平行平板型光学元件面形的测量_第1页
平行平板型光学元件面形的测量_第2页
平行平板型光学元件面形的测量_第3页
平行平板型光学元件面形的测量_第4页
平行平板型光学元件面形的测量_第5页
已阅读5页，还剩14页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、平行平板型光学元件面形的测量平行平板型光学元件面形的测量 目目 录录l研究目的l测量原理l实验l总结一一.研究目的研究目的l平行平板型光学元件（例如平行平板玻璃、晶体薄片）广泛地应用在光通信和光测量领域；l面形偏差、光学均匀性等参数直接影响到系统的精度；l测量平行平板光学元件的面形是保证系统精度的前提。激光干涉仪测量面形中的问题reference planetest sampleFizeauFizeau激光良好的相干性会导致干扰条纹的产生解决方法l涂抹凡士林油Fizeaul不易彻底清洗光学元件l涂覆油脂会影响某些光学材料的表面质量 l变波长干涉仪 (ZYGO VeriFire)BACK解决方法

2、二.测量原理l在泰曼-格林干涉仪上引入短相干光源-钠光test platereference planeCCD钠光 干涉图的处理l测量过程中，采集到的是静态单幅干涉图。l采用虚光栅莫尔条纹法处理单幅干涉图，提取波面信息。 1.加入载频的干涉图( , )cos2( , )I x yabfxx y 虚光栅莫尔条纹法2.引入参考干涉图(虚光栅)2cos(1),(rrrxfyxIr= 0 , / 2 , , 3 / 2 虚光栅莫尔条纹法 莫尔条纹( , )0.5 cos2 ()0.5 cos2 ()cos(2)cos(2)rrrrrrs x yabff xbff xafxbf x 虚光栅莫尔条纹法 滤

3、波后的干涉图)(2cos5 . 0),( 1xffbayxSr 2/)(2cos5 . 0),( 2xrffbayxS)(2cos5 . 0),( 3xrffbayxS 2/3)(2cos5 . 0),( 4xrffbayxS5.四步移相法提取相位),(),(),(),()(231421yxSyxSyxSyxStgxffrBACK 三.实 验l实验设备：被测样品为前后表面平行度很好的K9玻璃，平均厚度为13mm。使用的干涉仪是英国N230型泰曼式干涉仪；光源选用相干长度较短的钠光灯，波长=589.3nm。实 验l测量得到的干涉图：实 验l被测平板前表面面形：PV=0.112= 66.0nm， rms=0.027= 17.1nm 。 实 验l实验比对PV=0.104= 65.8nm， rms=0.025= 15.8nm PV=0.112 = 66.0nm， rms=0.027 = 17.1nm 。 BACK 四.总结l在泰曼-格林式干涉仪中引入短相干光源钠光，解决了被测样品前后表面的反射光干涉混叠的问题，达到了测量平行平板型光学材料（如平行平板玻璃、晶体薄片）的面形的目的。

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 辅导培训

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论