半导体PN结物理特性实验智能化数据处理系数的制作

1、半导体PN结物理特性实验智能化数据处理系数的制作实验13 半导体PN结的物理特性【实验目的】（1）测量半导体PN结电流与电压关系。（2）测定PN结温度传感器的灵敏度和玻尔兹曼常数。【实验原理】PN结伏安特性及玻尔兹曼常数测量由半导体物理学可知，PN结的正向电流电压关系满足：（13.1）式中，I是通过PN结的正向电流，I0是反向饱和电流，在温度恒定时，I为常数，T是热力学温度，是电子的电荷量，U为PN结正向压降。由于在常温T=300K时，/0.026V ，而PN结正向压降约为0.1V的数量级，则exp，（13.1）式括号内 -1项完全可以忽略，于是有： （13.2）也即PN结正向电流随正向电压按

2、指数规律变化。若测得PN结I-U关系值，则利用（13.1）式可以求出/。在测得温度T后，就可以得到/常数，把电子电量作为已知值代入，即可求得玻尔兹曼常数。在实际测量中，二极管的正向I -U关系虽然能较好满足指数关系，但求得的常数往往偏小。这是因为通过二极管电流不只是扩散电流，还有其它电流。一般它包括三个部分：（1）扩散电流，它严格遵循（13.2）式；（2）耗尽层符合电流，它正比于；（3）表面电流，它是由Si和SiO2界面中杂质引起的，其值正比于，一般m>2。因此，为了验证（13.2）式及求出准确的/常数，不宜采用硅二极管，而采用硅三极管接成共基极线路，因为此时集电极与基极短接，集电极电流

3、中仅仅是扩散电流。复合电流主要在基极出现，测量集电极电流时，将不包括它。本实验中选取性能良好的硅三极管（TIP31型），实验中又处于较低的正向偏置，这样表面电流影响也完全可以忽略，所以此时集电极电流与结电压将满足（13.2）式。实验线路如图13.3所示。图10.3PN结扩散电源与结电压关系测量线路图2弱电流测量 过去实验中10-6A 10-11A量级弱电流采用光点反射式检流计测量，该仪器灵敏度较高约10-9A/分度，但有许多不足之处。如十分怕震，挂丝易断；使用时稍有不慎，光标易偏出满度，瞬间过载引起引丝疲劳变形产生不回零点及指示差变大。使用和维修极不方便。近年来，集成电路与数字化显示技术越来越

4、普及。高输入阻抗运算放大器性能优良，价格低廉，用它组成电流-电压变换器测量弱电流信号，具有输入阻抗低，电流灵敏度高。温漂小、线性好、设计制作简单、结构牢靠等优点，因而被广泛应用于物理测量中。 LF356是一个高输入阻抗集成运算放大器，用它组成电流-电压变换器(弱电流放大器),如图13.4所示。其中虚线框内电阻Zr为电流-电压变换器等效输入阻抗。由图13.4可，运算放大器的输入电压U0为：图13.4电流电压变换器式（13.3）中Ui为输入电压，K0为运算放大器的开环电压增益，即图13.4中电阻时的电压增益，Rf 称反馈电阻。因为理想运算放大器的输入阻抗，所以信号源输入电流只流经反馈网络构成的通路

5、。因而有： （13.4）由式（13.4）可得电流电压变换器等效输入阻抗Zr为 （13.5）由式（13.3）和式（13.4）可得电流电压变换器输入电流Is输出电压U0之间得关系式，即： （13.6）由（13.6）式只要测得输出电压U0和已知Rf值，即可求得IS值。以高输入阻抗集成运算放大器LF356为例来讨论Zr和IS值得大小。对LF356运放的开环增益K0=2×105，输入阻抗ri1012。若取Rf为1.00M，则由(5)式可得： （）若选用四位半量程200mV数字电压表，它最后一位变化为0.01mV ，那么用上述电流电压变换器能显示最小电流值为：由此说明，用集成运算放大器组成电流-

6、电压变换器测量弱电流，具有输入阻抗小、灵敏度高的优点。3PN结的结电压与热力学温度T关系测量。当PN结通过恒定小电流（通常电流I1000A），由半导体理论可得与T近似关系：（13.5）式中mV/为PN结温度传感器灵敏度。由可求出温度0K时半导体材料的近似禁带宽度。硅材料的约为1.20eV。【实验内容】一、关系测定，并进行曲线拟合求经验公式，计算玻尔兹曼常数。（）（1）实验线路如图10.3所示。图中U1为三位半数字电压表，U2为四位半数字电压表，TIP31型为带散热板的功率三极管，调节电压的分压器为多圈电位器，为保持PN结与周围环境一致，把TIP31型三极管浸没在盛有变压器油干井槽中。变压器油温

7、度用铂电阻进行测量。（2）在室温情况下，测量三极管发射极与基极之间电压U1和相应电压U2。在常温下U1的值约从0.3V至0.42V范围每隔0.01V测一点数据，约测10多数据点，至U2值达到饱和时（U2值变化较小或基本不变），结束测量。在记数据开始和记数据结束都要同时记录变压器油的温度，取温度平均值。3改变干井恒温器温度，待PN结与油温湿度一致时，重复测量U1和U2的关系数据，并与室温测得的结果进行比较。4曲线拟合求经验公式：运用最小二乘法，将实验数据分别代入线性回归、指数回归、乘幂回归这三种常用的基本函数（它们是物理学中最常用的基本函数），然后求出衡量各回归程序好坏的标准差。对已测得的U1和

8、U2各对数据，以U1为自变量，U2作因变量，分别代入：（1）线性函数U2=aU1+b；（2）乘幂函数U2=aU1b；（3）指数函数。求出各函数相应的a和b值，得出三种函数式，究竟哪一种函数符合物理规律必须用标准差来检验。办法是：把实验测得的各个自变量U1分别代入三个基本函数，得到相应因变量的预期值U2*,并由此求出各函数拟合的标准差： 式中n为测量数据个数，Ui为实验测得的因变量，Ui*为将自变量代入基本函数的因变量预期值，最后比较哪一种基本函数为标准差最小，说明该函数拟合得最好。5计算/常数，将电子的电量作为标准差代入，求出玻尔兹曼常数并与公认值进行比较。二、关系测定，求PN结温度传感器灵敏

9、度S，计算硅材料0K时近似禁带宽度值。图10.5图10.6（1）实验线路如图10.5所示，测温电路如图10.6所示。其中数字电压表V2通过双刀双向开关，既作测温电桥指零用，又作监测PN结电流，保持电流I100A用。（2）通过调节图5电路中电源电压，使上电阻两端电压保持不变，即电流I100A。同时用电桥测量铂电阻的电阻值，通过查铂电阻值与温度关系表，可得恒温器的实际湿度。从室温开始每隔510测一定值（即V1）与温度（）关系，求得关系。（至少测6点以上数据）3用最小二乘法对关系进行直线拟合，求出PN结测温灵敏度S及近似求得温度为0K时硅材料禁带宽度。【实验数据】1关系测定，曲线拟合求经验公式，计算

10、玻尔兹曼常数。室温条件下: = ， = ，= 表13.11234567U1/VU2/VU1/VU2/V以U1为自变量，U2为因变量，分别进行线性函数、乘幂函数和指数函数的拟合，结果填入表13.2中。表13.2线性回归乘幂回归指数回归nU1/VU2/VU2*/V(U2-U2*)2/V2U2*/V(U2-U2*)2/V 2U2*/V(U2-U2*)2/V 21234567891011121314ra、b计算玻尔兹曼常数：由表13.2数据得=bT = CK/J则= J/K将结果与玻尔兹曼公认值进行比较。2电流I100A时，关系测定，求PN结温度传感器的灵敏度S，计算0K进硅材料的近似禁带宽度。表13

11、.3关系测定序号/T /K/V1234567891011用计算器对数据进行直线拟合得：（1）斜率，即传感器灵敏度S mV/K（2）截距= V（0K温度）（3）相关系数r （4） 禁带宽度= 电子伏特，将此结果与硅在0K温度时禁带宽度公认值1.205eV相比较。【注意事项】1数据处理时，对扩散电流太小（起始状态）及扩散电流接近或达到饱和时的数据，在处理数据时删去，因为这些数据可能偏离公式（13.2）。2必须观测恒温装置上温度计读数，待TIP31三极管温度处于恒定时（即处于热平衡时），才能记录U1和U2数据。（3）用本装置做实验，TIP31型三极管温度可采用的范围为0 50。若要在 -120 0温

12、度范围内做实验，必须有低温恒温装置。（4）由于各公司的运算放大器（LF356）性能有些差异，在换用LF356时，有可能同台仪器达到饱和电压U2值不相同。（5）本仪器电源具有短路自动保护，运算放大器若 15V接反或地线漏接，本仪器也有保护装置，一般情况集成电路不易损坏。请勿将二极管保护装置拆除。【参考文献】1 沈元华, 陆申龙. 基础物理实验M. 北京: 高等教育出版社. 2003: 193-1962 吕斯骅, 段家忯. 基础物理实验M. 北京: 高等教育出版社. 2003: 3073 徐华伟, 谭春光, 朱亚辉等.低温半导体PN结的物理特性及玻尔兹曼常数的测量J.物理实验. 1999, 12(

13、2):1-34 陆申龙, 曹正东. 低温条件下半导体材料禁带宽度的测量J. 大学物理. 15(10) 1996: 37-395 陈水桥. PN结正向压降温度特性的研究和应用J. 物理实验. 20(7) 2000: 7-93.1 界面设计3.2 智能按钮制作（a）直线拟合to handle mouseenter text of field field90="实验数据都输入了吗？输入好了就单击计算"endto handle mouseleave text of field field90="返回"endto handle buttonclick-6420,1

14、905:15,0;6420,8835:0,0;13420,8835:0.28,0.48local x20local y20x0=6420;y0=8835-2310scalex=(13420-6420)/(0.48-0.28);scaley=(8835-1905-2310)/(0-15);n=20;step i from 101 to 120 xi-100=0; yi-100=0; if (text of field ("field"&i)=null) nn=i-100 if nn<n n=nn-1; end else xi-100=text of field

15、("field"&i) yi-100=text of field ("field"&(i+100) endend - text of field field90=x0+scalex*(x1-0.28)&","&y0+scaley*y1&","&x0+scalex*(x2-0.28)&","&y0+scaley*y2step i from 1 to n-1 set vertices of line ("line"&

16、amp;i) to x0+scalex*(xi-0.28),y0+scaley*yi,x0+scalex*(xi+1-0.28),y0+scaley*yi+1end-直线拟合sumx=0;sumy=0;sumxy=0;sumxx=0;step i from 1 to n sumx=sumx+xi sumy=sumy+yi sumxy=sumxy+xi*yi sumxx=sumxx+xi*xiendk=(n*sumxy-sumx*sumy)/(n*sumxx-(sumx)2)b=sumy/n-k*sumx/nxx1=0.3;xx2=0.48yy1=k*xx1+b;yy2=k*xx2+b set

17、vertices of angledline angledline1 to x0+scalex*(xx1-0.28),y0+scaley*yy1,x0+scalex*(xx2-0.28),y0+scaley*yy2sum1=0step i from 1 to n sum1=sum1+(yi-k*xi-b)2;endif (k*1000 mod 1)<0.5 text of field field91=(k*1000 div 1)+0)/1000else text of field field91=(k*1000 div 1)+1)/1000endif (b*1000 mod 1)<

18、0.5 text of field field92=(b*1000 div 1)+0)/1000else text of field field92=(b*1000 div 1)+1)/1000endtext of field field93=(sum1*1000 div 1)+1)/1000end（b）指数拟合to handle mouseenter text of field field90="实验数据都输入了吗？输入好了就单击计算"endto handle mouseleave text of field field90="返回"endto han

19、dle buttonclick-6420,1905:15,0;6420,8835:0,0;13420,8835:0.28,0.48local x20local y20local xx20local yy20local yyy20x0=6420;y0=8835-2310scalex=(13420-6420)/(0.48-0.28);scaley=(8835-1905-2310)/(0-15);n=20;step i from 101 to 120 xi-100=0; yi-100=0; if (text of field ("field"&i)=null) nn=i-

20、100 if nn<n n=nn-1; end else xi-100=text of field ("field"&i) yi-100=text of field ("field"&(i+100) endend -text of field field90=log(y13,2.718)step i from 1 to n-1 set vertices of line ("line"&i) to x0+scalex*(xi-0.28),y0+scaley*yi,x0+scalex*(xi+1-0.28),

21、y0+scaley*yi+1end-指数拟合sumx=0;sumy=0;sumxy=0;sumxx=0;step i from 1 to n xxi=log(xi,2.718); yyi=log(yi,2.718); sumx=sumx+xxi sumy=sumy+yyi sumxy=sumxy+xxi*yyi sumxx=sumxx+xxi*xxiend k=(n*sumxy-sumx*sumy)/(n*sumxx-(sumx)2) b=sumy/n-k*sumx/n bb=k; aa=exp(b); sum1=0; step i from 1 to n sum1=sum1+(yi-aa*x

22、ibb)2; end sum11=sqrt(sum1/n); if (aa*1000 mod 1)<0.5 text of field field91=(aa*1000 div 1)+0)/1000else text of field field91=(aa*1000 div 1)+1)/1000endif (bb*1000 mod 1)<0.5 text of field field92=(bb*1000 div 1)+0)/1000else text of field field92=(bb*1000 div 1)+1)/1000endstep i from n+1 to 20

23、 xi=xn; yi=yn;end -text of field field90=sum1if (sum11*1000 mod 1)<0.5 text of field field93=(sum11*1000 div 1)+0)/1000else text of field field93=(sum11*1000 div 1)+1)/1000endnnn=15step i from 1 to 20 xxi=x0+scalex*(xi-0.28); yyyi=aa*xibb; yyi=y0+scaley*yyyi;end- text of field field93="u21=&

24、quot;&aa*x1bb&","&"u22="&aa*x2bb&","&"u23="&aa*x3bb&","&"u24="&aa*x4bb&","&"u25="&aa*x5bb&","&"u26="&aa*x6bb&","&"

25、;u27="&aa*x7bb&","&"u28="&aa*x8bb&","&"u29="&aa*x9bb&","&"u210="&aa*x10bb&","&"u211="&aa*x11bb&","&"u212="&aa*x12bb&",&quo

26、t;&"u213="&aa*x13bb&","&"u214="&aa*x14bb&","&"u215="&aa*x15bb&","&"u216="&aa*x16bb&","&"u217="&aa*x17bbset vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,x

27、x2,yy2;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5;pause nnn;set vertices of angledline angl

28、edline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7,xx8,yy8;pause nnn;set ver

29、tices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7,xx8,yy8,xx9,yy9;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7,xx8,yy8,xx9,yy9,xx10,yy10;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1

30、,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7,xx8,yy8,xx9,yy9,xx10,yy10,xx11,yy11;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7,xx8,yy8,xx9,yy9,xx10,yy10,xx11,yy11,xx12,yy12;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,x

31、x2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7,xx8,yy8,xx9,yy9,xx10,yy10,xx11,yy11,xx12,yy12,xx13,yy13;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7,xx8,yy8,xx9,yy9,xx10,yy10,xx11,yy11,xx12,yy12,xx13,yy13,xx14,yy14;pause nnn;set vertices

32、of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7,xx8,yy8,xx9,yy9,xx10,yy10,xx11,yy11,xx12,yy12,xx13,yy13,xx14,yy14,xx15,yy15;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7,xx8,yy8,xx9,yy9,xx10,yy10,xx11,

33、yy11,xx12,yy12,xx13,yy13,xx14,yy14,xx15,yy15,xx16,yy16;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7,xx8,yy8,xx9,yy9,xx10,yy10,xx11,yy11,xx12,yy12,xx13,yy13,xx14,yy14,xx15,yy15,xx16,yy16,xx17,yy17;pause nnn;set vertices of angledline angl

34、edline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7,xx8,yy8,xx9,yy9,xx10,yy10,xx11,yy11,xx12,yy12,xx13,yy13,xx14,yy14,xx15,yy15,xx16,yy16,xx17,yy17,xx18,yy18;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6,xx7,yy7,xx8,yy8,xx9,yy9,xx1

35、0,yy10,xx11,yy11,xx12,yy12,xx13,yy13,xx14,yy14,xx15,yy15,xx16,yy16,xx17,yy17,xx18,yy18,xx19,yy19;pause nnn;end（c）e指数拟合to handle mouseenter text of field field90="实验数据都输入了吗？输入好了就单击计算"endto handle mouseleave text of field field90="返回"endto handle buttonclick-6420,1905:15,0;6420,883

36、5:0,0;13420,8835:0.28,0.48local x20local y20local xx20local yy20local yyy20x0=6420;y0=8835-2310scalex=(13420-6420)/(0.48-0.28);scaley=(8835-1905-2310)/(0-15);n=20;step i from 101 to 120 xi-100=0; yi-100=0; if (text of field ("field"&i)=null) nn=i-100 if nn<n n=nn-1; end else xi-100=

37、text of field ("field"&i) yi-100=text of field ("field"&(i+100) endend -text of field field90=log(y13,2.718)step i from 1 to n-1 set vertices of line ("line"&i) to x0+scalex*(xi-0.28),y0+scaley*yi,x0+scalex*(xi+1-0.28),y0+scaley*yi+1end-直线拟合-sumx=0;sumy=0;su

38、mxy=0;sumxx=0;-step i from 1 to n- sumx=sumx+xi- sumy=sumy+yi- sumxy=sumxy+xi*yi- sumxx=sumxx+xi*xi-end-k=(n*sumxy-sumx*sumy)/(n*sumxx-(sumx)2)-b=sumy/n-k*sumx/n-xx1=0.3;xx2=0.48-yy1=k*xx1+b;yy2=k*xx2+b- set vertices of angledline angledline1 to x0+scalex*(xx1-0.28),y0+scaley*yy1,x0+scalex*(xx2-0.28

39、),y0+scaley*yy2-sum1=0-step i from 1 to n- sum1=sum1+(yi-k*xi-b)2;-end-指数拟合sumx=0;sumy=0;sumxy=0;sumxx=0;step i from 1 to n xxi=xi; yyi=log(yi,2.718); sumx=sumx+xxi sumy=sumy+yyi sumxy=sumxy+xxi*yyi sumxx=sumxx+xxi*xxiend k=(n*sumxy-sumx*sumy)/(n*sumxx-(sumx)2) b=sumy/n-k*sumx/n bb=k; aa=exp(b);-if

40、(bb*1000 mod 1)<0.5- text of field field91=(bb*1000 div 1)+0)/1000-else- text of field field91=(bb*1000 div 1)+1)/1000-endif (aa div 1)>0 if (aa*1000 mod 1)<0.5 text of field field91=(aa*1000 div 1)+0)/1000 else text of field field91=(aa*1000 div 1)+1)/1000 endelse if (aa*10 div 1)>0 if

41、(aa*10000 mod 1)<0.5 text of field field91=(aa*10000 div 1)+0)/10000 else text of field field91=(aa*10000 div 1)+1)/10000 end else if (aa*100 div 1)>0 if (aa*100000 mod 1)<0.5 text of field field91=(aa*100000 div 1)+0)/100000 else text of field field91=(aa*100000 div 1)+1)/100000 end else i

42、f (aa*1000 div 1)>0 if (aa*1000000 mod 1)<0.5 text of field field91=(aa*1000000 div 1)+0)/1000000 else text of field field91=(aa*1000000 div 1)+1)/1000000 end else if (aa*10000 div 1)>0 if (aa*10000000 mod 1)<0.5 text of field field91=(aa*10000000 div 1)+0)/10000000 else text of field fi

43、eld91=(aa*10000000 div 1)+1)/10000000 end else if (aa*100000 div 1)>0 if (aa*100000000 mod 1)<0.5 text of field field91=(aa*100000000 div 1)+0)/100000000 else text of field field91=(aa*100000000 div 1)+1)/100000000 end else if (aa*1000000 div 1)>0 if (aa*1000000000 mod 1)<0.5 text of fie

44、ld field91=(aa*1000000000 div 1)+0)/1000000000 else text of field field91=(aa*1000000000 div 1)+1)/1000000000 end else if (aa*10000000 div 1)>0 if (aa*10000000000 mod 1)<0.5 text of field field91=(aa*10000000000 div 1)+0)/10000000000 else text of field field91=(aa*10000000000 div 1)+1)/1000000

45、0000 end else if (aa*100000000 div 1)>0 if (aa*100000000000 mod 1)<0.5 text of field field91=(aa*100000000000 div 1)+0)/100000000000 else text of field field91=(aa*100000000000 div 1)+1)/100000000000 end else if (aa*1000000000 div 1)>0 if (aa*1000000000000 mod 1)<0.5 text of field field9

46、1=(aa*1000000000000 div 1)+0)/1000000000000 else text of field field91=(aa*1000000000000 div 1)+1)/1000000000000 end else if (aa*10000000000000 mod 1)<0.5 text of field field91=(aa*10000000000000 div 1)+0)/10000000000000 else text of field field91=(aa*10000000000000 div 1)+1)/10000000000000 end e

47、nd end end end end end end end endendif (bb*1000 mod 1)<0.5 text of field field92=(bb*1000 div 1)+0)/1000else text of field field92=(bb*1000 div 1)+1)/1000endsum1=0step i from 1 to n sum1=sum1+(yi-aa*exp(xi*bb)2;endsum11=sqrt(sum1/n)step i from n+1 to 20 xi=xn; yi=yn;endif (sum11*1000 mod 1)<0

48、.5 text of field field93=(sum11*1000 div 1)+0)/1000else text of field field93=(sum11*1000 div 1)+1)/1000endnnn=15step i from 1 to 20 xxi=x0+scalex*(xi-0.28); yyyi=aa*exp(xi*bb); yyi=y0+scaley*yyyi;endset vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2;pause nnn;set vertices of angledline angle

49、dline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5;pause nnn;set vertices of angledline angledline1 to xx1,yy1,xx2,yy2,xx3,yy3,xx4,yy4,xx5,yy5,xx6,yy6;pause nnn;set vertices of angledli