ESD防静电管理规范

1、市杰瑞佳科技防静电管理规目录：1 . »2 .适用围3 .引用标准4 . 名词术语5 .防静电工作区系统6 .人体防静电系统7 .皿8 .包9 .采购10 .记录11 .附录1. E的为防止静电敏感元器件在生产、运输、储存、检测等过程中受到静电释放的影响，从而产生短路、电阻漂移、开路、低不良工作性能退化等不良现象。特建立电子产品制造静电防护技术要求 k节省产品工时本钱，降低维修费用。,以保证产品品质，增加可靠性，减基于电子产品制造静电防护技术要求文件的颁布，提高员工对ESD的认识，加强员工自觉防止 ESD现象之观念,促进生产管理水平之提高。2.适用围本文适用于所有车间中生产制程与电子

2、元器件的采购、运输、储存、检测过程中的静电防护。3.GGGGS用标准J/T 10694-1996 «电子产品制造防静电系统测试方法B/T 15463-1995静电安全名词术语3007 - 97防静电工作区技术要求1649 - 93电子产品防静电放电控制大纲B 12014 - 89防静电工作服J/T 10533-94«电子设备制造防静电技术要求SJ/T 10630-1995ANSI / ESD STM3.1-2000ANSI / ESD S20.20-1999«电子元器件制造防静电技术要求静电放电敏感产品防护用标准：离子发生器建立一个静电放电控制方案一保护电气和电子

3、零件，装置和设备4.名词术语2静电： 一种处于相对稳定状态的电荷。它所引起的磁场效应可以忽略不计静电可由物质的接触与别离、静电感应、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生。ESD Electronic Static Discharge ,原意是指静电释放，即通过带静电区域直接接触或感应而引起的静 电电荷在不同电势物体上的转移。后常指静电防护，即防止静电释放的发生。静电感应：当带电物体靠近某一介质时，在该介质外表因感应而带电荷，并形成感应电场。ESDS Electronic Static Discharge Sensi

4、tive,静电放电敏感的，通常用来指静电敏感元器件。防静电工作区：由各种防静电设施、器件与明确的区域界限形成的工作场地。静电敏感度：Electrostatic Sensitivity ,元器件所能承受的静电放电电压值。外表电阻/点对点电阻：在与材料的同一侧面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流过的电流 的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。体积电阻/对地电阻/系统电阻：在与材料的相对两面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流过的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。摩擦起电：当使两种材料接触或相互摩擦后别离时，产生静电荷。摩擦电压：物体被摩擦后，外表所带静电荷的电压。ES

5、D损伤：由静电放电引起的电子元器件性能退化或功能失效。消电时间Decay Time： 一个静电压从其初始值降低到一个给定值通常是初始值的10%所需要的时间。注：国际惯例对于小于 1E6欧姆的电阻使用10V电压测量，大于或等于 1E6欧姆的电阻使用100V电压测量，防静 电工作区系统5.1斡静电工作区的划分:5.1.1 根据G 1649规定的静电放电电压敏感的静电放电敏感元器件组件和设备的分级.静电放电敏感产品按敏感度电压被分级为：静电敏感度级别静电敏感电压人体模型一HBMI级01999VII级20003999VIII级400015999V根据该项标准的规定，所要求的 ESD!制大纲一般只包含对

6、I和II级敏感产品的防护。现按照元器件静电敏感度和生产线实际情况如下:.1 LED芯片的静电敏感度相对较高，生产环境相对枯燥，但凡直接操作的半成品、成品生产线均定为I级;.2仅仅是器件的存储和运输，也不需要严格的防静电措施，理由是产品在这个时候没有被加工。把这些区域或车 间定为II级；.3按照上述理由，现规定敏感级别为：级别区域I级固焊车间、灌胶车间、模压车间、外观、分光、包装等II级成品包装区域、货仓区域，生产仓，收料仓等1.1.2 公司部由黄、黑双色斑马线围起的区域或门口挂有静电标示牌的车间为防静电工作区。1.1.3 元器件敏感度分级由 QC1 ESD：程师按后附录1ESD航器件分类酌情分

7、级，并确定。5.2 防静电工作区根本环境要求5.2.1 防静电工作区应保持洁净，防止有灰尘堆积或漂浮的状态发生5.2.2 车间温湿度的控制结合车间的实际情况定为：区域温度湿度万级洁净室21 2 C%10万级洁净室21 2 C%普通车间23 3 C%5.2.3 在不对产品造成有害影响的前提下，允许使用增湿设备喷洒制剂或水，以增加环境湿度。5.2.4 防静电工作区应清楚标明区域界限以与警示标志，见附录14。5.2.5 要求使用防静电地板或在普通地面上铺设防静电地垫，并保证有效接地。禁止直接使用木制地板或铺设毛、麻、化纤地毯与普通地板革。5.2.6 天花板与墙壁建议使用防静电材料制品，一般情况下允许

8、使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用普通塑料制品。5.3 防静电工作区接地系统5.3.1 应有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于10欧姆，为保证人员安全，在与人员直接接触的地方应加装1兆欧姆限流电阻。接地线的要求如下:接地线接地电阻要求接地总线不小于100mm的铜制导线小于10欧姆ESD线不得直接接在电源零线上。ES四不得与防雷地线共用。 使用三相五线制供电， 其线 可以作为ESD地线，但需保证电源地线与零线 不能搭接。接地支干线不小于6 mm2的铜制导线小于10欧姆设备和工作 台的接地线不小于2的多股或单股的铜 制绝缘套导线ESDfe线应用绿色绝缘套标识。台垫等物品的接地配件按照来料的颜色使

9、用。5.3.2 厂房接地总线的接地电阻小于10欧姆，由行政部负责定期检查，周期为一个月一次。并填写厂房接地电阻测试记录表。5.3.3 车间部的设备和工作台的接地线的接地状况由PE负责定期检查，周期为 3个月一次。并填写T作台地线接地电阻测试记录表。5.3.4 测试台的防静电设备，工器具的接地由TE负责定期检查，周期为 3个月一次。并填写工作台地线接地电阻测试记录表。5.4 防静电区域设备与辅料要求I级区域II级区域防静电安全工作台防静电安全工作台防静电容器、运输工具料盒、料箱、运输车防静电容器、运输工具料盒、料箱、运输车防静电腕带防静电腕带防静电工衣帽防静电工衣帽防静电工鞋防静电工鞋防静电测试

10、架离子风机离子棒 /离子风枪视工序而定防静电烙铁如需使用烙铁5.5 防静电工作区的 ESD技术要求5.5.1 防静电地板 用防静电PVC地板专用清洁剂或中性清洁用品定期进展清洁，严禁使用强酸、强碱或能溶解PVC材料的化学溶剂进展清洗，如果属于更严重的污渍，可以使用异丙烯基乙醇清洁。 严禁带有尖刺、粗糙的重物在地板外表擦划、拖拉。 不能将硫化物、丙酮、7W精等物品撒落在ESD地板上，如发生以上情况，应立即清洁。 使用防静电地板蜡水进展定期涂敷、养护，一般 6个月一次。 地板蜡的电阻小于 1E9欧姆。 地板安装时应

11、满足的 ESD技术指标包括：外表电阻彳1和系统电阻值均在1E41E9欧姆围以。 生产部应与时向行政部要求对防静电地板进展打蜡维护，行政部做好地板打蜡后应与时通知QC1部ESDZ程师。 对于K4洁净室的地板，经IE评估且经过ESD工程师的认可，可以不做地板打蜡。 QC1部ESD工程师应在行政部对防静电地板打蜡后做一次防静电地板外表电阻、系统电阻测试，测试方法见附录2,并填写防静电地板电阻测试记录表。5.5.2 防静电安全工作台含测试台 各区域的防静电安全工作台由负责该区域的PE或TE确定围。例如：回流焊后的检查台、QC1检查台、修理台和测试

12、台等。 防静电安全工作台根本要求和禁止项目要求禁止工作台外表铺设防静电台垫，同时台垫必须接地。特殊情况可以没有台垫，但需经ESD工程师认可。工作台上放置普通塑料盒片、橡皮、玻璃、普 通泡沫等容易产生静电的杂物 .配备腕带接头、ESDfe线、离子风机可选、防静 电工具可选和防静电测试架距离ESDS兀器件30厘米以有摩擦电压高于 200V 的物件 在防静电区使用不符合防静电要求白物料且必须时，必须得到 QC1 ESDT程师的评估和认可。 防静电台台面应满足 ESD技术指标。外表电阻值和系统电阻值均在1E41E9欧姆围以。 防静电台椅子应满足

13、ESD技术指标。外表电阻值和系统电阻值均小于1E9欧姆围。 防静电胶帘的外表电阻应在 1E41E11欧姆。 PE应每6个月做一次相应的工作区域的防静电台垫和防静电工椅电阻测试，防静电台垫测试方法见附录3,填写防静电台垫电阻测试记录表。防静电工椅测试方法见附录8,填写防静电工椅测试记录表,如果有不合格的，须与时更换。5.5.3 防静电辅料/工具 防静电溶剂瓶：系统电阻在1E41E11欧姆围。 防静电烙铁/焊接工具：从热的端头到地的电阻应小于10欧姆。 防静电文件袋（夹）：外表电阻在1E41E11欧姆围。 PE应每

14、6个月做一次防静电辅料电阻测试，测试方法见附录7,填写防静电辅料电阻测试记录表 。5.5.4 防静电包装与容器 防静电容器包括一一ESDSM料包装袋盒/盘、装板的料盒、等一切包装、储存ESDS勺容器。 允许使用局部抗静电涂料对容器外表进展处理，但使用效果必须由相关PE定期检查。5.54.3防静电容器应满足 ESD技术指标：外表电阻（包括外外表）在1E41E11欧姆围，系统电阻在 1E41E10欧姆围。如果产品或产品的金属局部不直接与防静电容器接触，如此允许防静电容器的电阻小于1E4欧姆。PE应每6个月做一次防静电容器包括吸塑、托盘、料箱等外表电阻和体积电阻测试，测试

15、方法见附录4。填写防静电周转容器电阻测试记录表,测试结果由PE保存半年，并在符合标准的容器上做标记。QC2应按SEF对来料的包装袋和容器进展测试，并填写防静电包装袋容器电阻测试记录表。5.5.5防静电运输工具与存放架等 防静电运输工具包括一ESD运输车、ESD小推车等 为保护ESDS不受到外部强静电场的影响，运送ESDS的防静电运输工具应由高导电性材料建议使用不锈钢制作，车子经常固定时要求硬接地。其对地电阻应小于10欧姆。 当运输车由不锈钢组成时，且经常移动时，其对地电阻应小于1E9欧姆。 存放架的外表电阻和对地电阻应小于1E9欧姆。1.

16、1.1.5 防静电运输工具应满足 ESD技术指标：外表电阻和对地电阻小于1E9欧姆。PE应每6个月做一次防静电运输车、ESD小推车之台面对轮脚系统电阻测试，测试方法见附录5。填写防静电运输工具/存放架电阻测试记录表,测试结果由PE保存半年，并在符合标准的运输工具上做标记。5.5.6 除静电离子风机/离子棒 当防静电区域不可防止的需要使用会产生高静电的材料时，且该材料要求被放置在离ESDS 30厘米时，必须使用离子风机或离子棒。 对于不能接地又直接接触ESDSt件的物体，必须保证其保持在零电位状态，必要时，可以使用离子风机消除在这个过程中产生的静电。 离

17、子风机在使用的过程中会产生较大功率的RF信号，因此进展通信产品测试的车间不适用离子风机。如果要用，如此需要通过 QC1 ESD工程师的评估。 悬挂式离子风机应悬挂在离工作台面60厘米的高度，特殊工位可例外，但须经ESD工程师认可离子风机的出风口不能有异物阻挡。离子风机的平衡电压保持在50V以，消电时间从1000V中和到100V应小于10秒高风速。 台式离子风机应放置在工作台上且离工作区域3045厘米左右，以保证有足够的覆盖围和快速的静电消除。离子风机的出风口不能有异物阻挡。离子风机的平衡电压保持在50V以，消电时间从1000V中和到100V应小于3秒高风速。5.5.

18、6.6 离子棒应悬挂在适宜的工作高度以保证除静电效果，离子棒的平衡电压应保持在50V以，消电时间从1000V中和到100V应小于60秒。 QC1ESD工程师应每6个月做一次离子风机平衡电压和消电时间测试，填写除静电离子发生器测试记录表,对不符合要求的离子风机，应与时处理。5.5.7 其它防静电物料与相关要求 不在上面列出来的物料如此按一般防静电要求，外表电阻在1E41E11欧姆，系统电阻在 1E41E11欧姆。 特殊情况下，如果找不到适宜的供给商，又经过ESM员的评估，确认不会对产品构成ESD隐患的情况下，可以引入外表电阻或体积电阻小于1E11欧姆的物

19、料。6 人体防静电系统6.1 防静电腕带6.1.1 直接接触ESDS勺任何人员都应按规定佩带防静电腕带俗称静电带，禁止使用无线防静电腕带。6.1.2 防静电腕带的接触线应置一个1兆欧姆电阻，以保证人体安全以与快速泻放静电，防静电腕带的腕带应是导电性的，外表电阻应小于1E3欧姆。同时应保证防静电腕带与人体皮肤有良好的接触，系统电阻应小于35兆欧姆，且使用鳄鱼夹或插头座可靠的连接在ESD线上。6.1.3 应每天一次测量防静电腕带的系统电阻，由拉长填写静电带椅杳记录表,检查不合格时应交由修理检修，不能修复时，应与时更换。6.2 防静电鞋/防静电鞋套6.2.1 7欧姆围。应每天一次测量防静电鞋/鞋套的

20、系统电阻，由拉长填写防静电鞋/鞋套检杳记录表,检查不合格时应与时更换。6.3 防静电工作服6.3.1 防静电工作服包括一一防静电连体衣、防静电大褂、防静电工鞋鞋套和工帽，防静电工作服要求使用导电网格防静电绸制作，制造要求应符合GB 12014之规定，其各局部之间应存在电气连续性。工作服的设计应能保持在穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触。6.3.2 进入防静电区域时，防静电工作服、工鞋和工帽要求穿着整齐，全部纽扣拉链要系好拉完全，头发必须包在工帽，不能有外露。6.3.3 不同使用人员之防静电工作服按颜色区分:人员普通工作区域与 10万级洁 净室万级洁净室生产部作业员工白色的防静电服帽黄色防静电

21、连体服帽品质部员工粉红色的防静电服帽粉红色防静电连体服帽工程人员蓝色的防静电服帽蓝色防静电连体服帽生产管理人员白色的防静电服帽白色防静电连体服帽外来人员白色的防静电服帽白色防静电连体服帽6.3.4 购置防静电工衣时应满足ESW术指标：外表电阻值1E5欧姆1E10欧姆。6.3.5 生产部应每半年做一次防静电工衣外表电阻测试，测试方法见附录 6,并填写防静电工衣外表电阻测试记录表,对于不符合指标要求的防静电工衣，予以更换。6.4 防静电手套/指套6.4.1 由消散性材料制成，人体穿戴对地电阻在1E51E11欧姆围，摩擦电压小于50V。6.5 人体综合接地测试系统要求手腕带-人体工鞋-人体指示灯电阻

22、下限1E5欧姆:电阻上限电阻在围以绿灯电阻不在围以红灯6.5.1 每个进入防静电区域的人员须进展人体综合接地效果测试，如果亮红灯，如此明确测试失败，应更换工鞋/鞋套或手腕带重新进展测试并通知相关人员。6.6 人员防静电一般要求6.6.1 要求进入防静电区的人员尽量穿着棉质衣物，尽量防止穿着尼龙等合成纤维制品，以免产生强电场导致静电感应放电现象。6.6.2 在防静电工作区不得大声喧哗，坐立姿势端正，防止不必要的走动，以与不必要的大幅度身体运动，如弯 腰、晃动手臂等，在防静电工作区如有必要走动，应缓步行走，禁止奔跑。6.6.3 接触静电敏感器件与组件之前应戴好防静电腕带，防静电腕带再接入防静电地线

23、系统，要保证腕带与皮肤 接触良好，在戴腕带处皮肤上不得涂护肤油、防冻油等绝缘物质。6.6.4 手持静电敏感器件与组件时应防止接触其导电金属管脚局部，操作过程中应尽量减少对静电敏感器件 与组件的接触次数。按需要逐一取用，不得一次倒出一堆散乱地放在工作台面上，确需暂时叠放时必须用 防静电材料隔离开。6.6.5 外来人员参观，必须有本公司人员全程陪同，按参观路线行进，不得随意走动，不得进入机器外围的斑马 线地标，更不得随意触摸产品。7 职责7.1 生产经理、课长、组长等管理人员，职责包括：7.1.1 负责做好物料、作业员、与其他进出防静电工作区人员与物品的出入管理，确保其按ESD求正确着装，7.1.

24、2 确保作业员与在防静电工作区的人员正确使用ESD设备，包括防静电工衣、防静电工帽、防静电工鞋、防静电腕带、防静电台垫、离子风机、ESD料盒和ESDfe板等；7.1.3 确保无关人员不接触产品，不对产品产生静电释放；7.1.4 对怀疑是静电损伤的产品，需要保存样品并报告给相应的部门作失效分析；7.1.5 定期检查防静电工衣、工鞋、腕带的 ESD品质，如有品质异常，与时向采购部提出采购申请更换；7.1.6 每天检查ES皿备、台垫等的接地状况目视，确保接地线正确的连接到ESD总线上；7.1.7 每六个月要求服务组对防静电地板进展打蜡。7.2 ESD工程师/技术员，职责包括：7.2.1 统筹全厂的E

25、SD控制，定期对生产线的静电防护水平做出评估，并给出改善意见，提高其静电防护水平；7.2.2 负责寻找新的防静电用品的供给商，评估新购的防静电用品的性能；7.2.3 协助人力资源部进展 ESD培训；7.2.4 监视各个部门的 ESDI理情况，与时反映 ESD状况；7.2.5 对生产线的静电损伤样品作失效分析，解决工序中的ESD情况；7.2.6 定期检查除静电离子发生器的性能，确保其正常工作；7.2.7 负责对打蜡后的地板进展测量。7.2.8 责成行政部保证车间的相对空气湿度在各车间规定的围；7.2.9 定期检查ESD总线的接地状况，确保其状况良好；7.2.10 定期使用专用的防静电地板蜡水对防

26、静电地板打蜡，打完蜡后进展电阻测试。7.3 人力资源部，职责包括：7.3.1 负责对新进厂的员工进展初步的防静电知识培训；7.3.2 定期对员工进展防静电知识培训，并进展培训的再审核。7.4 开发部，职责包括：7.4.1 开发部在设计新产品时应考虑到器件的静电敏感度，尽量选用具有最大静电抗扰度的元件；7.4.2 在新产品设计阶段应尽量引入防静电网络到电路设计中去，以保护产品里面的静电敏感元件；7.4.3 要求供给商提供元器件静电敏感度的级别。包括人体模型（HBM）、机器模型（MM）和带电器件模型（CDM）（应列明何种标准）；7.4.4 做好SEF包括防静电指标，part number等给QC部

27、，供QC部抽测来料。7.5 品质部，职责包括：7.5.1 确定ESDSt感级别，对成品进展静电放电模拟测试，确认静电敏感度；7.5.2 根据SEF负责抽测、监控静电敏感器件来料和静电敏感器件产品的品质，如发现异常，应与时反应信息给 ESD工程师或相应的部门。7.6 设备工程师/技术员，职责包括：7.6.1 定期检查防静电设备，确保其可以正常使用，包括防静电台垫、地垫、防静电容器、运输工具和其它辅助工具的外表电阻和系统电阻测试等；7.6.2 定期检查台垫和机器的接地状况，确保接地良好。7.7 货仓职责包括：7.7.1 负责货仓防静电措施的维护和管理。7.7.2 定期通知ESD工程师进展检测使用中

28、的防静电用具。8 培训8.1 对所有可能接触或接近 ESDS勺人员，必须进展相关的 ESD知识培训，并加以教育与训练，使之树立有效的ESD 防护观念。培训的有效期为一年。人力资源部应填写员工防静电知识培训考核记录表。8.2 防静电培训的容包括：8.2.1 静电学根底和静电损害8.2.2 静电性能测试8.2.3 防静电的标示与包装8.2.4 防静电控制8.2.5 防静电设备的使用和检测相关人员9 采购9.1 所有防静电用品的采购均须要按照附录16防静电制品采购流程图执行10记录序号记录名称责任部门测量周期保存期限1防静电地板电阻测试记录表设备部r 6个月抽测6个月2防静电台垫电阻测试记录表品质部

29、6个月抽测6个月3静电带检查记录表生产部r每天1个月4防静电包装袋 容器电阻测试记录表品质部r每一批抽测6个月5防静电周转容器电阻测试纪录表品质部6个月抽测6个月6除静电离子发生器测试记录表品质部r 6个月抽测6个月7防静电手套 指套电阻测试记录表品质部r每一批抽测6个月8防静电运输工具存放架电阻测试记录表品质部6个月抽测6个月9防静电工衣外表电阻测试记录表生产部6个月抽测6个月10员工防静电知识培训考核纪录表人力资源部一年一年11防静电辅料电阻测试记录表品质部6个月抽测6个月12防静电鞋鞋套测试记录表生产部 1每天 6个月13厂房接地电阻测试纪录表设备部1个月抽测一年14工作台地线接地电阻测

30、试纪录表品质部3个月抽测1个月15防静电椅子电阻测试记录表品质部6个月抽测6个月11附录a附录1:ESD新器件分类及：0V 1999V序号兀器件类另“条件与说明1微波器件包括肖特基二极管，点接触二极管，频率大于1GHZ勺二极管2分立MO物效应管包括VWOS VDMOS等3外表声波SAW器件4结型场效应管5电荷耦合器件6精细稳压二极管7运算放大器包括双极型工艺与 MOSCZ8超高速集成电路包括ECL HCMOSFAS得工艺9其他集成电路包括 CMOS PMOS NMOS TTL等10薄膜电阻器11混合电路使用I级静电敏感兀器件组装的混合电路12可控硅Ta=100C tow级：2000V 3999

31、V序号兀器件类另“条件与说明1分立MOS效应管包括 VMOS VDMOS2结型场效应晶体管3运算放大器包括双极工艺和MOS：艺4超高速集成电路5其他集成电路包括 CMOS PMOS NMOS TTL等6精细电阻网络包括ECL HCMOSFAS得工艺7混合电路使用II级静电敏感兀器件组装的混合电路8低功率双极工艺晶体管P<100mW, I C<100mA附录2:防静电地板外表电阻/系统电阻测试方法1,按如下图确定防静电地板测试点每一个方格均代表一块地板，测试用的电极一个放在中间的地板上，另外一个电极依次放在此地板相对角 的四块地板上面，测量其外表电阻值。2.随机抽样测试点不少于 20

32、个区域，按如下图所示，每点测量地板4点外表电阻值，并记录数据3.随机抽样测试点不少于兆欧表最近的ESD地线地板附录3:防静电台垫/地垫电阻测试方法1. 按如下图所示，每台垫/地垫测量2组外表电阻值，并记录数据兆欧表30cm2.按如下图所示，每台垫/地垫测量2组对地电阻值,兆欧表,电极台垫/地垫绝辑板 台垫/地里的接地电极附录4:防静电容器电阻测试方法1, 按如下图所示，测量容器外表电阻值，并记录数据兆欧表绝缘板2, 按如下图所示，测量容器体积电阻值，并记录数据附录5:防静电运输工具/存放架测试方法1, 按如下图所示，测量运转车 /存放架电阻值，并记录数据兆欧表附录6:防静电工衣外表电阻测试方法

33、1. 将防静电工衣平坦展开放置在光滑的绝缘电阻大于1E12欧姆的平板外表上2. 测试用两电极应顺着导电丝放置;袖对腰下部位测试袖对裤 其中连体服需要加测鞋套的对3.按上图所示，测量 3个测试点：同片测试裤腰以上一点对裤腰以下一点腰以下一点对于连体服，用袖对脚测试取代袖对腰测试；袖对袖测试。地电阻。附录7:普通防静电材料电阻测试方法1 . 对于新引入的物料要求随机抽样至少三个样品，每一个样品至少随机测量三次。材料的测试纪录应包括外 表电阻和体积电阻。2 .外表电阻的测试方法：将材料放置在一个光滑、平整、洁净，且外表绝缘电阻大于1E12欧姆的台面。在材料外表放置两个测试电极 （30cm是建议值，如

34、果材料小于这个尺寸， 如此电极放在两对角面上 ），如如下 图所示：3. 体积电阻的测试方法：将材料放置在一个光滑、平整、洁净，且外表电阻小于10欧姆的金属面上，一个电极放置在金属面上， 另外一个电极放置在被测物上。对于烙铁，只需要测量热的金属头到地之间的电阻。附录8:防静电工椅的测试方法1 .要求随机抽样至少 5个样品，每一个样品至少随机测量三次三个点。防静电工椅的测试纪录应包括外表电阻和体积电阻。2 .外表电阻的测试方法：在外表放置两个测试电极，如如下图所示：3.体积对地电阻的测试方法：一个电极放置在金属面上，另外一个电极放置在椅子上。注意，在生产线进展定期检测的时候，允许直接把一个电极放置

35、在防静电地板上，另外一个电极放置在椅子上。附录9:物体外表的静电压测量方法1.使用Simco FMX00绵电压表去测量物体外表的静电压，要注意以下几点：仪表的红外灯指示器要两个重合,才算对焦，此时仪表距离被测物大约。静电压表在使用的过程中需要接地。否如此读数不准确。静电压表 的读数的单位为 KM测试图例如下：被测物静电压表附录10:悬挂式/台式离子风机测试方法1 .测量悬挂式离子风机应使用标准的离子风机测试仪，在评估新引入的离子风机时候需要测量标准的12个点的平衡电压和消电时间。在平时的定期测量时，只需测量3个风扇口正下方的平衡电压和消电时间。标准的12个点以小网格表示如下所示：2 .对每一个

36、点均应测量不少于三次。对每一个测试点的平衡电压的测量时间不得少于1分钟。应纪录平衡电压的最大偏移零点最远值。消电时间应纪录最大值。悬技式尚户风机24 TilcIl演双仪先小板恻吠仪启电柢3.对新引入的悬挂式离子风机的要求列表:ANSI / ESD STM3.1-2000 / ANSI / ESD S20.20-1999TP 1 rT>4BTP 10各式离子风机只对平衡电压提出了要求，未强制规定消电时间，因此，下表的平衡电压是强制执行，消电时间只是建议值低风速高风速平衡电压（V）消电时间（S）平衡电压（V）消电时间（S）CenterTP5&TP80 +50 V<15 s0 +

37、50 V<10 sTP2&TP11<25.0 s<20.0 s30 cm LeftTP1&TP100 +50 V< 25.0 s0 + 50 V< 20.0 sTP4&TP7<20.0 s< 15.0 s30 cm RightTP3&TP120 +50 V< 25.0 s0 +50 V< 20.0 sTP6&TP9<20.0 s< 15.0 s4.测量台式离子风机应使用标准的离子风机测试仪测试，在评估新引入的离子风机时候需要测量标准的12个点的平衡电压和消电时间。在平时的定期测量时，只需测

38、量正对风扇口30厘米和60厘米两个点的平衡电压和消电时间。标准的 12个点以黑竖条表示如下所示：30cm 1 30cm >30 cm 130 cm告式离子风机讳伯阙试示意图5 .对每一个点均应测量不少于三次。对每一个测试点的平衡电压的测量时间不得少于1分钟。应纪录平衡电压的最大偏移零点最远值。消电时间应纪录最大值。6 .对新引入的台式离子风机的要求列表：ANSI / ESD STM3.1-2000 / ANSI / ESD S20.20-1999 只对平衡电压提出了要求，未强制规定消电时间，因此，下表的平衡电压是强制执行，消电时间只是建议值位置低风速高风速平衡电压（V）消电时间（S）平衡

39、电压（V）消电时间（S）center1ft(TP2)0 +50 V<5.0 s0 +50 V<3.0 s2ft(TP5)<8.0 s<6.0 s3ft(TP8)< 12.0 s< 10.0 s4ft(TP11)< 20.0 s< 15.0 s30 cmLeft1ft(TP1)0 +50 VNA0 +50 VNA2ft(TP4)<30.0 s<25.0 s3ft(TP7)< 15.0 s< 12.0 s4ft(TP10)<25.0 s<20.0 s30 cm Right1ft(TP3)0 +50 VNA0 + 50 VNA2ft(TP6)<30.0 s<25.0 s3ft(TP9)< 15.0 s< 12.0 s4ft(TP12)<25.0 s<20.0 s附录11手套/手指套的测量方法1 .穿戴对地电阻测试：操作员把测试仪的两个电极分别放在两块互