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1、2021/3/111 透明薄膜厚度的一种测量方法 2021/3/112 一、测量原理 2021/3/113 二、测量装置 本方法提供的透明薄膜厚度的测量装置包括宽带光源、干涉组件、频域探测装置和数据处 理器，如图1所示 图1 中9为宽带光源；10为干涉 组件，可以采用迈克尔逊干涉 装置；11为频域探测装置，可 以采用光谱仪；12为数据处理 器。 2021/3/114 干涉组件采用迈克尔逊干涉装置，装置如图2 由于宽带光源是发散光源，所 以根据需要会在干涉仪前加汇 聚透镜来调整光路，这也作为 干涉组件的一部分。 图2 迈克尔逊干涉装置 2021/3/115 测量具体装置图如图3所示： 图3 测量

2、装置 2021/3/116 三、方法和步骤说明 2021/3/117 2021/3/118 图4 放置薄膜前得到的光程差信息 图5 放置薄膜后得到的光程差信息 2021/3/119 2021/3/1110 图6 薄膜倾斜后得到的光程差信息图7 光通过薄膜时的光路图 2021/3/1111 2021/3/1112 四、总结 本方法是透明薄膜厚度的一种光学测 量方法，采用投射式的测量方法，该方 法精度高，测量范围大，同时结构灵活、 处理方法简单，不要求严格放置样品， 是透明薄膜厚度测量的一种良好方法， 同时它还能测量薄膜的折射率，这是一 般方法所不能比拟的优势。 2021/3/1113 五、拓展 上述方法中也可以把频率探测装置换成测微目镜，测量步骤如下： 1、调节迈克尔逊干涉装置的两块反射镜使在测微目镜中观察到的是均匀的一片， 即看不到干涉条纹，此时干涉的两束光光程差相等。 2、将透明薄膜垂直放入其中一条光路中，这时在测微目镜中会出现干涉条纹， 调节其中一块反射镜直到测微目镜视野中干涉条纹消失重新变成均匀一片，记录 此时反射镜移动的距离L. 3、若薄膜折射率为n，则2(n-1)d=L，可得d=L/(2n-2)。 这种方法原理简单，但是要求对反射镜移动距离能有较高精度的测量，而且在观

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