空调系统对无尘室的影响及二次配管路优化

1、空调系统对无尘室的影响空调系统对无尘室的影响 及二次配管路优化及二次配管路优化1 1.空调系统对无尘室的影响空调系统对无尘室的影响2.2.二次配管路优化二次配管路优化3.3.针对现场漏水系统的判断针对现场漏水系统的判断4.4.心得心得 目录2/35目录目录 无尘室无尘室 无尘室无尘室(Clean Room)(Clean Room)，亦称为无尘室或洁净室。，亦称为无尘室或洁净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。无尘室被定义为具备空气过件不可能批量生产。无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中滤、分配、

2、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度 从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。设计之房间。 引言3/35空调系统对无尘室的影响空

3、调系统对无尘室的影响 空调箱（空调箱（MAUMAU）的作用：）的作用： 1.MAU 1.MAU结构结构 2. 2.制造风能制造风能 3. 3.除去大部分粉尘、微粒除去大部分粉尘、微粒 、离子、离子 4. 4.控制温湿度控制温湿度 5. 5.调节压力调节压力4/35空调系统对无尘室的影响空调箱（空调箱（MAUMAU）热盘管（供热盘管（供35 35 ，回，回2828）加湿器加湿器出风口风阀出风口风阀MAUMAU照片展示照片展示5/35MAUMAU两视图两视图6/35空调箱制造风能空调箱制造风能 MAU MAU利用利用120kw120kw的的 电机拖动风机的电机拖动风机的运转产生压力差，运转产生压力

4、差，导致了气流的运动，导致了气流的运动，最终形成了风能。最终形成了风能。（备注：（备注：1 1台台MAU MAU 在频率为在频率为45Hz45Hz的运的运行情况下可输出每行情况下可输出每小时小时1010万万mm风量）风量）7/35空调系统对无尘室的影响进风口无纺布进风口无纺布初效过滤器初效过滤器中效过滤器中效过滤器高效过滤器高效过滤器气流方向气流方向认识空调箱的过滤器及效率认识空调箱的过滤器及效率效率效率效率2030%4060%95%99.97%气流方向气流方向气流方向气流方向气流方向气流方向效率8/35空调系统对无尘室的影响MAUMAU对温湿度的影响对温湿度的影响 MAUMAU利用气流与盘管

5、的充分接触，发生热交利用气流与盘管的充分接触，发生热交换从而达到对出风温度的控制。换从而达到对出风温度的控制。 通过了一道热盘和一道冷盘以后风的含热量通过了一道热盘和一道冷盘以后风的含热量即焓值，再经过加湿器再经过一道冷盘和热即焓值，再经过加湿器再经过一道冷盘和热盘最终达到了对湿度的控制。盘最终达到了对湿度的控制。 在一定的条件下，温度和湿度成反比。推论在一定的条件下，温度和湿度成反比。推论如下：如下：绝对湿度绝对湿度/ /饱和绝对湿度饱和绝对湿度= =相对湿度相对湿度 （此公式运用于同一温度，同一压力条件下）（此公式运用于同一温度，同一压力条件下） 9/35空调系统对无尘室的影响MAUMAU

6、监控系统监控系统 现由业主规定，现由业主规定，1010台台MAUMAU的运行频率的运行频率都为都为45Hz45Hz，之所以，之所以这样规定是因为只这样规定是因为只要对一台要对一台MAUMAU进行进行调整就会对无尘室调整就会对无尘室的压力环境造成影的压力环境造成影响，反过来我们也响，反过来我们也可以根据现场的情可以根据现场的情况以及现场的需求，况以及现场的需求，通过调整通过调整MAUMAU的频的频率可以调整某个局率可以调整某个局部的压力。以部的压力。以OHV3OHV3为例：为例：总静压管静压值MAUMAU对压力的影响对压力的影响11/35空调系统对无尘室的影响 MAU102MAU102的出风口正

7、的出风口正对对 的下方是的下方是 OHVOHV3 3 的送风管，我们可的送风管，我们可以调整以调整 MAU 102MAU 102的风的风量来实现对量来实现对OHV3OHV3的压力调节。当然了的压力调节。当然了这种方法一般情况下这种方法一般情况下是不会使用的，因为是不会使用的，因为我们可以直接调节我们可以直接调节OHV3OHV3送风管的阀送风管的阀门来控制门来控制OHV3OHV3的压的压力。力。MAU102出风管OHV-3送风管根据现场情况根据现场情况12/35空调系统对无尘室的影响FFUFFUFFU无尘室里最重要的无尘室里最重要的除尘设备，主要结构为除尘设备，主要结构为一个风机和超高效过滤一个

8、风机和超高效过滤器组成器组成FFU马达FFU超高效过滤器效率99.999%气流方向气流方向13/35空调系统对无尘室的影响无尘室主要的降温设无尘室主要的降温设备备干盘管（干盘管（DCC)DCC)DCCDCC没有动力源，它没有动力源，它主要安置在回风道里，主要安置在回风道里，原理是让回风道里的原理是让回风道里的风与干盘管里面的水风与干盘管里面的水（供（供1212回回1919）进行）进行充分的接触发生热交充分的接触发生热交换，从而达到降温的换，从而达到降温的目的。目的。 DCC ( DCC (干盘管干盘管) )回风道回风道 机台之间机台之间14/35空调系统对无尘室的影响风机盘管风机盘管风机盘管的

9、结风机盘管的结购只是在干盘购只是在干盘管的基础上加管的基础上加了一个动力源，了一个动力源，它主要的作用它主要的作用和和DCCDCC一样，一样，它主要运用在它主要运用在生产加工的区生产加工的区域。域。气流方向气流方向气流方向供水回水气流方向15/35空调系统对无尘室的影响 静压箱静压箱CCUDCCDCCBUF机台 FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU 高架地板回风道回风道 MAU新风MAUMAU、静压箱、静压箱、FFUFFU、CCUCCU、DCCDCC、高架地板、回风道、泄压风口之间的联系、高架地板、回风道、泄压风口之间的联系静压箱静压箱FFU FFU FFU FFU FFU

10、DCCFFU FFU回风道L/UL16/35空调系统对无尘室的影响泄压风口只有做好了上述的工作，稳定了无尘室的环境，只有做好了上述的工作，稳定了无尘室的环境，我们才能进行生产，才能使生产的良率提高。我们才能进行生产，才能使生产的良率提高。进入二次配进入二次配 过渡页17/35 认识材料认识材料 学会请购学会请购 根据实际情况配制管路根据实际情况配制管路 管路优化管路优化二次配管路优化二次配管路优化18/35管路优化 学会认识材料学会认识材料（1 1）深入现场。从现场中学习，了解管路的材料、管径、以及）深入现场。从现场中学习，了解管路的材料、管径、以及与机台端的连接形式。与机台端的连接形式。（2

11、 2）从仓库中学习，认识一些常见的配件，诸如：三通（）从仓库中学习，认识一些常见的配件，诸如：三通（T T）、）、弯头（弯头（L L）、大小头（）、大小头（RSRS）、直接（）、直接（S S）法兰、阀表）法兰、阀表 学会请购材料、填写异常单、请款、材料学会请购材料、填写异常单、请款、材料报验报验19/35管路优化 根据实际情况配置管路根据实际情况配置管路（1 1）现场：确定）现场：确定take offtake off点到机台连接点之间的管路走向，画出点到机台连接点之间的管路走向，画出ISOISO图，确定材料用量。图，确定材料用量。（2 2）时间：按照机台的需求情况进行施工，分轻重缓急不延误）时

12、间：按照机台的需求情况进行施工，分轻重缓急不延误一台机台的一台机台的turn onturn on时间。时间。（3 3）材料：根据仓库材料余量，判断现场需求，如若缺少材料）材料：根据仓库材料余量，判断现场需求，如若缺少材料需积极请购，以防拖延工期。需积极请购，以防拖延工期。（4 4）承包商：承包商是我们工作得以延续的最重要环节，掌握）承包商：承包商是我们工作得以延续的最重要环节，掌握他们的能力，利用好承包商的资源。他们的能力，利用好承包商的资源。20/35管路优化管路优化管路优化 红色表示原来管路，黄色表示优化的管路红色表示原来管路，黄色表示优化的管路21/35节省的管路节省的管路管路优化 盘面

13、的位置选择（方盘面的位置选择（方便开关阀门）便开关阀门） 盘面的整洁美观盘面的整洁美观2.2m整个盘面的位置太高，如需操作阀门，需找爬梯之类的辅助工具。优化意见：整个阀盘下调700mm1.5m盘面的优化盘面的优化22/35盘面优化天花板上方管路对比天花板上方管路对比管路歪斜管路歪斜管路笔直管路笔直照片对比展示23/35管路高低不平管路高低不平管路整齐管路整齐 管路死角对比管路死角对比24/35照片对比展示管路支架对比管路支架对比管路缺少支架管路缺少支架管路固定整齐管路固定整齐25/35照片对比展示管路穿越天花板对比管路穿越天花板对比管路歪斜管路歪斜管路垂直美观管路垂直美观26/35照片对比展示

14、盘面高度对比盘面高度对比盘面高盘面高1.6m1.6m盘面高盘面高2.2m2.2m27/35照片对比展示高架地板下面管路对比高架地板下面管路对比管路歪斜管路歪斜管路横平竖直管路横平竖直28/35照片对比展示支架歪斜支架歪斜支架平整支架平整盘面支架对比盘面支架对比29/35照片对比展示橡皮垫丑陋橡皮垫丑陋橡皮垫整齐橡皮垫整齐P P型卡橡皮垫对比型卡橡皮垫对比30/35照片对比展示压力表歪斜压力表歪斜压力表整齐压力表整齐压力表安装效果对比压力表安装效果对比31/35照片对比展示支架晃动支架晃动支架稳定支架稳定盘面支架的固定盘面支架的固定32/35照片对比展示针对现场漏水系统的判断针对现场漏水系统的判

15、断 根据区域判断根据区域判断 第一判断：空调水。原因：覆盖全厂区第一判断：空调水。原因：覆盖全厂区 第二判断：第二判断：PVD/WETPVD/WET区漏水判断区漏水判断纯水，原因是纯水纯水，原因是纯水主要集中在南区主要集中在南区PVDPVD、WETWET区。区。 第三判断：第三判断：CVD/DRYCVD/DRY区漏水判断区漏水判断PCW,PCW,原因是原因是PCWPCW主主要集中在要集中在CVD/DRYCVD/DRY区。区。 第四判断：排水，排水的可能性小。原因：排水它是重第四判断：排水，排水的可能性小。原因：排水它是重力流。力流。33/35漏水判断心得体会心得体会 经过了一年的学习和锻炼，认识到了想要认经过了一年的学习和锻炼，认识到了想要认真的学习、工作、生产，就必须要营造一个良好真的学习、