TM-CU-070-A 曝光机类型及对位机理II_p

1、应届大学生入司培训教材编号: TM-CU-070-A曝光机类型及对位机理培训教材修订日期: 2010/08/10FAPS700曝光机培训学习资料一、 结构简图及主要构成组成：主要由对位系统、传送系统、曝光系统、冷却系统、抽真空系统，清洁机、电脑主机等组成。對位系统曝光系统出料区输送系统对位系统：采用中心拍板对位方式，包括预对位和检测区两部分组成，每部分包含2个CCD；传送系统：起板的输送作用，包含从进板到出板过程中全部的传送环节，分轮子传动和吸盘传动两种方式；曝光系统：完成对PCB的曝光完成图形转移，由灯箱、冷光镜、反光镜、曝光玻璃等组成；冷却系统：控制曝光室内的问题，防止由于温度过高导致菲林

2、产生变形，采用水冷的方式，目前冻水供水压力5Bar,温度5，由冻水机、热交换器、高效过滤器、循环管道组成；抽真空系统：曝光时抽真空及传送过程中吸盘抽真空，主要由真空泵、真空吸盘等组成；清洁机：曝光前对板面进行一次清洁，防止灰尘对线路产生不良影响；电脑主机：实现自动控制的平台。二、 工作过程1、 工作原理2、 基本操作：开机：打开压缩空气，、冻水阀门，打开总电源，按下绿色I健，机器启动， 按下control on ，点灯，泵启动，进入自检，完成后进入下一步；装菲林：按下load artwork,进入装菲林页面，用方向健手动将菲林靶点移动至屏幕大致中心位置，按下ENTER后机器自动开始装菲林；装好

3、后根据提示装垫条；按parameters进入参数设置画面，设置完成后按back返回或者按load/store进入程序选择画面，选择需要的程序后按done返回假如机器内部出故障需要手动排除，按下remove，打开需要排除故障的部分，移走需要的板或菲林，按下continue按camera进入灯光设置区，设置完成后按back返回设置全部完成后按automatic,选择endless mode开始做板假如需要进入手动操作状态，按service进入关机：按下off，选择yes,再次按下off，选择yes,系统自动关闭，完成后手动关掉总电源；3、FAPS700的优点：采用单面曝光，有预对位生产效率高，自动

4、化程度高，旋转灯罩不采用碳刷，采用不锈钢材料制作不易掉油漆，使用能耗较低的5KW曝光灯等。三、 点检项目1、 日常维护检查项目1） 查各开关按键是否损坏；2） 密封条是否破损，玻璃盘是否有擦花、划痕或破损；3） 开机前是否有烧焦等异味自机内发出；4） 检查框架运行是否平稳，进出盘时是否有异响；5） 各程序设置键设置是否良好，各开关按健动作是否正常，急停键是否起到保护作用。2、 设备点检项目1） 检查有无漏冷凝水；2） 检查抽真空是否达到要求（90%）；3） 检查运作过程中有无异常声音；4） 检查各吸嘴是否完好；5） 检查安全保护系统是否完整；6） 检查真空泵有无异响；7） 检查各参数设置是否正

5、确；8） 检查冷却系统运转是否正常（202）；9） 检查线路是否凌乱，并整理；10）检查抽风管有无破损；11）检查框架导轨是否松动，润滑是否良好；四、 保养项目（括号内内容为保养基准）1、清洁机内灰尘、杂物（目视无尘、杂物）。2、检查进出板盘传送是否平稳，润滑轴承及导轨（平稳、润滑）3、检查预对位台动作是否顺畅（顺畅，无异响）。4、检查支撑气簧是否够力，如不够力则更换（够力）。11 5、检查抽真空是否良好，真空泵有无异常，每半年换一次真空泵油（菲林真空0.9-1.0bar,接触真空0.4-0.6bar,吸板真空0.1-0.2bar）6、检查曝光灯有无发黑、变形，如有需要则更换，清洁各反光罩(无

6、发黑、变形)7、检查曝光灯快门开启是否良好（及时，缓冲良好）8、检查冷却系统工作是否正常（202）9、检查进风高效过滤器，如有破损或每年更换一次。10、检查各感应器感应是否良好，调整或更换（手动逐个检查）。11、检查各电器元件是否良好，CCD对位是否清晰准确（做板测试）。12、检查各安全开关是否完好有效（手动检查）。13、测试能量均匀性，若能量偏差10%。测进行调整。 14、清理放板机真空发生器及各部件，调整并使吸盘吸板处于最佳状态。15、清理放板机内外部，润滑各运动部件。 16、检查放板机各部件动作是否正常，必要时调整。17、检查进出板段及清洁机传送是否平稳，胶轮有无老化、破损及错位，润滑传

7、送链条。五、 常见问题及处理1、 曝光不良在保证菲林没问题的前提下，检查曝光时抽真空是否正常，测试曝光能量均匀性是否在工艺要求范围内。2、 对位对不上先判断是在预对位对不上还是在检测区对不上，假如在预对位对不上，检查板和菲林的尺寸是否相配，菲林是否装反，进板方向是否放错，再检查拍板是否顺畅，CCD感应是否良好，靶点图象是否清晰；在检测区对不上位，检查清洁菲林是是否有认为造成菲林移动，装菲林过程中动作是否顺畅，对位销钉配合是否良好，吸板过程是否顺畅。 3、其它故障列表PosErrorIndicationCause/action1Display:LOCKING ERRORNO COMPRESSED

8、 AIRLock cannot be opened or closed/No or too little(4bar)Compressed airCheck compressed air2Display:Rotate errorFrequency converter errorHas not traversed to the rotate positionCheck fuse F5Check Q1 motor over-current switchCheck service updates3Rotate drive not functioningRotate drive defectMotor

9、over-current Q1 rippedFrequency converter error:LEDs are not illuminated or are blinkingCheck fuses F4&F5Check Q1 motor over-current switch enable PLC outputO:4/8 Check service updates4Transport belt does not workA5 speed regulating rheostat defectiveM1 conveyor belt drive or M1.1 defectiveCheck fus

10、es F3,F6,F7&F8Exchange speed regulating rheostatCheck k7 enableCheck M1/M1.1 drivesCheck service updates5Output belt not functioningOutput belt not working Same as pos.4 but also check drive M4Check service updates6Display:turning errorW2 turning drive defective A6 speed regulating rheostat defectiv

11、eIs the lid closed?Check fuses F3,F6,F7&F8Check k9 enableCheck M2 driveCheck service updatesExchange speed regulating rheostat7Equipment cannot be switched onNo mains supplyReset emergency-stopCheck fuse F2Check K1 cut-outCheck service updates8PLC input signals missing Check fuse f5Check service upd

12、ates9PLC output signals missingCheck fuses F#,F6&F8Check service updates10No display on control panelCheck fuses F5Check service updates11Display:OUTPUT TRANSPORT MONITORING ERRORPCB has not left the turning unitIf possible, remove PCB Check sensot B1/B2Check service updates 12Display:INPUT TRANSPOR

13、T MONITORING ERRORPCB has not been transported completely inIf possible, remove PCB and acknowledge by pressing ENTER,Check sensor B1/B2Check service updates13Display:NO.1 OR NO.2 SUCCEEDING MACHINES NOT ERRORMake succeeding machine readyCheck service updates14Display:PROGRAM ERRORCheck parametersSelected program contains wrong parametersCheck var.1 to var.8 in screens 1&2 in parameters menuCheck service updates15Display:STAND BY15sec.waiting time for PCB expiredWill be activated by a new PCBPr