LED厂房的消防设计

1、XXXX技入住XXX技术开发区的LED芯片生产项目中，LED外延片生产 使用MOCV设备。该设备用NH3 H2、N2气体作为原材料。MOCV设备是用来生长半导体材料的重要设备，气体通道都使用高质量的不锈钢材料制成，管道全部采用焊接或VCF方式连接，以确保管道和腔体具有相当 良好的气密性，气体泄漏的可能性极小；同时，MOCVD现场安装时实施严格的气密性检查，确保设备系统的气密性能。不仅如此，MOCV设备本身还设有氢气、 氨气、氧气等检测装置，在设备运行的过程中，一旦检测到氢气、氨气泄漏，管 道阀门自动关闭，并自动停止 MOCV设备工作。此外，本公司使用的MOCV设备的反应腔也采用了特殊的结构，

2、反应工作室 的外形尺寸650mn长x 450mm宽x 450mm高，但其使用氢气的部腔体的宽度仅为 150mm高度不足20mm 部腔体中的气体处于常压工作状态，使 MOCV设备中 的气体处于最小量， 同时部腔体外与反应工作室壁之间充有氮气保护， 进一步提 高了设备的安全性。由于在设备的构造方面采取了钢性防泄漏措施； 并采用了高灵敏度的气体检 测装置，万一发生泄漏立即自动关闭管道的阀门； 同时生产过程中设备系统中的 氢气量少， 万一发生泄漏使其难以达到爆炸的必要条件、 极力避免爆炸及火灾的 危险。3、MOCV设备动力需求，环境要求；日本公司环境要求：温度：22±2 C相对湿度： 50&

3、#177;10%动力需求设备名称单台设备用电单台 设备 排风氢气普氮纯氮NH3冷却循环水3 200V(KW)一般 排风m/h压力Mpa最大量3 (m /h)平均量3 (m /h)压力Mpa最大量3 (m /h)平均量3 (m /h)压力Mpa最大量3 (m /h)平均量3 (m /h)压 力Mpa最大量3 (m /h)平均量3 (m /h)入口 温 度c压力Mpa量mi/h完成型 1 X 3''MOCVD设备1010000.32.10.960.41.21.20.42.71.440.31.20.6224.5开发用 10 X 3“MOCVD设备20010000.318.38.520

4、.41.81.80.438.4180.37.23.6224.5纯度 99.9999997%纯度99.99%纯度 99.9999997%MOCVD K465 GAK' SYSlbM CABlNEF4FJ 4m K- * U m :口* £« ； ll-X- T® 5 r UM&IKIlH-ELMl L»M * BFlL'-H -ii CUP M：HU -*«IMMK-Trw i- - meluc wnwEap./E!A*- ra> MSh-gIU M4、MOCV设备布局要求（设备布置类型，特别是特气和设备的距离要求等

5、,工艺辅助间、特气间、纯化间、废气处理间等）；Veeco K465操作面前需要空间1828 mm 操作面背面需要空间920 mm设备本身1500mm宽。因此：MOCV设备间距3300mm5、MOCV设备对工程的设计要求（设备厂家提供的技术规格书等）；Veeco K465i<u: i - ?wV inin muwwi Wliu, >H.T5刊內鬥霍护rw- *w¥1l>D&*U-A«J IW- jV-W< 3. WV-k iZ- n HKz>u nonnihpib (u>rh jjrr w u a f vaaLi41 «H

6、D DUM： iUHS 弊W Ert T . .«« ：<JW：l« l：UW：J/r HDntai斗 E >«ju!D>w-tjV Mn-adr >oq*MFK L W=：IXF1E |.iUWJ/T WK-b mp I#JtIJLMijrM»Mm e xr v-書I" l"iiriirE .汨%Mi-;6 MOCV设备有害气体泄露计算（设备的透视图纸等）7、MOCV设备适用的规条款，对规条款的理解（1）关于MOCV工艺间是否采取防爆泄爆措施的规电子工业洁净厂房设计规GB50472-2008附录B

7、“半导体器件、集成电 路工厂的外延间、化学气相沉积间、清洗间、液晶显示器件工厂的 CVD间，房间 在设备密闭性良好，并设有气体或可燃蒸汽报警装置和灭火装置时， 应按丙类设 防。华延芯光（）科技入住经济技术开发区的3英寸外延片和大功率LED芯片 生产项目建设地点在亦庄开发区，消防部门认可这条规容，设计中MOCV工艺 间靠外墙设置，在采取了上述安全措施的情况下， 不做建筑泄爆。该项目不涉及 MOCV辅助间，气瓶柜放在特期间，氨气纯化装置放在氨气储存间，氢气纯化装 置放在氢气纯化间。（2）关于MOCV工艺间吊顶上是否需要设置可燃气体探测装置联锁事故排 风的相关规容a.爆炸和火灾危险环境电力装置设计规

8、 条“三、 防止爆炸性气体混合物的形成，或缩短爆炸性气体混合物滞留时间，宜采取下列 措施：4.对区域易形成和积聚爆炸性气体混合物的地点设置自动测量仪器装置。”建筑设计防火规“下列场所应设置火灾自动报警 系统：11净高大于2.6m且可燃物较多的技术夹层，净高大于0.8m且有可燃物的闷顶或吊顶。”电子工业洁净厂房设计规“洁净厂房火灾探测 器的设置应符合下列规定:1 洁净生产区、技术夹层、机房、站房等均应设置火灾探测器，其中洁净生产区、技术夹层应设置智能型探测器； ”火灾自动报警系统设计规 GB50116-2008“火灾探测器的选择， 应符合下列要求： 5 对使用、 生产或聚集可燃 气体或可燃液体蒸气的场所，应选择可燃气体探测器。 ”8、MOCV车间消防设计探讨（工