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文档简介
b 不合格品与描述 不合格片的主要表现： 线痕片：在硅片表面有较明显细小横向或斜向印痕。 崩边片：是指在线切过程中，硅片边缘受内部应力或外部力量的影响而 导致脆断。 边缘片：是指在线切或清洗、检测环节中，导致硅片边缘受损。（造成 原因下述） 穿孔片：指硅片表面出现的小孔 翘曲片：指由于硅棒本身的质量问题，切好的硅片会由于内部未消除应 力的释放而造成硅片凹凸不平，或造成波浪形。 外形尺寸：有些硅片的外形尺寸（对角线或边长）如果达不到客户的尺 寸要求，虽然其他都没有问题，但照样是不合格品。 TTV：是检测硅片厚薄均匀性的唯一指标。（有专门的TTV检测仪，固 定的检测方法-5点检测法-9点检测法） 硅落：指硅片的最外延有较小面积的硅脱落现象 缺角：指硅片的一个或几个角有折断现象 碎片：指硅片出现严重的断裂情况
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