厂务系统概述简单中文介绍

1、厂务系统厂务系统概述概述一、一、厂务系统功能厂务系统功能目录目录三、三、厂务系统厂务系统流程流程二、二、厂务系统厂务系统使用材质使用材质一、一、厂务系统功能厂务系统功能1.1 1.1 水系统在制程中的功能水系统在制程中的功能PCWPCW制程冷却水制程冷却水制程机台冷却制程机台冷却UPW/DIWUPW/DIW超纯水超纯水补水补水/ /清洗清洗/ /稀释稀释Chill WaterChill Water冰水冰水冷却用冷源冷却用冷源/ /空调用冰水空调用冰水RWRW回收水回收水DIDI回收回收/ /冷凝回收冷凝回收/ /再生使用再生使用CWCW自来水自来水原水原水/ /一般用水一般用水1.2 1.2

2、气体系统在制程中的功能气体系统在制程中的功能CDACDA压缩干燥空压缩干燥空气气搬运器搬运器/ /仪器之气压缸仪器之气压缸/ /一般冲吹一般冲吹GN2GN2一般氮气一般氮气Purge/Purge/洁净冲吹洁净冲吹PN2PN2纯化氮气纯化氮气Purge/Purge/空间填充空间填充/ /超洁净冲吹超洁净冲吹其他其他B-GASB-GAS大宗气体大宗气体制程需求制程需求/ /空间填充空间填充/ /超洁净冲吹超洁净冲吹S-GASS-GAS特殊气体特殊气体制程填充需求制程填充需求/ /制程需求制程需求1.3 1.3 化学系统在制程中的功能化学系统在制程中的功能ChemicalChemical化学药品化学

3、药品清洁清洗清洁清洗/ /制程需求制程需求1.4 1.4 真空系统在制程中的功能真空系统在制程中的功能PVPV制程真空制程真空吸引吸引搬搬移移HVHV清洁真空清洁真空尘屑吸引清洁尘屑吸引清洁 Pump LinePump Line制程高真空制程高真空 制程转换之高真空建立制程转换之高真空建立ExhaustExhaust排气系统排气系统 制程转换之废气排除制程转换之废气排除DrainDrain排水系统排水系统 制程使用之废制程使用之废DI/ChemicalDI/Chemical排放排放1.5 1.5 排气排气/ /排水系统在制程中的功能排水系统在制程中的功能二、二、厂务系统使用材质厂务系统使用材质

4、2.1 2.1 水系统使用材质水系统使用材质PCWPCW制程冷却水制程冷却水SUS 304/SUS 304/高压软管高压软管UPW/DIWUPW/DIW超纯水超纯水CPVC/PVDF/PFA CPVC/PVDF/PFA Chill WaterChill Water冰水冰水SUS 304SUS 304RWRW回收水回收水SUS 304SUS 304CWCW自来水自来水SUS 304SUS 304CDACDA压缩干燥空压缩干燥空气气SUS 304L AP/BA/316L BASUS 304L AP/BA/316L BAGN2GN2一般氮气一般氮气SUS 316L BA/EPSUS 316L BA/

5、EPPN2PN2纯化氮气纯化氮气SUS 316L EPSUS 316L EP其他其他B-GASB-GAS大宗气体大宗气体SUS 316L EP/PH2SUS 316L EP/PH2有时用双套管有时用双套管(EP/AP)(EP/AP)S-GASS-GAS特殊气体特殊气体SUS 316L EP/SUS 316L EP/双套管双套管/ /加热套加热套2.2 2.2 气体系统使用材质气体系统使用材质2.3 2.3 化学系统使用材质化学系统使用材质有机类有机类化学药品化学药品溶剂类溶剂类SUS 316 BASUS 316 BA一般酸一般酸碱碱化学药品化学药品H2SO4/NaOHPVC/CPVCH2SO4

6、/NaOHPVC/CPVC其他其他化学药品化学药品CPVC/PFA/PVDF/PTFECPVC/PFA/PVDF/PTFE2.4 2.4 真空系统使用材质真空系统使用材质PVPV制程真空制程真空PVC SCH80/SUS 304PVC SCH80/SUS 304HVHV清洁真空清洁真空PVC SCH80/SUS 304PVC SCH80/SUS 3042.5 2.5 排气系统使用材质排气系统使用材质Pump LinePump Line制程高真空制程高真空SUS 316 BA/EPSUS 316 BA/EPGEXGEX一般排气一般排气镀锌螺旋风管镀锌螺旋风管SolventSolvent有机排气有

7、机排气SUS 304SUS 304全焊式不锈钢风管全焊式不锈钢风管Acid/AkAcid/Ak酸硷排气酸硷排气不锈钢不锈钢Teflon CoatingTeflon Coating风管风管2.6 2.6 排水系统使用材质排水系统使用材质DrainDrain一般排水一般排水PVC/PVC SCH80PVC/PVC SCH80SolventSolvent有机排气水有机排气水SUS 304SUS 304不锈钢管不锈钢管Acid/AkAcid/Ak酸硷排气水酸硷排气水PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFAPVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA三、三、厂务系统流程厂务系统流程3.1 3.1

8、 制程冷却水系统简略流程制程冷却水系统简略流程原水补水原水补水膨胀水箱膨胀水箱冰水出冰水出冰水进冰水进板板 热热制程管线制程管线机台冷却机台冷却进水进水回水回水3.2 3.2 冰水系统简略流程冰水系统简略流程冷却水塔冷却水塔MAUMAU冰水冰水出出冰水冰水回回大大 气气冰水主机冰水主机冷媒循环冷媒循环VAUVAUAHUAHU其他空调箱其他空调箱板板 热热冷却冷却水水3.3 3.3 纯水系统简略流程纯水系统简略流程精密滤器精密滤器5M 5M 滤心滤心逆渗透模块逆渗透模块City WaterCity Water自来水自来水多层过滤器多层过滤器阴阴/ /阳离子阳离子交换树脂塔交换树脂塔RO Tank

9、RO TankRORO进水槽进水槽热交换器热交换器RO RO 储水槽储水槽精密滤器精密滤器1M 1M 滤心滤心CEDICEDI纯水储水槽纯水储水槽紫外线杀紫外线杀菌灯菌灯核子级树脂核子级树脂精密滤器精密滤器1M 1M 滤心滤心精密滤器精密滤器0.2M 0.2M 滤心滤心制程使用点制程使用点3.4 3.4 自来水自来水/ /回收水系统简略流程回收水系统简略流程自来水外管自来水外管水表水表/ /隔离隔离阀阀供应管线供应管线使用点使用点自来水自来水空气中水份空气中水份冷盘冷盘/ /空调空调箱箱回收管线回收管线回收水槽回收水槽回收水回收水使用点使用点3.5 CDA/GN2/PN23.5 CDA/GN2

10、/PN2系统简略流程系统简略流程CDACDAGN2/PN2GN2/PN2大气大气空压机空压机蓄压槽蓄压槽初级初级过滤器过滤器冷冻式冷冻式干燥机干燥机吸附式吸附式干燥机干燥机精密精密过滤器过滤器大气大气氮气氮气产生器产生器液氮槽液氮槽蒸发器蒸发器减压站减压站过滤器过滤器纯化器纯化器使用点使用点一一/ /二次管二次管二次盘二次盘CQCCQC使用点使用点一一/ /二次管二次管二次盘二次盘CQCCQC3.6 3.6 其他大宗气体其他大宗气体/ /特气系统简略流程特气系统简略流程O2O2Specialty GasSpecialty Gas钢瓶钢瓶CabinetCabinet气瓶柜气瓶柜VMB/PVMB/

11、P阀箱阀箱管线管线使用点使用点液氧储槽液氧储槽减压站减压站过滤器过滤器纯化器纯化器CQCCQCHe/Ar/Kr/H2He/Ar/Kr/H2钢瓶钢瓶/Bundle/BundleTrunkerTrunker减压站减压站过滤器过滤器一一/ /二次管二次管二次盘二次盘使用点使用点蒸发器蒸发器使用点使用点一一/ /二次管二次管二次盘二次盘纯化器纯化器CQCCQC管线管线3.7 3.7 高真空高真空/ /排气系统简略流程排气系统简略流程Pumping LinePumping LineOthers ExhaustOthers Exhaust机台制程机台制程ChamberChamber真空泵真空泵高真空高真空

12、管路管路ScrubberScrubberGEXGEX机台出口机台出口DamperDamper风管风管风机风机高真空高真空管路管路大气大气ExhaustExhaust风管风管机台出口机台出口DamperDamper风管风管风机风机ScrubberScrubber大气大气3.8 3.8 真空系统简略流程真空系统简略流程PVPV制程机台制程机台使用点使用点真空管路真空管路真空储槽真空储槽真空真空PumpPumpHVHV一一/ /二次管二次管二次盘二次盘配置需求配置需求使用点使用点真空管路真空管路真空真空清洁储槽清洁储槽真空真空PumpPump开关盒开关盒3.9 3.9 化学系统简略流程化学系统简略流程ChemicalChemical化学品化学品供应槽车供应槽车传送系统传送系统供应槽供应槽分配系统分配系统化学品化学品储槽储槽VMB/PVMB/P化学管路化学管路使用点使用点回收管线回收管线废液废液回收槽回收槽3.10 3.10 废水收集系统简略流程废水收集系统简略流程Drain PipeDrain Pipe机台机台排放点排放点废水废水