PRS故障维修手册

1、prs基本故障與排除1、prs 故障訊息2、故障原因排除一、 prs 故障訊息fault ! exhaust fail !故障！排氣 失敗！fault : total process time is large than setting time about 10 second 故障！總製程時間大於設定時間約10秒fault : 測漏- 不合格! 故障 : 測漏- 不合格! fault! ,icp_rf reflective power is large than setting value & p_rf_f & %故障！射頻反射功率大於設定值設定內容fault! ,icp_rfs forwa

2、rd power is large than setting value & p_rf_f & %故障！射頻輸入功率大於設定值設定內容fault! ,icp_rfs forward power is less than setting value & p_rf_f & %故障！設頻輸入功率小於設定值設定內容fault! compress air fail !故障！壓縮空氣(cda供壓)失敗！fault! mfc( & i & ) flow is large than setting value & p_gas_f & %故障！質流控制器(mfc)流量大於設定值！fault! mfc( & i

3、& ) flow is less than setting value & p_gas_f & %故障！質流控制器(mfc)流量小於設定值！fault! pressure(mks) is large than setting value & p_mks_f & %故障！壓力(mks)大於設定值！fault! pressure(mks) is less than setting value & p_mks_f & %故障！壓力(mks)小於設定值！fault! pump system fail !故障！幫浦系統失敗！fault! water flow fail !故障！冷卻水流量失敗！fault

4、: chamber lid open !故障！腔體門蓋開啟！fault: error_flag rise 故障！錯誤訊號發生！fault: gas control error !故障！氣體控制錯誤！fault: i7000 di module( & (ch_lid &h10000) & ) error !故障！i7000 di(數位輸入) 模組 錯誤 !fault: i7000 do module( & (rv_valve &h10000) & ) error !故障！i7000 do(數位輸出) 模組 錯誤 !fault: i7000(smc) error !故障！i7000 (smc) 錯

5、誤 !fault: icp_rf auto matching error !故障！射頻自動匹配錯誤 !fault: machine inital error !故障！匹配初始錯誤 !fault: mks- close - error !故障！mks(節流閥)關閉錯誤 !fault: motor break error !故障！(旋轉模組)馬達損壞錯誤 !fault: motor set error! 故障！(旋轉模組)馬達設置錯誤 !fault: pump down time out !故障！抽氣時間過長 !fault: pump to base pressure failed ,initia

6、l time out!故障！抽至基楚壓力失敗，初始時間過長 !fault: read pressure(mks)- error !故障！讀取壓力(mks gauge)失敗 !fault: rf control error !故障！射頻控制失敗失敗 !fault: rotor speed read error !故障！轉子(旋轉模組)速度讀取失敗 !fault: servo pressure error !故障！伺服壓力失敗 !fault: set icp_rf power off error.故障！設定射頻電源關閉失敗！fault: set icp_rf remote mode error.故

7、障！設定射頻遙控模式失敗！fault: set icp_rf secho off error.故障！設定射頻回應關閉失敗！fault: set motor stop error ! 故障！設定馬達停止失敗！fault: systen inital error !故障！系統初始化失敗！fault: throttle valve open (100%)-error !故障！節流閥全開失敗！ 故障原因與排除1. fault ! exhaust fail ! 故障！排氣失敗！原因: 早期prs於punp排氣端有加設exhaust (排氣)負(背)壓偵測，該負(背)壓需小於-0.02torr，該讀值可由

8、pump排氣端smc gauge上讀取。(目前該設置均已取消)處理:1.確認pump排氣端是否設有負壓偵測器，若有則檢查讀值是否正確，確認廠務exhaust是否開啟，調整gauge設定測試gauge是否正常。2.進入電腦程式系統，最高權限中元件組合項目，確認exhaust單元是否被勾選。2. fault : total process time is large than setting time about 10 second故障！總製程時間大於設定時間約10秒。原因:因系統警告或軟體bug造成製程動作延遲。處理:進行軟體修正bug。3. fault : 測漏- 不合格!原因: 進行系統測漏

9、程序，其結果超出設定時發出。處理: 1.重新確認測漏條件，抽氣時間是否設定太短，漏率標準是否太高。2.檢查腔體內是否清潔，o-ring是否破損。4. fault! ,icp_rf reflective power is large than setting value故障！射頻反射功率大於設定值原因: 射頻反射功率達到程序項目內設定之警告值。處理: 1.腔體污染，請清潔腔體。2.程序項目內參數異常，請檢查a. rf reflective power設定百分比過低！ b.程序間延遲時間(delay time)過短！ c.子程序順序錯誤3.rf cable鬆脫、斷線或短路。 4.matcher b

10、ox matching異常，coil銅線鬆脫、斷線、短路或氧化。5. fault! ,icp_rfs forward power is large than setting value故障！射頻輸入功率大於設定值原因: 射頻輸入功率達到程序項目內設定之警告值。處理: 1.使用dummy load進行射頻產生器(rf generator)輸出功率測試。2.確認射頻產生器內輸出功率調整差值是否變動。6. fault! ,icp_rfs forward power is less than setting value故障！設頻輸入功率小於設定值原因: 射頻輸入功率達到程序項目內設定之警告值。處理:

11、1.使用dummy load進行射頻產生器(rf generator)輸出功率測試。2.確認射頻產生器內輸出功率調整差值是否變動。7. fault! compress air fail ! 故障！壓縮空氣(cda供壓)失敗！原因: gas box內cda壓力偵測器達到警告值。處理: 1.檢查廠務供氣是否正常。2.檢查管路是否阻塞。3.檢查cda壓力偵測器是否正常。8. fault! mfc( & i & ) flow is large than setting value！故障！質流控制器(mfc)流量大於設定值原因: 質流控制器流量達到程序項目內設定之警告值。處理: 1.將供氣手動閥關閉，m

12、fc流量設定至全開，抽真空後，將mfc歸零後再開啟手動閥測試。2.更換mfc。 9. fault! mfc( & i & ) flow is less than setting value！故障！質流控制器(mfc)流量小於設定值原因: 質流控制器流量達到程序項目內設定之警告值。處理: 1.檢查廠務端供氣是否正常。2.檢查手動閥、氣動閥、電控閥件是否動作正常。3.將供氣手動閥關閉，mfc流量設定至全開，抽真空後，將mfc歸零後再開啟手動閥測試。4.更換mfc。10. fault! pressure(mks) is large than setting value故障！壓力(mks)大於設定值！

13、原因: ct1壓力(mks gauge)讀值大於程序內部設定之警告值。處理: 1.腔體污染，內含過量粉塵或水氣，請清潔腔體。2.pump抽氣效率不良，測試pump底壓。3.腔體或氣體管路漏氣，請更換o-ring或gas key。11. fault! pressure(mks) is less than setting value故障！壓力(mks)小於設定值！原因: ct1壓力(mks gauge)讀值小於程序內部設定之警告值。處理: 1.廠務端氣體未開或供氣不足。 2.mfc下方氣動閥未開啟，檢查氣動閥動作或cda供氣是否正常。3.mfc或腔體或氣體管路阻塞，請檢查管路。12. fault!

14、 pump system fail ! 故障！幫浦系統失敗！原因: 系統啟動時pump上方smc vacuum switch未達到設定值(-700mmhg)處理: 1.檢查pump有無起動，冷卻水是否開啟，水流量感測器是否正常。2.檢查真空開關是否歸零，pump抽氣是否達到設定值。13. fault! water flow fail ! 故障！冷卻水流量失敗！原因: 系統啟動時冷卻水流量未達到設定值處理: 1.檢查廠務冷卻水是否開啟。2.檢查pump或系統冷卻水是否開啟。3.檢查水流量感測器是否正常。14. fault: chamber lid open ! 故障！腔體門蓋開啟！原因: 系統啟

15、動時腔體門未關閉。處理: 1.檢查腔體門是否關閉。2.檢查腔體上方兩顆安全開關動作是否正常。15. fault: error_flag rise故障！錯誤訊號發生！原因: 系統發生錯誤訊號。處理: 1.檢查錯誤訊號發生原因。16. fault: i7000 di module error ! 故障！i7000 di(數位輸入) 模組 錯誤 !原因: di(7053)數位控制模組異常。處理: 1.檢查所有數位模組燈號、電源(24v)是否正常。2.檢查數位模組(7520)rs232轉rs485訊號是否正常。3.檢查數位模組(7053)數位模組是否正常。17. fault: i7000 do mod

16、ule error ! 故障！i7000 do(數位輸出) 模組 錯誤 !原因: do(7043)數位控制模組異常。處理: 1.檢查所有數位模組燈號、電源(24v)是否正常。2.檢查數位模組(7520)rs232轉rs485訊號是否正常。3.檢查數位模組(7043)數位模組是否正常。18. fault: i7000(smc) error ! 故障！i7000 (smc) 錯誤 !原因: smc數位控制異常。處理: 1.檢查所有smc控制訊號是否正常。2.檢查數位模組(7520)rs232轉rs485訊號是否正常。3.檢查數位模組(7053)數位模組是否正常。19. fault: icp_rf

17、auto matching error ! 故障！射頻自動匹配錯誤 !原因: 射頻匹配器無法自行匹配。處理: 1.檢查匹配器內電容及馬達動作是否正常。2.檢查匹配器電源是否正常。3.檢查匹配器控制模組是否正常。20. fault: machine inital error ! 故障！匹配初始錯誤 !原因: 射頻匹配器無法連接。處理: 1.檢查匹配器電源是否正常。2.檢查匹配器訊號線是否連接21. fault: mks- close - error ! 故障！mks(節流閥)關閉錯誤 !原因: mks(節流閥)無法關閉處理: 1.檢查mks(節流閥)動作是否正常。22. fault: motor

18、 break error ! 故障！(旋轉模組)馬達損壞錯誤 !原因: (旋轉模組)馬達損壞！處理: 1.檢查(旋轉模組)馬達供電是否正常。2.檢查(旋轉模組)馬達動作是否正常。3.檢查(旋轉模組)控制器訊號是否正常。23. fault: motor set error! 故障！(旋轉模組)馬達設置錯誤 !原因: (旋轉模組)馬達設置錯誤！處理: 1.檢查(旋轉模組)馬達供電是否正常。2.檢查(旋轉模組)馬達動作是否正常。3.檢查(旋轉模組)控制器訊號是否正常。24. fault: pump down time out ! 故障！抽氣時間過長 ! 故障！抽氣時間過長 !原因: auto run

19、時腔體後smc真空開關未達設定值(n2:-740mmhg)！處理: 1.檢查腔體門板是否緊密。2.檢查smc真空開關設定是否過低。3.檢查pump抽氣效能是否衰竭。25. fault: pump to base pressure failed ,initial time out! 故障！抽至基楚壓力失敗，初始時間過長 !原因: auto run時pump初始(initial)抽氣超過30分鐘。處理: 1.檢查腔體門板是否緊密。2.在手動操作(maintenance)畫面確認pump初始(initial)抽氣設定是否過低。3.檢查腔體或產品是否漏氣(溢氣)26. fault: read pres

20、sure(mks)- error ! 故障！讀取壓力(mks gauge)失敗 !原因: ct1真空計無讀值。處理: 1.檢查ct1訊號線是否脫落。2.檢查mks控制器是否正常。3.檢查di模組接點是否正常。27. fault: rf control error ! 故障！射頻控制失敗 !原因: 射頻產生器無法控制。處理: 1.將系統關閉，離開電腦控制程式。2.將射頻產生器關機後重新開啟。3.檢查射頻產生器通訊設定(9600)28. fault: rotor speed read error ! 故障！轉子(旋轉模組)速度讀取失敗 !原因: 無法讀取旋轉模組轉速。處理: 1.檢查di模組訊號接線是否正常。2.檢查旋轉模組控制器是否正常。29. fault: rotor speed read error ! 故障！伺服壓力失敗 !原因: mks(節流閥)無法控壓。處理: 1.確認製程氣體流量，在控壓範圍內！(rf power on氣體解離，腔體壓力會更大)2.檢查mks(節流閥)動作是否正常，進行learning。3.確認腔體真空回壓率是否正常