机台培训概要

1、机台培训概要1Bond headCANON D01 bond三个电磁阀，从左到右依次是bond force，bond blow，bond VAC.注：D02 bond有3个force，分别为bond force，pick force，standby force2Bond arm电磁阀铁块里有两个垫片，下面垫片顶住“轴”上面垫片顶住“水晶片”两块垫片作用：防制真空漏气，注:水晶片如果不在中心或松动,会导致 Chip adsorption failure等上片不稳报警。3Dispensing machine界面4Dispensing machine按键描述 LCD主显示屏，显示主机的参数信息。 设

2、置模式按键，选择此模式下可以更换频道，设置系统参数以及设置功能的参数。（前提是此频道开启了 功能） 点胶模式设定按键，按DIS灯亮时可以设定点胶时间，气压以及回吸参数。 预览模式按钮，此模式下可以查看设定的针筒，连接管信息，选择需要的频道，并且可以给频道取名。 方向键，可以设定数值。 编辑按键，在换行选择时使用。 选择按键，在按住此键加电源开关键开机时，可以进入语言选择 画面。 电源开关按钮。 确认键，选择了某项命令后确认使用。 时间模式和手动模式切换按键，灯亮时是时间模式，灭时是手动模式。 真空回吸提示灯，灯亮时回吸打开。 吐出信号键，按键进行吐胶。 232接口，用于连接电脑使用。 快速接口

3、，用于连接连接器。 5Dispensing machine 校准 SOP同时按住“”和电源开关按钮开机注：在初次使用本机需要进行功能校验，当环境发生变化时也需进行校验6Dispensing machine校准校准 SOP使用“”“”选择calibration mode,选择后按“ENT”确认选择supply = 300kpa后再次按“ENT”确认7Dispensing machine校准校准 SOP如图选择后，按“ENT”确认开始自动校验，直至校验完成。8Canon stage useD01 1-2 needle stage double ring and 6wafer ring(14)D02

4、 1-2 needle stage 6-8double/wafer ring(14)9Canon stage useD01 1-2 needle stage8wafer ring (22)D02 1-4 needle stage8wafer ring(22)10Canon stage useD02 1-4 needle stage12wafer table only(32)11Change Epoxy SOP需要更换银浆，首先清空轨道将无尘布放置在点胶轨道垫板处防止沾污检查银浆种类，解冻时间，使用寿命确认无误后，更换银浆,小心操作预防溅漏检查银浆管是否紧密安装在固定架上（到达安全线位置）确认无

5、误后使用dummy基板试运行, 调节相关参数，检查dummy基板正面及背面，轨道垫块表面，确保没有银浆残留Run 1 strip,100%全检这条产品, 确保画胶质量输入OEE change Epoxy记录，开始生产12Canon更换吸嘴 SOP将 pick arm移动到吹风的位置，才可以进行collet change用手将旧的collet取下换上新的collet，注意换上后collet要固紧然后进入 BESTEM 菜单chip supply pick up xy position check（Align cursor）调节collet的中心，保持三点一线中心重叠重新校正 pick Z-hei

6、ght吸嘴更换完成，手动抓取晶片测试collet的良好情况Run 1 strip 产品， 100%全检这条产品生产，测量 BLT 位置，确保产品质量输入OEE change collet记录，开始生产13Canon更换顶针 SOP用内六角扳手工具小心的拔掉顶针，并换上新的顶针，须将顶针插到底锁紧。重新旋上顶针帽，旋转时保持“+”字中心维持在顶针帽的中心。重新调节顶针的高度，使顶针的高度和顶针帽的高度持平。进入 BESTEM 菜单chip supply change stage（Needle and stage Center align）重新调节collet/needle “+”字中心重叠。手动

7、抓取晶片测试顶针的良好情况。14Canon 配件装置调试及故障排除当机台开机时，启动界面停留在“BEST”画面不动时，故障原因分析以及排除方法,各部件motor的工作原理及认识Heat block的水平装置调试Transport clamp的水平装置调试Needle的中心及顶针座的水平装置调试Wafer Table的扩张器下压上升水平调试及sensor探测装置原理Canon 机台Substrate , Dispense，chip辨识侦测的工作原理15设备重新启动之后画面停留在BESTEM的画面下，信号塔为绿灯亮，红灯和黄灯闪烁。交换SL-15和SL-10的连接线，显示屏画面显示如下。注释：设备

8、无法启动时，不要随便和其他设备进行备件交换作确认。应该首先通过交换SL-15和SL-10的连接线，判断故障时控制CP（SL-10）中的状态如何。16通常设备无法启动时，如果显示屏画面停留在BESTEM画面的话，信号塔完全不亮的情况说明DOM可能坏掉了；信号塔像前页所述亮的情况则说明DOM本身没有坏，坏掉的可能是DOM中的数据。此时我们可以按照前页所述之方法，确认SL-10的状态。通过前页照片我们得出结论：即此次故障原因是轨道参数被破坏，被破坏的原因无法判断。参数被破坏之后，DOM中的数据变成乱码导致设备重新启动时无法开启。恢复方法是把备份的参数重新写进去。去年年底我曾经让客户进行过数据的备份。

9、设备不能启动的时候，只要信号塔还正常的话，就说明DOM可能还有救，其方法（即数据转换方法）叙述如后页。请参考。另外，有个别情况是通过软件升级可以解决问题。但是这种情况，由于没有规律而言，所以无法总结。总之，根据像前页那样的画面和具体现象可以进行个别判断。17DOM中保存的是当前生产的品种的超级菜单中的数据。HDD中保存的是当前品种之外的其他品种的参数。所谓数据转换就是指把HDD中的参数转换到DOM中去。DOM中的当前品种数据被破坏之后，开机检测时会对DOM中的参数进行一个一个的确认，如果确认的结果是乱码的话，DOM就不能能和SL-10进行正常通信，如果DOM本身坏了的话，就完全没有信号给到SL

10、-10，这时候信号塔都不亮，造成无法正常启动。 如果DOM本身没有坏的话，虽然有乱码，但是还有信号（不是正常信号）给到SL-10，这时候虽然也无法正常启动但是这个时候信号塔是可以亮的。而且如同前页所述交换SL-10和SL-15的接续线，这时候SL-10收到的信号中有乱码部分的信息，这个信息通过显示屏表示出来，可以判断是哪一部分（UNIT）的参数变成乱码了。18准备一个键盘，在BESTEM的画面之下，把键盘插入USB接口。启FFFTP软件，下图为示意图，实际操作的画面背景应该有BESTEM字样。按键盘的Windows就可以进入下面的画面。按照的顺序，启动FFFTP软件。下面的画面FFFTP软件在

11、二级菜单中，根据软件版本不同软件也有可能在一级菜单中。这个没关系，只要找到FFFTP即可。191FFFTP软件启动之后，画面如下图所示。点击下面序号Controller然后点击序号20使用键盘在红色部分输入 之后，按回车键21输入下面内容之后按回车键/home/noa/bin/system/data 22由于前面也提到过，DOM中现在品种的数据已经被破坏了。设备启动时这些数据已经不行了，我们要通过换新的数据，把HDD中的其他品种的好数据，用后面几页所说的方法先变换其他品种，然后把变换之后的这个品种的数据从HDD拷贝到DOM中，这样的话，设备就将以另外的品种的数据被启动。这样首先解决了设备启动的

12、问题。设备正常启动之后，如果生产需要原来的品种的话，我们可以把已经备份好的原来品种的数据拷贝回设备中，如果没有备份的话，也可以从其他的相同设备中拷贝同一个品种数据，如果连这个也没有的话，只能请求总部帮助，拿到出厂时的数据，否则就需要工程师一个一个参数重新设定，这么做虽然也行，但是太花时间，不到万不得已的话，作为厂家不建议这么做。所以平时注意数据的备份，这一点是非常重要的。具体方法请参照以下几页的说明。23在左侧的窗口有一个“Current.item”文件,鼠标右击文件,跳出如下图左侧所示菜单“notepad”这一项,在这里被记述的品种名称是现在的品种。把这个品种的名称变更成其他的已经在设备里登

13、录过的品种名称。比如说，现在设备中已经登录的品种有一个叫做“ABC”的，那么就把品种名称变成“ABC”。名称变更好之后，保存文件并关闭文件的窗口。24在上一个步骤3中，进行现在品种变更过的“current.item”文件，点击选择。252627左侧的窗口中保存有文件TEST_MECHA.MCDTEST_MOTOR.mod然后，在左侧的窗口中寻找，在步骤3中变更过名称的文件，这个名 称的文件一共有4个，这些文件不同的是后缀，把这些文件按照和第4步相同的方法进行操作。在这里，我们假设文件的名称叫做“ABC”，那么这4个文件就是下面这样的。 ABC.dat ABC.frd ABC.und ABC.wfd在下图红色圈起来的地方输入下列文字之后回车。C：AppDBREC_PROB1DBRStats28左侧窗口有一个文件名字叫MashineStore.csv_右击这个文件，选择 notepad把在这里被表示的文字列改写成现在品种名称。假设名称是“ABC”，那么就改写成“ABC”。29关闭所有窗口。按照下面的顺序操作关电