RD-VCP垂直电铜线管控规范（精品）

1、文件版本状态页码范围起案部门起案人起案日期01-11研发部黄凤娟2010-6-7no.文件变更履历作成作成日期所属部门0新文件黄凤娟2010-6-7研发部正文项目1.目的4.职责7.工艺流程图10.操作程序13.不良品处理16.参考文件2.适用范围5.适用工具/设备&质量要求11.注意事项14.应急响应17.相关表格3.定义6.环境耍求9.条件参数12.保养规范15.设备维护文件发放清单制四课研发部制工课品保部其它核准研发部经理制造部经理品保部经理h期h期日期fm-rd-192/a1、打开电源开关6、打开自动添加控制11、打开产品基本流程资料2、打开设备灯开关7、打开喷流泵控制3.打开

2、温度控制8、打开电脑主机开关12.调整好挂具与板的距离，开始13、板时需将挂具挂好且拧紧挂具夹板螺丝4、打开过滤泵控制9、打开电脑显示器开关14、下板吋将挂具螺丝拧松5、打开鼓风顶喷控制10、输入产品资料工序名vcp垂直电铜线适用设备vcp线vcp垂直电铜线管控规范rd-001批准研发部经理品保部经理制造部经理作成日期2010-6-7适用工程电铜生产作业作者黄凤娟作成部门研发部第2页共11页no.设备基木操作步骤自主检查标准1打开控制而板上的电源开关“0.管理项冃管理规格检查方法管理时期记录2确定电源指不灯兄,如“不兄”，参阅“系统安全 与故障排除”部分1板血平整、划伤、折痕、 塞孔、批锋、手

3、指印不允许目视首件制程检 验记录3将飞巴相应地放置在上/落板台的v-闻上2孔内毛刺不允许目视首件4在人机界而中将程序选择开关选择到所需执行程 序处3孔内铜厚不允许超 薄或超厚200 x 显 微镜首件切片记 录5设定步骤号和所需的副循环号，通常情况下，开始 吋步骤号和副循环号覆位为14电铜厚度管控按sop条 件基准目视首件电镀制 作指示6自动循环开始时在人机中选择“循环开”57设定处理过程的周期时间68按下动”按钮开始白动运行，时间开始递增7异常处理ctq管理项目no.不良种类处理方法no.项目管理周期1孔铜偏薄电铜麻切片不合格须知会制程t程师由 工程师给出返工参数。1电铜缸倒槽次/3月2活性碳

4、次/半年2孔铜偏厚按实际情况而定,须由制程工程师确认 返工述是对以特采处理。3碳芯过滤次/月文件变更爲1历版木文件修改内容修改口期0新文件2010-6-71、目的为vcp垂直电铜生产作业及药水的维护管控提供依据2、适用范围木规程适用于需要电一铜或图电的fpc双面、多层以及软破结合板的生产。3、定义在化学沉铜层或一铜上通过电解方法沉积金属铜，从而完成不同线路间的导通，并保证孔铜厚度。4、职责4.1、制造部：严格按照木规范进行操作；4.2、研发部：负责规范的编写、修改，并对操作人员进行培训，负责生产线药水的化验、自动添加器的校正4.3、品保部：负责工艺参数的监控及产品的检验4.4、维修部：负责设备

5、的保养及检修5、适用工具/设备设备/工具化学药品其它名称型号/规格名称型号/规格vcp电铜线一条夹棍专用夹棍盐酸ar级胶杯1000/2000ml硫酸铜ar级/cp级磅称30kg浓硫酸ar级/cp级胶手套耐酸碱过硫酸钠胶盆除油剂专用电铜药水xq-2000a-16、环境要求参考车间环境管控规范pe-0097、工艺流程图7. 1. 1、（一次镀铜）上板一酸性除油一热水洗一顶喷水洗一水洗一水洗一酸洗一预镀铜一镀铜一顶喷水洗一水洗一下板7.1.2、（二次镀铜）上板一酸性除汕一热水洗一顶喷水洗一水洗一微蚀一水洗一水洗一酸洗一预镀铜一镀铜一顶 喷水洗一水洗一下板7.2、工艺配备:缸号名称体积l出入水加热/冷

6、却温控/温度材质过滤打气加料1上/下板sst2除油850常闭3kw*4 支50°cpp有20" *4支3热水洗210常闭3kw*1 支45°cpp4水洗210常开pp有5微蚀410常闭3kw*1 支30 qcpp有20" *4支有6水洗210常开pp有7水洗210常开pp有8酸洗410常闭pp有20" *4支9镀铜21000常闭t1冷却（在附 槽中）有/26°c（在附 槽中）pp有20" *18支s自动 添加10水洗210常开pp有11水洗210常开pp有12水洗210常开pp有d1：纯水cw:白來水cf：逆流of：溢流水洗

7、sst：不锈钢pp：pp板材实测温与显示温度可相差1 °c7.3、缸位简介缸号名称简介1上/ f板上板和下板操作工位2除油釆用酸性除油溶液对fpc板孔内及表面油污等进行清洁处理，3热水洗采取热水洗方式有利于洗去fpc表面的酸性除油溶液清洗4水洗采取溢流水方式洗去fpc表而的除油剂残留物5微蚀采取化学方式对fpc铜表而进行粗化并彻底清除板而氧化物6水洗采取溢流水方式洗去fpc表面的微蚀液7水洗采取溢流水方式洗去fpc表面的微蚀液8酸洗采取酸洗洗去fpc表面的氧化物残帘物9 (a.b)镀铜采取直流电对已沉铜板加厚铜，以达到孔壁铜厚要求，保证其导电性能10水洗采取溢流水方式洗去fpc表面的

8、镀铜液11顶位水洗采収溢流水方式洗去fpc表血的残留镀铜液12水洗采取溢流水方式洗去fpc表面的残帘镀铜液7.4、开缸方法缸号名称物料名称开缸量开缸方法2除油850lacl-00785l加入dt水约一半，缓慢加入alc-007 85l,补加di水至液位5微蚀410l（过硫酸钠）sps（硫酸）h2so420. 5kg16. 4l加入di水约一半加入浓硫酸16. 4l,再加入过硫酸钠20. 5kg,补加dt水至液位搅拌均匀8酸洗410l(硫酸)h2s0<16. 4l加入di水约一半缓慢加入浓硫酸16. 4l,再加入di水至液位搅拌匀9(a.b)镀铜21000l（硫酸铜） cusoi 5也0

9、（浓硫酸）h2so. 浓盐酸（hcl）xq-2000a-11470 kg2054l3000ml52. 5 l加入dt水约一半缓慢加硫酸2054l,空气搅匀将1470kg硫酸铜加入槽中边加边搅拌加d1水至液位，打气搅匀。分析添加盐酸,再加入xq-2000a-1 52. 5l电解用40a/单元电解8小时，再用100a/单元电解30分 钟，hull cell试片后试板8、质量要求8.1、对前工序的质量要求：板而平整，无划伤、折痕、孔塞、手指印、批锋、孔内毛刺等现彖。8.2、对本工序的质量要求:板面平整，光亮，无手指印、水印、粗糙、烧焦，孔内铜无超厚、超薄现象，孔内铜层均匀。9. 条件参数9.1、作业

10、参数no.槽号槽名操作时间标准时间滴干时间12除油3-5min4min15s23热水洗30s-90s/10-20s34水洗30s-90s/10-20s45微蚀30s-90s/10-20s56水洗30s-90s/10-20s67水洗30-90s/10-20s78酸洗30s-90s/10-20s89镀铜参照厚度管控表参照电铜厚度管 控表10-20s910水洗30s-90s/10-20s1011顶喷水洗30s-90s/10-20s1112水洗30s-90s/10-20s9.2、电铜厚度管控表1、一次性电铜参数表一电板类型电流密度电铜时间厚度要求整板镀双而板、三层板18-22asf输入电铜要求 厚度后

11、白动生 成电铜时间0. 4-0. 7mil整板镀多层板18-22asf0. 5-0. 8mi 1精密线路板（3ni订及3min以下）、lcm产品双面板18-22asf0. 3-0. 6mil非弯折板、特殊产品18-22asf0. 3-0. 5 mi 1特殊产品（硬板）18-22asf0. 8-1.2mil2、图电电铜参数表二电板类型电流密度电铜时间厚度要求普通双面板，压合板及三层板18-20asf输入电铜要求 厚度后口动生 成电铜时间0. 4-0. 7mil弯折滑盖板（如xcp）及lcm产品双面板18-20asf0. 3-0. 6mil四层及以上18-20asf0. 5-0. 8mil说明：v

12、cp电铜线是根据产品厚度及传送速度白动久成电流密度及电镀时间。9.3、工艺参数:名称项目控制范围控制点时间范围控制点温度范围控制点除油acl-00780-120m1/llooml/l4-6min5min40-60°c50 °c热水洗/30s-90s40-50°c45°c微蚀（过硫酸钠）sps40-60 g/l50g/l30s 90s28-35°c30 °c（硫酸）h2so3. 0-5. 0%4. 0%酸洗（硫酸）h2s0.i3. 0-5. 0%4. 0%30s90s60s室温室温镀铜（硫酸铜）cuso.! 5h2060 9070g/l

13、10-60min根据要求 确定22-28°c26°c（硫酸）h2s04170-200 g/l180 g/l（氯离子）cr40-80ppm60ppmxq-2000a-12-5ml/l3ml/l名称千尺添加或分析补加更换频率9.4、生产控制名称千尺添加或分析补加更换频率除油自动添加次/2周微蚀（过硫酸钠）sps： 2kg/100m2（硫酸）h2so4： 0. 5 l/100m2cu2t全15 g/l或化验分析更换酸洗（硫酸）h2so4 0. 5 l/100m21次/周镀铜（硫酸铜）cuso5出0、（硫酸）h.so,.（氯离子）c化验室分析补加/xq-2000a-1每1kah添加

14、250ml:自动添加9.5、开缸参数及更换频率缸名称物料名称开缸用量补充频率更换频率酸性除汕acl-00785l白动添加或分析补加每2周换缸一次微蚀（过硫酸钠）sps20. 5kg2kg/100m2cu2>15g/1或化验分析换缸（硫酸）h2so416. 4l0. 5l/100m2酸洗（硫酸）出so16. 4l0. 5l/100m2每周换缸一次电铜（硫酸）h2so42054l分析补充每半年做一次活性碳处理（硫酸铜）cu2s0i1470kg分析补充（盐酸）hcl3000ml分析补充xq-2000a-152. 5l2. 5l/10000a.h9.6、流程操作参数:缸名称体积温度控制参数控制范

15、围浸板时间分析频率上板 酸性除油850l40-60°c除油剂80-120ml/l3060sec1次/天热水洗210l40-50°c30-90sec水洗210lr. t30-90sec微蚀410l28-35°csps40-60g/l30 90sec1次/天h2so430-50ml/lcu2+w15g/l微蚀速率0. 51. oum水洗210lr.t30-90sec水洗210lr. t3090sec酸洗410lr.th2so430-50 ml/l30-90sec1次/天电铜21000l22-28°ch2soi170-200g/l10-60min2次/周cu2

16、so460-90 g/lcl'40-80ppmxq-2000a-12-5ml/l顶喷水洗210lr.t3090sec水洗210lr.t30-90sec下板9.7、电流计算：9.7.1、电流计算公式：单张板电流二板而积（长*宽）nmix电流密度（asf） x 24-929009. 7. 2、所用尺寸小于250*250mm以下及厚度小于50um的板不允许在vcp线牛产，所有电铜尾数板须和拖缸板一同生产,拖粧板尺寸须与生产板尺寸偏茅在5%以内，不同型号孔铜厚度要求一致，尺寸偏差在5%以内的可以混合生产。9.7.3、在生产屮每生产一个新料号（包括试样及批量生产）时制造部需拿电流指示卡及生产板由

17、技术给出电流指 示示再生产首件，首缸板为首件确认，首件需由品保判定合格、技术确认示方可进行批罐生产，确认合格示的电流指 示卡需各部门经理进行会签示存档并将确定好参数记录在电镀铜电流制作指示斤总表上,由制四课及品保ipqc各存档 一份，卜次生产此料号时需按首次确认电流指示进行生产。10、操作程序10.1、开线程序10.1.1、检査各药水缸液位是否足够，冇需要则补充水位；10.1.2、打开电源总制，di水制及控制柜显示屏电源；10.1.3、检查线上板并调整飞巴排列正常.10.1.4、检杳各循坏泵的水阀是否打开；10. 1. 5、开行车总电源及控制柜上电源.10.1.6.开自动行车.进入自动模式的步

18、骤:打开控制而板上的电源开关确定电源指示灯亮，如“不亮”，参阅“系统安全与故障排除”部分1将飞巴相应地放置在上/落板台的v-座上在人机界面中将程序选择开关选择到所需执行程序处.1设定步骤号和所需的副循环号，通常情况下，开始时步骤号和副循环号覆位为1自动循环开始时在人机中选择“循坏开”设定处理过程的周期时间按下“自动”按钮开始自动运行，时间开始递增.10.1.7. 打开除汕缸、微蚀缸.电铜缸的循环过滤泵;10.1.8. 开打气、抽风、所有加热器以及冷却水开关;10.1.9. 检查行车路线与设定程序是否相符.10.2.板操作步骤no.步骤打开电源打开设备灯开关打开温度控制过滤泵控制鼓风顶喷控制图示

19、要点备注1、开启总电源时漏电保护器开关向上搬 如箭头所示。2、在开启电源时一定要保证手上没水以 防止漏电伤到人。1、确认电源指示是否亮。2、如不亮通知维修部检修。点击进入温度控制点击进入过滤泵控制点击进入鼓风顶喷控制6打开自动添加控制7打开喷流泵控制点击进入自动添加控制点击进入喷流泵控制打开电脑主机开关打开电脑显示器开打开电脑主机将电脑侧面显示器开关打开10输入产品资料打开产品基本流程资料12夹板13上板输入住产料号、批号、数量，然后点击传 送。生产时可确认板传送情况调整好板与挂具间尺寸，夹板时需配带 pvc手套双手拿板。上板吋需将挂貝挂好1l拧紧挂具螺丝14i、板i、板时将挂具螺丝拧松15拆

20、板拆板时需配带pvc手套双手取板，取板将 板放置于0. 8-1. 2%的防氧化盆屮待烘干10.3、停线程序10.3.1、停所何加热、白动加料装置及di水掣.10.3.2、将线上挂具全部吊出，10.3.3、将自动状态打到手动状态.10.3.4、关行车电源.10.3.5、关行车程序控制总电源.10.3.6、关闭药水缸循环过滤泵、打气等；10.3.7、关显示屏电源及总电源.10.3.8、关冷却水开关、抽风等周边辅助设备.11、注意事项及品质管控1、未经过培训的人员禁止启动该设备的一切电控设施。2、所有与拿板及有关操作均须戴手套拿t板，用胶手套或指套拿湿板，拿板吋需轻拿轻放。3、上板时须双手拿板，必须

21、将挂具挂好并将螺丝拧紧。4、员工在操作时必须注意安全，设备运行期间禁止进入机械区。5、每天生产时需做好生产记录及药水添加记录，并记录在vcp垂直电铜线牛产口报表及vcp垂直电铜线药水添加记录 表上。6、电铜后，侮批需取二张板做切片，并将切片结果记录在切片分析记录表上，发现孔内厚度未达标，要上报相关负责人确认处理，并通知制程工程师根据实际厚度提供返工参数。13、保养规范1、保养频率：1次/天2、保养方法：用钳子把夹点上的铜弄干静，保持夹点导电良好。3、每星期对挂貝检查一次,检查方法用万能表检测夹具导电线是否有断线、夹板的定位针是否脱落、螺丝是否损坏 等不良现象，须挑选出來进行外发维修，并记录在v

22、cp垂直电铜线自主保养表4、新挂具在使用前要进行验收，发现不合格要退供应商处理；检验项目有：4.1、螺丝是否能正常转动；不允许冇滑丝或拧不紧及拧不动、夹板的定位针是否脱落等现象4.2、挂具是否平整；不允许变形、起翘4.3、挂具是否有断线13.2、电铜缸日常保养维护，并记录在vcp垂直电铜线自主保养表上。缸名保养项目保养频率电铜缸弱电解4-8小时1次/周棉芯清洗1次/周磷铜球添加1次/周棉芯更换1次/月碳芯过滤1次/月阳极清洗1次/3个月倒槽1次/3个月碳处理1次/6个月除油缸更换1次/2周棉芯清洗1次/周棉芯更换1次/月微蚀缸更换铜离了全15 g/l或化验分析更换棉芯清洗1次/周棉芯更换1次/

23、月酸洗缸更换1次/周棉芯清洗1次/周棉芯更换1次/月槽外部份挂具检杳1次/周鼓风机滤罐1次/月13.3、电铜缸活性碳处理步骤1、将药水抽到碳处理槽中。2、取出阳极将铜粒倒在清洗槽内，并用清水将磷铜粒、饮篮、阳极袋冲洗干净，分别放入5%-10%v/v的硫酸液中 浸泡待用，同吋将阳极杆、阴极杆及槽体清洗干净（检查阳极袋是否需更换）。3、在药水中加入3-5ml/l的h2o2并打开搅拌；4、搅拌升温至60°c,再恒温8-12小时;5、加入3-5g/l的分析纯优质活性碳粉，充分搅拌2-4小时；（碳粉盂在小盆里用溶液或水完全溶解后慢慢倒入槽液 中）；6、关闭打气、加热，让溶液沉淀8-12小时；7

24、、川棉芯加助滤粉过滤溶液至无碳粉的屮转槽，再川棉芯加助滤粉将药水过滤回工作槽；8、清洗干净铜粒，装入已清洗的饮篮以及套上阳极袋后放置在阳极杆上，补充液位；9、分析添加其它药水含量，调整至正常值；10、添加2. oml/l光剂，用5asf电解6-8小时；11、哈氏槽试验分析调整光剂试镀；12、铜缸添加铜球时，新铜球须用2-5%的硫酸溶液浸泡1小时以上，并川纯水清洗干净，再进行添加，铜球添加标准 为高于液位为准，在补充铜球或分析后需大虽添加药水时，必须进行拖缸处理，时间不少于4小时。14、不良品处理14.1、不良品分类序号不良项目孔铜偏薄需上报当班组长或课长，通知制程工程师确认给出返工参数。孔铜偏厚按实际情况而定，须由制程工程师确认可以特采处理14. 2、孔铜偏薄:根据切片检测厚度确定返电时间后按正常生产流程返工，并记录在vcp垂直电铜线返工记录表上。15、应急响应14.1、停水的处理方式：在突然出现停水后，待作业的产品立即停止生产，已在线生产的产品按正常流程进行电镀14.2、停电的处理方式与返工流程:1、在突然出现停电后,待作业的产品立即停止