Horiba流量计中文说明书

1、C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved. 质质量流量控制器量流量控制器简简介介上海堀上海堀场贸场贸易有限公司易有限公司C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.质量流量控制器主要是由传感器、电路板和驱动阀三大部分组成。是能够对气体流量做精密测量和控制的一种仪器。主要使用在半导体工业和平面显示器制造和太阳能电子方面。质量流量：质量流量控制器感测的是通过的气体的分子量，工作时不受外界的温度和压力的影响。CONTROLELECTRONICS(P-I-D)SIGNALPROCESSING电

2、电源源: :+/- +/- 15VDC15VDC设设定信号定信号: 05V: 05V输输出信号出信号: 05V: 05V进进气端气端出气端出气端 什么是什么是质质量流量控制器量流量控制器C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.阀驱动传感器控制阀侧流管 MFC MFC 的内部的内部结结构构图图C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved. 传传感器的感器的结结构构热传感器TuTuTdTdT.根据传感器的结构，当没有气体流入时，传感器两边的温度呈抛物线状均匀分布。 当有气体流过时，上流端的

3、自加热电阻产生的热量被带走，从而两端形成一定的温度差，使传感器两边的温度曲线分布不再平衡。C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.传传感器感器侧侧流管流管传传感器在不同感器在不同压压力下的特征力下的特征必必须须使使侧侧流管流管设计为层设计为层流流结结构，构，这样这样才能流才能流出相出相对稳对稳定和精准的流量定和精准的流量 。 。（実用新案第号）（実用新案第号）侧侧流管在不同流管在不同压压力下的特征力下的特征C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.压电压电陶瓷陶瓷驱动驱动器器陶瓷的

4、堆栈结构外壳构造干燥的氮气连接端口陶瓷陶瓷驱动驱动器的内部器的内部结结构构MFC MFC 的的阀结阀结构构C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.陶瓷陶瓷阀阀的工作效果的工作效果图图_+_+提供高的直流提供高的直流电压电压压电元件移动方向压电压电元件的伸元件的伸长长MFC MFC 的的阀结阀结构构C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.5V0F l o w R a t e (sccm/slm)100 96 104 零点零点对实际对实际流量的影响流量的影响+200mv -200mv

5、200mV200mV 5000mV(5V) 5000mV(5V) 0.04(40.04(4）100SCCM100SCCM4 44SCCM4SCCM5V0F l o w R a t e (sccm/slm)100 4V3V2V1V80 60 40 20 C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.SCCM 标准立方厘米每分钟SLM 标准立方升每分钟1000sccm = 1slmSCCM和SLM是指在标准条件下的体积单位。标准条件指温度为零摄氏度，一个标准大气压的条件。 在美国，标准条件被广泛接受和认同。 .然而，在其它不同的国家通常使用的流量

6、单位除了SCCM和SLM外还有CCM/ LM (日本) 温度为 25C, 一个标准大气压NCCM/ NLM (日本) 温度为20C, 一个标准大气压 CCM作流量单位和SCCM作流量单位的MFC之间的流量相差大约为9.1%。什么是什么是SCCM /SLM SCCM /SLM 及区别及区别C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.气体 AN2真实流量需要流量QA = C.F.A * QN2QA : 气体 A的流量C.F.A: 气体A 到N2的转换因数QN2: N2的流量v转换因数是一个平均值。但是实际的转换因数可能会因为流量的范围和外界的压力和温度的影响而稍有不同。 v转换因数是使用氮气进行转换，如果是用其它气体作为测量气体，那么测出的气体流量值则会偏差很大。 N2什么是什么是MFCMFC的的转换转换因数因数