镀膜机常见故障及分析解决预防措施47167

1、镀膜机常见故障及分析解决预防措施一.常见故障，问题及解决方法下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析，并给予解决方案及预防措施故障占八、故障现象故障原因解决及预防措施备注1.高压和束流1.1.开枪有咼压， 无束流1. 灯丝保险烧断2. 灯丝烧断3. 南光枪枪体右边引 线碰到枪体底坐1. 检查灯丝保险，烧断则更换2. 保险正常则检查灯丝更换枪 体.3. 调整引线与枪体底坐的间 距.在抽气前检查枪体.即高立关压1.2.开咼压显示跳 动幅度大，并有束 流跳动1. 束流控制调在手动， 电位器未归零2. 枪体短路3. 高压电极保护罩或 屏蔽碰到咼压引线造 成短路4. 电柜

2、故障1. 电位器归零.在预熔完后应 将灯丝电位器归零2. 将连接灯丝变压器的高压引 线取下（注意引线不能碰到机 器应悬空）开咼压，正常则枪 体或咼压电极保护罩或屏蔽短 路造成3. 放气检查电极保护罩或屏蔽4. 检修电柜即高 立关压1.3.开枪无高压， 无束流1. 高压保护不到位（偏 转.真空.柜门）2. 高压电路出问题1. 检查相应的高压保护2. 检修高压控制电路1.4.镀膜时高压会 下跌1. 真空继电器烧坏2. 高压电路出问题1. 更换真空继电器2. 检修高压电路常见4号机1.5.镀膜时灯丝突 然很亮（束流达到 满格）1. BT138可控硅被 击穿2. 枪体短路1. 更换 BT1382. 检

3、查枪体常见4号机1.6有咼压，有灯 丝电流，无光斑1. 栅极片短路2. 扫描出问题或扫描 线接反了1. 整理枪体2. 检修扫描，正确连接扫描线1.7.束流上不去， 达不到以前的水平（同样功率达不到 以前的速率）1. 灯丝位置不正或变 形2. 灯丝被氧化3. 连接枪体的各接头 松动4. 坩埚转速太快5. 材料被污染6. 晶片被挡住1. 重新安装或更换灯丝.为了 更好的对灯丝定形及延长灯丝 使用寿命，在更换新灯丝后应 对灯丝进行预热处理2. 更换灯丝.为防止灯丝氧化 在放气前应注意检查关闭灯丝 电源开关3. 拧紧各连接处.4. 调整坩埚转速5. 取出被污染的材料或更换新 材料6. 调整晶片挡板位置

4、.抽气应 检17.电柜出问题查晶片是否被挡7.检修电柜1.8.阻蒸电流调不 上去1. 蒸发舟烧断或松掉 造成接触不良2. 空气开关跳闸3. 调节电流的电位器 坏了4. 铜电极与真空室底 板下的引线接触不良1. 更换蒸发舟或拧紧螺钉.为 了防止接触不良，各电极和压 块应清洗干净.更换在蒸发舟 时应将铜压块取下砂干净再安 装蒸发舟2. 打开空气开关3. 更换电位器4. 清洁磨平接触不良的地方并 拧紧螺钉1.9.速率不稳定1. 晶片失效2. 料面不好3. 功率设置不合理4. 控制参数PID设置 不合理5. 灯丝接触不好或老 化6. 高压打火1. 选择好的晶片，1.2枪的速率 要匹配2. 料要加平整，

5、养成停坩埚的 好习惯3. 预熔功率及最大功率设置合 理（最大功率为略大于蒸发时 所需功率）4. 设置合理的PID参数5. 紧固或更换灯丝6. 解决打火现象1.10.高压打火1. 枪体污染，杂物掉入 枪体2. 各接线处未拧紧3. 聚四氟套管太脏4. 枪体阳极，栅极变形5. 高压电极太脏6. 屏敝不佳或未屏敝7. 光斑位置不合理，扫 描状态不好8.2枪高压干扰9. 材料污染有杂物10. 咼压打仕10KV11. 预熔不够充分12. 功率设置不合理1. 整理枪体，在吹枪体时应用 吸尘器边吸使吹出的杂物吸走 不被落在枪体里2. 拧紧各连接处，使其接触良 好3. 清洗或更换套管，应定时清 洗4. 调整或更

6、换阳极，栅极片5. 更换高压电极6. 调整屏蔽或加装屏蔽7. 调整好光斑，检查扫描8. 蒸镀1枪时应关闭2枪高压9. 将被污染的材料去除或更换 新材料10. 将咼压调在正确的档位（中 档8KV .在触摸屏上操作时（如 调整坩埚转速时）应注意是否 误碰到咼压调节档位11. 预熔时间及加的束流应合 理（束流最后应加到接近镀第 一套时所需束流坩锅转一到两 圈）12. 设置合理的功率,预熔功率 不应太大，最大功率应与速率相匹配，注意在第一套时速率 较小时功率的设置22.扫 描和 光斑2.1.光斑不能调整1. 扫描引线或线圈短 路2. 整流桥击穿3. 引线或线圈断路4. 遥控盒上的连线松 脱或电位器坏了

7、1. 检查引线及线圈，引线间不 能碰在一起，抽气前应检查引 线是否互相触碰和松动2. 更换整流桥3. 检查引线及线圈4. 接好连线或更换电位器2.2光斑及扫描状 态不好1. 灯丝变形2. 极靴位置不正3. 扫描频率不合适4. 短路条多或少了，位 置不好5. 咼压档位不对6. 扫描连接线有误1. 更换灯丝2. 调整极靴位置.在拆下清洗 时要做好记号避免安装时位置 不止3. 调整合适频率，频差和密度4. 调整短路条的位置及数量5. 调整正确的高压档位6. 止确连接扫描线,维修时应 做好记号3.坩 埚和 工转3.1坩埚转动不灵 或不转1. 坩埚周边间隙太小2. 坩埚间隙有材料（卡料）3. 轴承锈死4

8、. 减速器出问题5. 电机出问题6. 防污底板顶到坩埚（2枪）7. 连接键脱落1. 调整坩埚周边的间隙2. 清理间隙中的材料.注意料 不要加得太高，预熔时数量不 要加得太快，防止材料飞溅掉 入间隙里使坩埚卡住或转得不 顺畅3. 清洗或更换轴承.在打扫真 空室及洗机时应将坩埚下面的 料渣清除，防止料渣太多影响 轴承的性能4. 检查减速器5. 维修或更换电机6. 调整好大门底板的位置（稍 高于坩埚）,关门时感到异常（如较平时紧）应检查底板及防 污板的位置7. 重新安装好键3.2工转噪音大， 光动大1. 电机轴承坏了2. 大轴承干磨性能下 降3. 电机与减速箱连接 不好4. 传动齿轮磨损1. 更换电

9、机轴承2. 清洗或更换大轴承3. 将电机与减速箱连接好4. 更换齿轮3.3工转转不了1. 电机损坏2. 电机与传动部分的 键脱落或磨损3. 传动的齿轮磨损4. 单向器坏了5. 电路出问题1. 更换电机2. 重装或更换键3. 更换齿轮4. 更换或维修单向器（2楼）5. 检修电路33.4.工转电压调不 上,电压显示指针 跳动大1. 调节电位器损坏2. 控制器出问题3. 工转传动不稳4. 碳刷接触不良5. 电压表有冋题1. 更换电位器2. 检修控制器3. 维修传动部分4. 整理碳刷接触面或更换5. 维修或更换电压表4.阀门4.1.阀门打不开1. 气压不够2. 控制阀门的气动阀 有问题3. 阀门间互锁

10、1. 调高气压到适当位置2. 维修或更换气动阀3. 检查与其互锁的阀门.应注 意阀门指示灯显示关闭但实际 阀门并未关闭的现象4.2.阀门打开后会 自动关闭1. 气压不够2. 气动阀阀芯内的橡 皮松脱1. 调高气压到合适位置2. 更换阀芯或气动阀4.3.放气取膜,放 气阀打不开1. 高阀没关到位2. 放气阀的气动阀有 问题1. 检查高阀没关到位的原因 ， 不能强行手动关闭2. 更换或维修气动阀5.真空度5.1.在镀膜过程中 真空度突然下跌1. 高阀,预阀等阀门自 动关闭2. 扩散泵断相或跳闸3. 坩埚卡料强行转动 造成漏气1. 检查气压是否正常，正常则 是相应的阀门问题，一般为气 动阀的阀芯松脱

11、2. 合上闸刀，断相表现为三相 指示灯有一或两个灯不亮,更 换电炉盘3. 维修坩埚,当卡料时不能强 行转坩5.2 .低真空突然抽 不动1. 机械泵掺气阀没关2. 真空室门压到东西3. 并路阀（旁通阀）,截 止阀自动关闭4. 机械泵出问题5. 罗茨泵出问题6. 管道漏气7. 机械泵上的机放阀 漏气8. 真空室漏气1. 关闭掺气阀2. 检查大门密封.关门抽气时 应检查大门是否压到东西或密 封圈上有杂物3. 检查相应的阀门及控制阀门 的气动阀和气压4. 维修机械泵5. 维修罗茨泵6. 维修管道7. 更换或维修机放阀8. 按5.4步骤检漏5.3抽气慢1. 真空室太脏，没换防 污板2. 扩散泵太久没洗3

12、. 扩散泵出气口挡油 板被吸起4. 机械泵没掺气5. 真空测量表基准不 准6. 机械泵,罗茨泵有冋 题1. 更换防污板或清洗真空室2. 清洗扩散泵（大约一年洗一次）3. 调整挡油板4. 给机械泵掺气或换油5. 调节真空表基准或更换真空 表6. 检修机械泵，罗茨泵47. 真空室暴露在大气 时间过长或玻片未烘 干8. 漏气7. 尽量减少敞大气时间，玻片 应完全烘干8. 按5.4步骤检漏54真空度低1. 真空表测量不准2. 真空规管测量口被 百叶窗挡住3. 真空室大门没关好4. 真空泵出问题5. 管道漏气6. 动密封如坩埚,工 转,观察窗，挡板等密 圭寸漏气7. 洗机或维修时动过 的部件或附近有松动

13、8. 堵头没装好9. 通了水的如坩埚,工 转,探头等地方有漏点10. 高阀，低阀气缸漏 气11. 金属焊缝漏1. 更换真空表2. 关闭咼阀，若此时真空室真 空度比较稳定，则放气调整百 叶窗的位置3. 用酒精注射大门密封看真空 度变化，如有变化则放气整理 真空室门密封4. 维修或更换真空泵5. 维修管道6. 更换或重装动密封快速连续转动看真空度是否 有较大的变化，有则是该转动 部动密封有问题7. 检查动过的部件及附近，确认后紧固8. 用酒精注射堵头，若真空度 有变化则紧固或重装该堵头9. 通过用高压气来冲水管看真 空度是否有变化，有则检查水 路10. 通过开关高阀，低阀或用酒 精注射阀门确认后更

14、换阀体或 密封圈11. 用酒精注射各焊缝来确认 是否有漏,有则补焊焊缝掉问S膜题6.1.掉膜1. 真空室或玻片潮湿 （更换防污板后）2. 玻片没洗干净3. 更换新玻片，玻片上 有油污4. 真空度低5. 打火严重，造成膜厚 不均匀引起应力大6. 真空室有油污7. 蒸发速率过高8. 脱膜剂镀得过多9. 扩散泵返油造成高 阀盖及冷井处有油污1. 烘烤玻片及防污板的时间要 适当2. 用干净的布清洗好玻片，清 洗时应认真仔细3. 先用洗洁精清洗干净玻片，再用清水将玻片冲洗干净4. 检漏5. 解决打火现象6. 清洗真空室7. 降低速率到合适位置8. 减少脱膜剂的厚度9. 擦洗高阀盖及冷井.给扩散 泵加热时

15、间不能少于90分钟.62周一掉膜严重 且膜质不好1. 洗机时产生的一些 粉尘在抽气时飞到玻 片上2. 洗机时的潮气及防 污板的潮气未干1. 用酒精仔细擦干净真空室2. 延长轰击时间，防污板应彻 底烘干后才装入真空室7.膜 质7.1.膜质发黑不亮 泽1.U5材料镀少了（有 时有银灰色）2.2枪光斑能量太散（扫描频率有冋题）3.U3材料镀多了（膜 质稀烂）4.2枪坩埚位置不合 适5. U5材料太旧或氧化6. 真空度低1. 适当增加U5厚度2. 调节光斑和扫描频率3. 适当减少U3厚度4. 将2枪坩埚位置移到适当位 置5. 更换新料6. 检查真空度7.2.膜发银1. U5材料镀多了2. 跳程序或假速

16、率造 成U5材料没镀上或镀 少3. U3材料蒸发过快造 成U5没镀上或镀少1. 适当减少U5厚度2. 发现时应适当加镀一些 U5, 在镀2.6层时应特别注意有无 此现象3. 镀U3材料时速率不要过高, 镀完U3材料时应稍微停顿5秒 再镀U57.3.膜质发硬,打 卷1. 玻片太脏2. 玻片表面光洁度差3. U3材料镀的过少1. 仔细清洗玻片，玻片放入真 空室经抽气未使用应更换或清 洗后才能使用.应打扫完真空 室卫生后再装玻片，减少污染2. 更换好的玻片3. 适当增加U3厚度8.膜 厚控 制仪8.1.晶片失效1. 晶片使用寿命已到2. 晶片压簧损坏3. 连接探头的各接触 点接触不良4. 探头冷却水

17、过小或 水温过咼5. 探头挡板碰到工1. 更换好的晶片.在用超声波 清洗晶片时应注意打晶片的时 间及方法，延长晶片的使用寿 命2. 更换晶片压簧.在取压簧时 应轻拿轻放3. 整理各连接处4. 调大探头冷却水流量或开启 冷冻机降水温,水温小于28度5. 调在探头挡板与工转的距离8.2.开始镀膜控制 仪无工作1. 程序清零2. 没选择到镀膜程1. 重新设置程序.在操作膜厚 控制仪时动作不应过快，控制 仪要有良好的接地2. 选择好镀膜程序.在调程序 时应注意光标是否在对应的镀 膜程序上8.3.手动遥控盒不 受控1. 连接控制仪的接头 没接好2. 遥控盒上的按键的 接线脱焊1. 接好接头2. 焊好接线

18、.在用遥控时应注 意连线不要用力过大拉扯连线9.其9.1.开枪镀膜时发1.晶片被挡住1.放气整理.关门抽气时应检他现膜厚仪上没速率2.枪挡板未打开查晶片是否被挡显示3.高压没开2. 修理挡板3. 打开咼压64.束流控制调在手动4.将束流控制调的自动9.2.枪挡板打不开1. 气压不够2. 控制挡板的气动阀 坏了3. 气缸与挡板轴的连 接键或螺钉脱落1. 调高气压到合适位置2. 维修或更换气动阀3. 重新装上键或螺钉些基础知识及注意事项和应急措施1膜厚控制仪 控制参数Soak power1-Soak power2- Maxpower -Fi nal Thk -Rise time -检测膜厚原理-预

19、熔功率1约为蒸发功率的一半-预熔功率2也称预蒸镀功率略小于最大功率最大功率Dep Rate -蒸发速率膜厚（波长）Soak time-预熔时间功率上升时间De nsity -材料密度通过改变探头上晶片的频率（由于膜的蒸发改变了其重量，所以其震动频率发生变 化）来计算膜厚，而探头所处的位置和工具因数的设置都影响到测试精度，探头的位置和测试膜厚的关系如小：（1）.探头高了，测试得到的厚度 实际得到的膜厚（玻片上厚度）（2）.探头低了，测试得到的厚度 实际得到的膜厚（玻片上厚度）（3）.工具因数调高,相当于探头位置降低,所以膜厚要增加2. 膜和材料间的关系2.1. U5吸收杂光，影响膜质和亮度.镀的

20、过多，膜会发银；镀的过少，膜发黑，不亮泽，有银色； 没镀上,则为银白2.2. U3 脱膜剂，影响膜质.镀的过多,膜质稀烂,易脱落;镀的过少,膜会打卷,发硬2.3.SiO2决定颜色2.4.U6 基层,影响膜的鲜艳度和亮度3. 均匀性3.1. 径向均匀性：同一玻片上部与下部的不均匀,与光斑的调节、材料的料面、坩埚转速和 转向、玻片的曲率有关3.2. 重复均匀性：同一锅膜的每一套间的不均匀，与真空度的高低、操作者看颜色有关3.3. 整体均匀性：同一套膜四块玻片上的均匀性，与光斑的稳定性、工转的转速和蒸发速率 的匹配、真空度的高低、径向均匀性有关4. 灯丝问题4.1. 放气时要记住关灯丝电源，以免氧化灯丝4.2. 初次使用或更换新灯丝，应进行灯丝预热定型处理，以防灯丝加热过快变形.预热时,高 压关闭,直接加热灯丝,缓慢加灯丝电流，由几安培加至15A时，维持3-5分钟4.3. 灯丝安装a. 灯丝不宜太高或太低：太高会造成光斑不可调，容易打烂栅极和阳极片；太低会造成 光斑能量太散，不易蒸发b. 栅极片应略低于阳极片c. 各个压块、引线的接触面应清洗干净避免造成接触不良d. 打紧螺钉时应松紧适当，太松会接触不良，太紧会造成“滑丝”5.