半导体生产与洁净度ppt课件

1、格林保尔半导体生产洁净度 电池制造部半导体特性决定其制造过程必须有洁净度要求半导体特性决定其制造过程必须有洁净度要求杂质对半导体的特性有着改变或破坏其性能的作用，所以在半导体器件生产过程中对什么都必须严格控制，杂质有各种各样的，如金属离子会破坏半导体器件的导电性能，灰尘粒子破坏半导体器件的表面结构等。一、生产环境洁净一、生产环境洁净 半导体器件生产环境要求很严，要求恒温、恒湿，按单位体积中规定的尺寸灰尘粒子为标准分成洁净度的等级。一般分为10级、100级、1000级、10000级、100000级。 我们车间扩散间是1万级，其它区域是10万级。 洁净度以每立方米或叫每立方英尺空气中的最大允许粒子

2、来确定。等级名称为每立方米空气中大于等于0.5微米的最大允许粒子数的常用对数值以10为底），(英制单位是等级名称为每立方英尺空气中大于等于0.5微米的最大允许粒子数)检测颗粒测试仪）检测颗粒测试仪）1浮游粒子洁净度的检测颗粒测试仪）采样：任何洁净区的取样点不少于2个，除受洁净区划内的设备限制外，取样点应在整个洁净区均匀分布，每个选定的取样点应至少取样一次。在一个区内总共应最少取样5次，每个取样点取样应多于一次，而不同的取样点取样次可以不同2取样量度和取样时间：取样量不少于0.00283立方米合0.1立方英尺），并且计算所得取样量结果不得四舍五入。取样时间可以用取样量除以取样速率来计算。本公司总

3、体设施方面的参数本公司总体设施方面的参数扩散间操作区域洁净等级：1万级扩散间后面换源空调区域的洁净等级：10万级其它区域洁净等级：10万级送风量(m )：丝网448800；PECVD38000；扩散56000；装片38080；清洗38080换气次数：十万级20次；一万级30次；千级50-60次静压差：洁净区与非洁净区是10MPA，洁净区与洁净区之间十万级与一万级之间） 是5MPA。进入车间的必要条件我们人员需要遵守的）进入车间的必要条件我们人员需要遵守的）一，影响洁净度的主观因素和所占比例： 纤维：包括纸箱，头发，衣服占60%） 粉尘：包括灰尘，鞋底的泥土占20%） 工装夹具：粘有灰尘10%）

4、 化学品挥发或泄漏：到空气中产生反应或使空气不洁净占10%）进入车间的必要条件我们人员需要遵守的）进入车间的必要条件我们人员需要遵守的）二，进出车间的管理规定： 工作服，工作帽和工作鞋不允许穿到更衣室的外面包括钢头鞋） 进入车间前必须穿好工作服，工作帽和工作鞋 必须进行风淋20秒，如果风淋无反应，请点风淋按钮(扩散需二次风淋） 进入车间后戴好口罩 头发必须放在帽子里，女孩子长发要盘起来，男孩不允许留长发 自己的衣服帽子不要露在工作服的外面 进入扩散间必须穿洁净服，并且再次进行二次风淋影响工艺的因素与规定影响工艺的因素与规定三，影响工艺卫生的因素与规定： 总体基本要求： 1，任何人进入生产区域必

5、须穿好工作服，工作鞋，戴好帽子，口罩； 2，工作服，工作鞋，帽子必须每两周清洗一次； 3，徒手不可以接触任何机器设备，硅片或电池片； 4，任何区域不可以将皮肤漏出；传递窗及时关上；区域门保持关闭； 5，所有小推车必须干净整洁，所有地面必须干净整洁； 6，垃圾必须入垃圾筒，并且盖好盖子；粘尘垫脏了要及时撕掉； 7，所有的工艺控制点，生产数据，表单，流程卡必须真实及时准确填写。 清洗制绒区域： 1，保证装片操作台面的清洁； 2，装片时戴好一次性薄膜手套和口罩，保证遮住口鼻； 3，一次性薄膜手套每100片更换一次，若有脏污需提前更换，确保不污染硅片以至于影响制绒效果； 4，保证各个槽的洁净状态，洗好

6、槽； 5，制绒后的硅片及时放入传递窗，不得停留暴露在外面。 扩散区域： 1，进入扩散间必须吹风淋； 2，严禁任何金属物质接触石英制品； 3，正常生产过程中石英舟的搬运必须使用舟叉； 4，后面的空调必须一直开着，不允许关掉。 刻蚀区域： 1，只允许用吸笔插片，不允许用手插片； 2，保证插片台洁净； 3，各个槽的清洁状态； 5，去PSG后的硅片及时放入传递窗，不得停留暴露在外面。 PECVD区域： 1，去PSG后硅片及时放入洁净柜，不得停留暴露在外面； 2，机器的门必须保持关闭状态； 3，保证下料桌干净整洁； 4，维护时要保证区域干净，及时清扫； 影响工艺的因素与规定影响工艺的因素与规定 丝网区域： 1，保证上料台的清洁； 2，每个班上班后第一时间更换台面纸； 3，保证网版框周边无干浆料；铲刀各道不允许混用，并保持干净； 4，用松油醇擦试网版，不要用酒精； 5，用酒精洗网版，擦拭电池片； 6，各道印刷区域无细小的碎片； 7，每一道印刷的员工负责印刷质量； 8，保证