国科会高屏地区奈米核心设施共同实验室

1、國科會高屏地區奈米核心設施共同實驗室e-gun 使用規範96 年10 月19 日製表u 事前檢查：1、機台是否正常（綠燈）是否亮起。 Note:CDA 不正常所造成Alram，在登入後可排除。2、機台狀態標示是否為運轉中。3、使用者記錄簿有無登記機台異常。4、檢查N2壓力、冷卻水開關是否正常。5 、檢查e-beam窗口玻璃是否污染，可看見e-beam位置為主。 乾淨的玻璃片 受污染的玻璃片3、石英震盪片壽命，低於90%通知機台負責人。 (若對厚度準確性無特別要求可繼續使用。) u 開始蒸鍍：1、 登入帳號： a、Windows登入：輸入帳號名稱及密碼（名稱以英文姓名為主）。 登入後即開始計費。

2、 c、開啟e-gun控制軟體，確定機台連結是否正常（全打勾）。 d、e-gun程式登入：一般使用者帳號及密碼皆為user。 2、 開啟將e-beam power supply（開啟e-beam前需暖機2 min）。3、破真空及放試片 a、準備好試片或載具、坩鍋、鍍料。 (鍍料最多倒滿坩鍋八分滿，表面盡量平整。) b、選坩鍋位置，打開shutter。 c、按VENT破真空，壓力直約為7.2 E+2 Torr腔體門自動推開。 d、腔門開啟後檢查腔體是否乾淨，可用sputter旁吸塵器清理。將試片、載具放 置載盤，坩鍋放置對應位置。 shutter坩鍋載盤 e、欲鍍Al者，請檢查gun1六號坩鍋Al

3、鍍料是否足夠（Al鍍料無坩鍋）。f、載盤共可放四片6”載具，未放滿四片，其餘載盤空洞以鋁箔紙貼附，確保不會直接蒸鍍到載盤上的加熱燈管。g、按Vaccum mode AUTO自動抽真空。（步驟df請儘速，減少腔體暴露大氣時間，） h、將shutter關回。4、選擇Recipe(名稱以鍍料及厚度命名)，按LOAD。5、選擇Recipe，按LOAD。6、等TB開啟後（約5min），按START開始Autorun。7、到達背景壓力後e-beam自動開啟開始蒸鍍，製程中可由膜厚計觀察鍍率、膜厚。e-beam掃瞄模式、範圍請依各鍍料recipe設定。(製程中請勿開啟IG1)Note: 電子束掃瞄範圍請勿超

4、出坩鍋，掃瞄模式及範圍可參見各鍍料recipe。 8、 一般recipe不設自動VENT，有特殊需求請通知機台負責人。 9、蒸鍍完成後Autorun流程停在Cooling Down，表示製程已結束（緊示燈還是 黃燈亮起）。 10、取出試片：a、按VENT破真空，取出試片、坩鍋，立即關回腔門，抽回真空。b、若下一時段無人預約請關閉e-beam power supply（開啟e-beam後需等2 min 才可關閉）11、填寫使用者紀錄本。12、 登出windows帳號，若無登出將繼續算使用時數，一律不負責。13、載盤、坩鍋請收好。u Alarm時注意事項：(1) 製程中機台當機或紅燈亮起，畫面下方

5、顯示alarm，若為上班時間可先通知機台負責人。(2) ，下班時間，按ABORT取消，並持續抽真空10min後，按VENT破真空取出試片，填寫記錄本，註明機台狀況。u 違規相關事項(1)不確實填寫紀錄簿者，經機台巡視人員發現，第一次以口頭警告，第二次停權 一週處分。(2) 不確實填寫紀錄簿者，經機台巡視人員發現且機台有損壞故障情形，第一次 停權二週處分，第二次重新考核，因人為因素操作不當導致的機台損壞則需負 責賠償維修費用。(3)冒用他人帳號者，第一次 停權二週處分，第二次重新考核。(4)機台本身基板部分可以加溫使用，嚴禁加溫過程放入含有揮發性物質，例如光 阻，有特殊需求可以與機台工程師討論，真空膠帶請使用可以耐熱至250度的 材質，違規者，以重新考核做為處分。(5)使用者已經於停權期間，還進入使用被停權機台，則加長停權時間，假使導致機台損壞則永久停權。Recipe name: AL-5000 AL-3000坩鍋位置：Gun1，6號坩鍋。e-beam 掃瞄模式: 定點Material: Al鍍率:1 A/sece-beam掃瞄範圍設定Late