 供酸 VMB 泄漏警报 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor

8、Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系统流程图系统流程图(三三) 10 Tool SideOCP Side Trouble Ready Stop Request EMO 1.当机台需求化学品时,传送Request讯号给OCP 2.OCP收到讯号后,会先检查CDU是否Ready供应 若是，则回传Ready讯号若否，则回传Trouble讯号 3.机台端EMO被压下时，则停止供应化学品 +24V 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/

9、2021, USER ID Chemical 输送方式：输送方式： 11 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID Chemical 供酸方式（供酸方式（1）：桶槽供酸）：桶槽供酸 12 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID Chemical 供酸方式（供酸方式（2）：槽车供酸）：槽车供酸 13 2006 Amkor Technology,

10、Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID CDS 设备布置设备布置： 14 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 设备位置：设备位置： 15 洁净室： 1. 使用点 2. VMB阀分支箱)POU(使用点) 机台操作控制介面 电控程式连结 高架地板 1. CDSVMB管 2. VMB 需求 3.监控线 4. 液传感器 Utility Sub FAB 1. 管 2. 连接线裝置 3. VMB

11、, Tee Box 裝置 4. 管连接 (CDSVMB) 5. 管连接 (VMBPOU) 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系统配置方式：系统配置方式： 16 用用： 80200L/Day 使用：较少 用pump或压送的方式 Pump系統系統 日需求日需求TANK 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系统配置方式：系统配置方式： 1

12、7 用用： 3004000L/Day 使用：较多 用pump或压送的方式 压压输输送系統送系統 日需求日需求TANK 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系统配置方式：系统配置方式： 18 用用： 4000L/Day以上 用压送的方式 Pump系統系統 日需求日需求TANK 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系统配置方式：系统配置方

13、式： 19 Pump系統系統 Pump A 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系统配置方式：系统配置方式： 20 Pump系統系統 Pump B With day tank 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系统配置方式：系统配置方式： 21 Pressure Type Pump A 2006 Amkor Technology,

14、Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系统配置方式：系统配置方式： 22 Pressure Type Pump B With day tank 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系统配置方式：系统配置方式： 23 Tank Lorry Type 4000L/Day以上以上 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business

15、Information7/17/2021, USER ID CCB流程图流程图 GN2 linet Storage Tank 充填槽车 CDU 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID CDU之流程图之流程图(型一型一) Outlet Pump Transfer Filter Supply Filter GN2 inlet CDA inlet Drum Day TankTank 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary B

16、usiness Information7/17/2021, USER ID CDU之流程图之流程图(型二型二) Outlet Drum Tank Pump Trans/Rec Filter Supply Filter 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID TEE-BOX 构造构造 主管路主管路 VMB Drain 排水Port 手动阀 箱体内侧下方装 设泄漏侦测器 1.箱体以PP制成 2.CPVC外盖 3.箱体与外盖间以 O-Ring密合 4.管件以PFA制成 一般

17、酸碱类适用 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID VMB 构造构造 箱体内侧下方装 设泄漏侦测器 Drain Port inlet To Tools CDA inlet From OCP to 气动阀 For The Future Use Purge inlet Drain Port Exhaust 气动阀 手动阀 保养管路时需先 以PN2将化学品 Purge至机台端 Drain 4132 1.箱体以PP制成 2.CPVC外盖 3.箱体与外盖间以 O-Ring密合

18、4.管件以PFA制成 一般酸碱类适用 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID SAMPLING-BOX 构造构造 1.将取样瓶置入,并关闭 箱门 2.按压按钮,再打开取样 手动阀 3.化学品流出达需求之 量后,关闭手动阀,放开 按钮 4.打开箱门,盖上瓶盖,取 出取样瓶 5.清洁取样箱 按钮手动阀 箱体内侧下方装 设泄漏侦测器 Drain排水 Port inlet 1.箱体以SUS制成 2.钢丝玻璃外盖 3.箱体与外盖间以 O-Ring密合 有机溶剂类适用 2006

19、Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID CDS ：系统设备之材料要求系统设备之材料要求 30 一般无机酸碱类 外管：CPVC（氯化聚氯乙烯） 内管：PFA（可溶性聚四氟乙烯）可溶性聚四氟乙烯）Piping & Tubing 管件：铁弗龙材质制品 有机溶剂类 外管：SUS 304 内管：SUS 316L EP 管件：SUS 316L以上制品 有机碱类 外管：SUS 304 内管：PFA Piping & Tubing 管件：铁弗龙材质制品 2006 Amkor Technolog

20、y, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID31 ATC Bumping 化化学学供酸系統供酸系統结构：结构： 200L D RU MD RU M 200L VALVE BO X CD M M ACH INE TO O L 2 M ACH INE TO O L 1 簗絃 诀 恨隔跋 T BO X PLC Rem ot e box Chem i cal room FAB 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/202

21、1, USER ID32 ATC Bumping CDS控制控制： CUB 监控室 1 2 3 CDM T Box V Box用酸机台 CDM PLC Remote box Com 0V DC12 V DC12 V Required EMO & Ready Ready 所有接点都 导通才会供 酸 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID33 ATC Bumping CDS Hook up 介面及要求介面及要求 V Box Remote Box 用酸设备 6芯控制线 每一

22、每一点点Hook up包含一管路及控制包含一管路及控制信号信号配配线线 1.管路 A Solvent : SUS外管 + PFA 內管 B ACID PVC 外管 + PFA 內管 C V Box预留1/2阀口，hook up管径则 视设备需要而定 2.控制线路 : 6芯以上控制线路 测试 A Required 信号正常。 B设备端EMO信号正常。 CRequired 信号信号下，下，EMO信号信号打打开开是是 否強制停止要酸否強制停止要酸信号信号。 D开关供酸。 部份机台並沒有EMO信号接点，而使用本身的控 制系統以断绝Required，此時更必须要求设备端 模拟EMO狀況以确保安全。 20

23、06 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID34 ATC Bumping CDS混酸混酸 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID35 ATC Bumping CDS混酸混酸 体积体积比比 & 重量比重量比 比重 = 质量 体积 * 看客戶需求 * 目前比例 (体积比) 1.3M H2SO4 H2O2 H3PO4 DI 40 100 300 500 92

24、60 2.AZ400K DI 1 : 3 3.AZ Dev. DI 3 : 1 4.BOE DI 1 : 3 Mix Tank Drain 粗调 微调 供酸 Wet N2 Sensor 在调整配比的过程中， 换算成重量不仅方便也 更准确。 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID36 ATC Bumping CDS Mix system mix. tank Day tank 混酸量杯組 湿氮气 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID CDS ：运转操作注意事项运转操作注意事项(一一) 37 充份阅读MSDS，认识化学品之物质特性，危害性， 危害标示，危害途径及防护措施 工作前，先行思考及演练各细节后，再行动 工作时应双人以上搭配作业，事前事后确认 正确选用及使用适当防护器具