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文档简介

1、会计学1电子探针分析原理电子探针分析原理现代分析测试技术现代分析测试技术现代分析测试技术：电子探针技术 流体包裹体技术 同位素质谱技术目的1、了解地学工作与研究中，一些现代技术方法2、初步掌握一些现代技术方法的应用意义第1页/共24页第一节第一节 原理简介原理简介第二节第二节 物理基础物理基础第三节第三节 仪器结构仪器结构第四节第四节 样品制备样品制备第五节第五节 定性分析定性分析第六节第六节 定量分析定量分析第七节第七节 标样选用标样选用第八节第八节 电子探针线分析电子探针线分析第九节第九节 面分析与相分析面分析与相分析第十节第十节 化学测年方法化学测年方法第2页/共24页第3页/共24页第

2、4页/共24页 电电子子探探针针图图像像分分析析第5页/共24页u当电子束轰击到试样表面，立即连续向里穿透。穿透过程中，由于不断与路径中的原子相互作用，导致入射电子的方向、速度和能量发生变化。u入射电子与靶原子之间的这种相互作用可以分为弹性过程和非弹性过程两种。入射电子与原子核的碰撞为弹性过程，原子核与入射电子之间没有发生能量转换，而非弹性过程则产生于入射电子与原子中轨道电子的相互作用。在此过程中，入射电子和靶原子之间发生了能量转换，可以产生二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征X射线、连续x射线和阴极荧光等。第6页/共24页第7页/共24页EeEhc2398.1第8页/共24页第9页/共24页

3、第10页/共24页第11页/共24页特征特征X射线分为射线分为K系、系、L系、系、M系、系、N系、系、O系等系等第12页/共24页IcncEcEoEBiIc)()(0VVBcmEEEZiI式中式中EV为韧致辐射的能量，为韧致辐射的能量，Z为元素的原子序数为元素的原子序数第13页/共24页IBP)()(00VVnCCcmCEEEZEEEIIBP10)(1nCCcmCEEEZIIBP第14页/共24页BBSEBBSEiinn第15页/共24页3724103 . 81086. 1016. 00254. 0ZZZ3724103 . 81086. 1016. 00254. 0ZZZiiTC第16页/共24页)cos1(1第17页/共24页EEZ),(CEEZm),(322/1)(ln0149. 0)(ln1292. 0)(ln2235. 01904. 09211. 01382. 0ZZZCZm第18页/共24页BSEBSEiinnBSEBSEiinn第19页/共24页第20页/共24页电子枪电磁透镜物镜光阑探针电流检测器微物镜样品第21页/共24页灯丝灯丝栅极栅极阳极阳极电磁透镜电磁透镜物镜光阑物镜光阑探针电流检测器探针电流检测器微物镜微物镜光学显微镜光学显微镜X

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