扩散间工艺卫生规定

1、扩散间工艺卫生规定1. 目的为了进一步规范和加强我公司对扩散间的有效管理，确保扩散间的工艺卫生，从而提高产品的性能，特制订本作业指导书。 2. 范围适用于进出扩散间所有人员。3. 规范性引用文件 CM-电池-06.1 电池工艺条件工艺环境4. 术语和定义洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。5. 职责5.1电池制造部操作人员负责生产过程中的工艺卫生维护。5.2电池设备部人员负责设备维护和修理后的工艺卫生确认。5.3电池制造部工艺人员负责对人员操作和设备运转情况进行工艺卫生监督。6. 内容 6.1 对人员的要求6.1.1除当班操作人员外,工艺技术人员、质量控制人员、设备维护人员在必

2、要时可进入扩散间,非当班工作人员不得擅自入内。非当班工作人员如有事要进入，人员着装必须按照规定穿戴，才能进入。6.1.2进入扩散间的人员须在进入前在更衣区更换扩散间专用洁净服、帽、鞋,佩带无纺布口罩.帽子应将头发完全遮住,口罩遮住口鼻。头颈、手腕、足踝处牢固系紧,避免皮肤裸露.进入扩散间的人员禁止使用粉质化妆品。如要戴鞋套，必须要把裤腿下摆裹在鞋套里。6.1.3进入扩散间必须进入风淋室,进行30s60s吹淋后方可进入。6.1.4出扩散间线路与进入线路相反但不需要吹淋。6.2 人员在接触物品之后再接触硅片和承片盒，必须在接触硅片和承片盒之前更换手套。6.2.1穿衣时，要注意不要使衣服触及地板等其

3、物品，不要粘污袖子，裤腿下摆。姿势要保持直立，按从上至下顺序穿衣。脱衣时顺序是反之。6.2.2在更衣区，先脱掉鞋，放在规定的存放处，然后摘掉帽子，最后脱掉衣服，放入专用衣柜中。工作服柜应分洁净工作服柜和一般工作服柜，并有明显标志，不得混放,以防交叉污染。6.2.3帽子要把头发遮住，头部紧紧地包在帽子里面。洁净服所有的搭扣要搭好。6.2.4若需再进扩散间时，仍需按进入扩散间的顺序进行。6.3扩散间作业人员操作注意点6.3.1在扩散间内动作要轻；作业人员严格执行操作指南，在扩散间不要拖足行走，不做不必要的动作(如拖、拉、扫之类动作)。6.3.2不能把洁净服提来提去，人员不要经常触摸和翻动洁净服。6

4、.3.3插片和卸片必须在表面洁净的工作台上操作，硅片（扩散或未扩散）存放必须在洁净柜或传递窗内。石英舟也要按规定摆放，存放在表面洁净的台上（或者洁净柜）。扩散间物品的摆放，制造部要有明确的文件规定物品如何摆放并做好标志，制造一部的5S负责监督执行。6.3.4不允许同时打开传递窗，更不允许通过传递窗进行交谈和长时间打开传递窗，要做到随开随关。6.3.5不准用手触及硅片和石英舟/挡板。操作时，要戴手套，不要露出手腕。手套不要触及不洁净的东西，如要触及，事后请立刻更换手套。6.3.6不允许带与生产无关或容易产生灰尘的物品进入扩散间。6.3.7洁净服只能在扩散间、更衣区以及两者之间的通道范围内穿戴，至

5、其他工作区需更换一般的工作服。6.3.8在洁净室内应尽量避免喊叫或提高说话的声音；也要尽量避免咳嗽和打喷嚏，如果实在避免不了，应避开工作区。6.3.9扩散石英舟不可放置在除洁净工作台和臂桨以外的其它任何位置。禁止身体的任何部位接触石英舟。6.3.10舟叉除接触石英舟外,不得接触其他物品,不用时必须放在洁净台内。舟叉套管必须每班以酒精擦洗,并保持完好,当套管破裂后必须更换新的套管,并以酒精擦净后方可使用。6.3.11不用的扩散石英舟必须放置在洁净柜内,做好标识。6.3.12扩散间的修理设备要有专用的工具箱并按照规定存放，禁止拿出扩散间。扩散间要有专门用于运输的运输小车。6.4 不准进入扩散间人员

6、和物6.4.1非作业人员或事先未得到许可者（外来参观者）。外来参观者进入扩散间必须要得到制造部和电池技术部负责人的同意。6.4.2没有穿着洁净服者和未照规定穿着洁净服者。6.4.3没有经过清洁的物品、器材等。6.4.4扩散间严禁存放纸类的盒子和箱子，与生产无关的东西严禁进入扩散间。6.5物料进入扩散间流程6.5.1工具器材：1.去掉外层包装2.初步外部清洁3.进入车间（如有设备清洁室，就进入设备清洁室）4.去掉内包装5.清洁设备表面6.进入扩散间。6.5.2清洁用品：1.去离子水和2.3%5%的IPA。擦试纸（无尘纸）或布（不掉纤维的材料-丝光毛布，尼龙布）6.5.3使用规定的清洁工具对要进入

7、扩散间物品表面进行擦洗（擦洗次数是25次）。6.6扩散间清洁6.6.1工作台面、传递窗、工具、器皿表面每日以酒精擦洗一遍,擦洗时扩散炉应处于“不工作”状态。6.6.2地面每日一次用带有尾气过滤器的真空吸尘器吸扫,并以湿布擦洗。6.6.3时间：下班前工艺操作结束后进行，每天一次。6.6.4工具：吸尘器，拖把（无尘室专用的）。水是去离子水或经过过滤的水。清洁工具要放在指定的位置。6.6.5每月维修设备时应对扩散间全方位大扫除,范围包括门、窗、墙壁、器具、设备表面的酒精擦洗,送风口的真空吸扫和擦洗。电池设备部在设备维护后进行洁净度测试并将数据转发给工艺。如果洁净度测试不达标，制造部人员继续打扫，直到测试达标后才能进行开工。6.6.6所有的清洁工具都要放在指定的地方。6.7洁净服管理6.7.1清洗时间：每五天清洗一次。工具：去离子水，水温度是在6070（度聚酯布）或5050（尼龙布）和专用洁净清洗机(上海伊莱克斯商用电器)。6.7.2要求：回收穿过的洁净工作服发现油污，应仔细去除油污再进行洗涤程序，有搭扣的工作服，应在扣合状态下洗涤。6.7.3存放：干燥后，在洗涤专用的洁净室内叠好，装入洁净的聚酯袋或尼龙袋内，根据要求可双层包装