名称电子探针X射线显微分析仪

1、名称：电子探针X射线显微分析仪 数量：1主要技术指标一、主要用途：    1、矿物岩石等固体材料的化学组成定性和定量分析    2、矿物岩石等固体材料的化学组成的点、线、面分析和相分析3、矿物岩石等固体材料的高分辨二次电子像、背散射电子像和透射电子像观察4、阴极发光系统和岩石矿物年龄测试功能（参考）     二、技术要求及参数   电子探针（EPMA）应具备完成仪器用途所需要的完备机能和保证整个系统正常运转的所有必备系统，包括电子光学系

2、统，真空系统，光学观察系统，样品台系统，X射线分光系统，电子检测系统，控制系统，数据处理系统，分析标准样品以及专用工具及消耗品等。所有硬件、软件产品必须都是原厂原装部件，而且产品应是交付前最新生产且未被使用过的全新产品，同时必须具有在中国境内的合法使用权。2.1 仪器工作条件2.1.1 电压：220V(±10%)单相，50Hz(±1)，要求配备能够适合中国地区用户的国外原装进口稳压电源、断电保护设备和主机及泵用变压器。2.1.2 环境温度：20±52.1.3 相对湿度：80%2.1.4 水温和水质：要求投标者提供国外原装进口的适合仪器正常工作的水循环冷却系统。2.

3、1.5 仪器运行的持久性：可连续不间断运行。2.2主要技术规格与要求2.2.1电子光学系统  2.2.1.1二次电子分辨率：二次电子分辨率达6nm，工作距离不得小于6mm    2.2.1.2电子枪：钨丝发射枪，预对中灯丝2.2.1.3加速电压：加速电压为030kV    2.2.1.4束流范围：束流范围为10-510-12A2.2.1.5图像放大倍数：图像放大倍数为×50 ×300,000，连续可调2.2.1.6电子像的畸变：3% （400放大倍率），5%（400放大倍率）2.2.1

4、.7电子束位移：小于1m/h2.2.1.8图像具备自动聚焦,自动消像散,自动衬度/自动亮度调节功能,而且具有大焦深模式2.2.1.9束流探测器：气动式法拉第杯2.2.2波谱系统2.2.2.1可测元素范围5B92U，分析精度优于1%（主元素，含量5%时）和5（次要元素，含量1%）2.2.2.2计数率的重复性（给定波长位置）：优于0.5%2.2.2.3峰位置重复性（同一分光晶体）：优于0.5%2.2.2.4峰位置重复性（交换分光晶体后）：优于1.5%2.2.2.5至少配置三道谱仪，全聚焦型晶体或半聚焦型晶体,每道2块晶体,具体的晶体配置情况用户可在合同签订前根据需要进行调整。2.2.3光学观察系统

5、2.2.3.1类型:具有透,反光显微镜,透光模式带正交偏光2.2.3.2分辨率:1m2.2.3.3放大倍率:400 - 500倍2.2.3.4配有十字丝物镜2.2.3.5图像:可同时显示二次电子像,背散射电子像,彩色光学显微像,还可以得到上述图像的数字化像。2.2.4样品台系统2.2.4.1驱动方式:步进马达2.2.4.2样品台移动范围: X90mm, Y90mm, Z7.0mm2.2.4.3样品台大小:100mm × 100mm × 50mm2.2.4.4样品台驱动速度:10mm/s2.2.4.5样品台微动模式为最小步长:0.02 m2.2.4.6样品台重复精度:达

6、77;1m2.2.4.7样品交换:自动预抽交换,交换时间2分钟2.2.4.8具有曲面样品自动分析功能2.2.5真空系统2.2.5.1真空度:好于1.3×10-3 Pa2.2.5.2抽真空时间:全系统少于30 min2.2.5.3样品交换时间少于2分,电子枪室少于2分；真空控制系统为全自动2.2.5.4安全装置:当出现意外时(如真空漏气,真空度下降,电源故障,冷却水故障等),自动控制保护系统"启动"2.2.5.5真空度检测：高真空规(Penning gauge)及低真空规（Pirani gauge）,装有检漏功能2.2.6电子探测器2.2.6.1吸收电子检测器2.2

7、.6.2二次电子检测器:分辨率优于6nm2.2.6.3高灵敏度背散射电子检测器：成分分辨足以清晰分辨a /b黄铜2.2.6.4视频输出：拓扑像、成分像2.2.6.5电子束电流检测器：实时显示电子束流情况   2.2.7计算机控制系统2.2.7.1采用PC机驱动谱仪：主机内置的高档品牌PC机，配置为发货时市场较高配置,投标人需注明配置；配备2个21寸 （1280×1024）高分辨彩色显示器，终级数据处理和传输界面： WINDOWS/VISTA，配备 DVD/VCD刻录，UBS接口。配备A4激光黑白打印机一台，A4激光彩色打印机一台。2.2.7.2数据处理计算机：LA

8、N局网高档品牌PC机，配置为发货时市场较高配置,投标人需注明配置（国内采购）2.2.7.3基本软件：电子探针操作程序；初始条件设定程序；自动定性分析程序；自动定量分析程序；自动线分析程序；任意方向线分析；自动面分析程序；自动相分析；全自动分析程序；分析谱线数据库(定性分析及状态分析解析用)；维护管理程序；状态分析程序；ZAF定量分析软件；校正曲线定量分析软件；物相分析软件；薄膜定量分析软件；联机图像分析程序；年龄测试软件（参考）等其他系统自带的标准软件。2.2.7.4控制系统：可通过键盘或鼠标完成全部操作控制。2.2.8其他技术指标达到产品标准说明书所标定的要求。  

9、60; 2.3 配件及附件    2.3.1高真空镀膜仪（原装/进口）：真空度好于10-4Pa； 抽真空时间少于30分钟。    2.3.2电子探针正常工作所必须的线过滤器、气罐气体流量计等（厂家原装/进口），空气压缩机，1套。2.3.3标准样品：每个元素至少有一个标准样品，包括单质、氧化物、硫化物、硅酸盐、其他含氧盐等。2.3.4 阴极发光系统（参考）适用于岩石、矿物阴极发光特征观察和分析的硬件、软件资源。包括阴极发光图像成像系统，需提供相关技术资料。2.3.5能谱仪2.3.5.1 SDD探测器（硅漂移探测器），电制冷型2.3.5.2 元素范围: 4Be-92U2.3.5.3 能谱分辩率:优于129eV2.3.5.4 具有定性、定量、面扫描、线扫描等软件2.3.5.5 轻元素性能：自动除霜，保证B、C、N、O等轻元素性能长期优良2.3.5.6 可与电子探针的波谱同时、分工、