FEI台式扫描电镜PHENOM(飞纳)

1、FEI司旗下Phencm World BV荣營出品>X< FEI COMPANY- Tools for NanotechPhencm帝给您令人惊叹的高质量图片和前所未有的高效率 详情谓联系Phencm World B舛国总代理Quantum Desgn中国子公司PHENOMWORLDQuantum De signFEE司旗下Phencm Worb BV荣管出品触摸屏旋转手柄在当今计量临界尺寸降到纳米量级的 形势下，如何保持行业领先地位和兗 争力？ 一直以来.FEI以向各行各业 提供最高分辨率的成像和分析工具f 致力于新领域的开祐。现在我们自 豪地向您介绍Phencm 款能为显 微领

2、域帝来新视野的成像工具。在此 以前,以如此低的价位实现如此高水 平的图像质墨、分辨率和样品处理率r 是根本不可能的.Phencm使高端成 像成为所有人都能负担起的现实.PHENOMWORLD放大倍数：24-240OOX分辨率：30rm成像时间：30s主机体积:台式电脑大小放置环境：普通实验室或办公室高质量的图像 3砂快速成像多种自动调节功能，操作简便全程导航功能可直接观察不导电样品兼得样品表面形貌与成份信息长寿命高亮度灯丝远程检测功能丰富的拓展模块：全景图像拼合、3D®建、纤维测量系统FEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品金屈錫球图像$战底匕的Au引线图像传统SEM M

3、5KV加速电压下得到的海葆图像，电子穿透效应非常严权Phenom得到的海濱图像PHENOMWORLDPhencm采用低加速电压(5kV)、 低真空度(01 mBar)与高亮度隈 寿命灯丝的最优化组合，为您提供高 信噪比、表面细节丰冨的优质图片：120X-24000腥续放大z 30rm高 分辨率，令人惊叹的大景深。探测背散射电子，展现清晰形貌结 构的同时，提供丰富的成份信息。 低加速电压，电子穿透深度浅，避 免样品的破坏，展现更多表面细节。Phencm采用专利真空技术，独特的样品杯和 低真空设计，为您省去了大呈抽真空的时间。 装入样品后3砂钟内即可得到高质量图像，耗 时仅为传统电镇的1/1咗右，

4、将极大的提高您:FEI COMPANY- Tools fo r NanotechPhencm直观的用户界面、简便的触摸屏控制,以及各项自 动调节功能，使用户仅需极少的培训，就可以得到高质臺的 图像。独一无二的设计将通常电子显微镜所具有的复杂性降 低到类似于光学显微镜的水平,使更多用户可以轻松操作。点击自动聚焦按钮,Phencm将自动进行聚焦，轻松得 到清晰图像。也可根据用户喜好r逬行手动聚焦,精细 调节.Phenom操竹界而：通过点击右侧图标可以轻松完成 图像缩放、聚焦、亮度对比应调节、碇转等操作. 界面右侧显禾光学导就和低fftSEM导WII.方便用 户在不同样品、不同区域何进行切换。点击自

5、动调节亮度对比度按钮,Phencm将自动进行亮 度、对比度调节。也可根据用户喜好,逬行手动调节。Phencm可通过调节线圈电流逬行灯丝对中,无需进行 机械凋节。Phencm采用自动样品台,配合触摸屏,通过点击屏幕 上希望观测的区域，即可轻松移动样品，移动范围 36mm x 36nm0Phenom独仃的光学导航和低借SEM导航窗口导 埶窗口中的彩色矩形框折示了主窗口中的观测区 域Phencm独有的光学导航功能r为您全程提供整个样品 的导航图像，点击导航图像上感兴趣的区域即可准确移 动样品，方便您在不同样品、不同区域之间切换。Phencm还为您提供低倍SHVI导航图像，使您在髙倍观 测时，不必再频

6、繁的缩小、放大图像来寻找感兴趣的区 域，从而提高您的观测效率.（Phencm也可恨据用户喜好.使用舉标健盘进行控制）B劉氐充电效应样品杯利用标准样品杯（上图）与降氐充电效应样品杯（下图）得到的头发图像PhencmS用专利低真空技术，背散射电 子成像，可以有效抑制充电效应的产生， 使得直接观测各种不导电样品成为可能， 为您免去了耗时费力的预处理过程。利用降低充电效应样品杯，更可将开始充 电的放大倍数提高醋左右。QuantumDesignFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品成份模式成像原理:恢背叡射探测 器扇区所得的信号相叠加.成份模式图像 包含样品成份与形貌信息形貌模式成像原理:

7、铁背散射探测器扇 区分为相对的两组.所得的信号相减.形貌摸式图像 仅突出样品表面形貌特征Phencm选择背散射电子成像 背散射电子的产率、出射角 度,与样品成份和表面形貌息 息相关,因而可以同时给出样 品成份和形貌信息。Phencm采用備区式背散射 电子探测器，为您提供两种成 像模式：成份模式（Fullmode）同 时给出样品表面形貌与成份 信息，不同元素可由其对比 度的不同加以分辨.形貌模式（Topographical mode）在图像中去除了成 份不同所造成的差异,强化 样品的3Dfg息，使样品表面 的凹凸起伏等微观结构更加 明晰。尤其适用于表面粗糙 度和缺陷分析。Phencm可以快速的在

8、两种成 像模式间任意切换。Phencm采用CeBT丝f不仅壳度为鹄灯丝的10（咅为您提 供更高的图像对比度,寿命更是长达1500J时f为磚灯丝的 1540（咅,可正常使用24年无需更换灯丝r免去了您频繁更 换灯丝的麻烦保证工作逬度。Phencm可以放置在几乎任意的室内环境当中f无需超净间。 各主要部件相互固走在一起,農动不会引起各固件之间的相对 运动，使得Phencm成像不受震动影响。Phencm拥有远程检测功 能,通过网络,专业工程 师可随时为您远程检测系 统、答疑解难f为您提供 全方位的保护,让您的 Phencm随时处于最佳工 作状态。PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/

9、orb BV荣管出品Tools for NanotechPHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品适用于30rm高分辨率成像，不仅适用于粉末 ,薄膜，同时适用于不规则形状的三维样品。最大样品尺寸：直径：2 Sum ;高30Tjm无需喷金,可以直接观察不导电样品，从而获 得样品的原始形貌和成份信息。最大样品尺寸：直径：29nm ;高3(TnmPH

10、ENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品在显微图像观测中，获得表面平滑的样品的常 规办法是镶嵌和抛光等技术。金相样品杯可用 于观测镶嵌在树脂等材料中的样品。最大样品尺寸：直径：32nrn ;高3(Tnrn适用于金相研究中不导电样品的直接观测。获 得样品的原始形貌和成份信息。最大样品尺寸：直径：32nm ;高30nmPHENOMWORLDFEE司旗

11、下Phencm AA/orb BV荣管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品采用特制夹具将微型电子器件 x太阳能电池以及其他晶片状 材料固走在样品杯中,使其免 遭到破坏。测试后，样品可以 主好无损的取下，重新回到制 备环节中去,或者参与其他损 耗检测。适合于涂层以及多层半导体器 件等断口、断面的观测。与传 统的耗时又费钱的树脂镶嵌相 比,这种办法简单而快速,且 不需要螺丝等其它工具来固走适用于钻头.锣刀、钻杆雕刻工具、针头.纤 维、(燃油)喷嘴以及铅笔等长度较长，且有 角度要求的样品成像。样品直接装进样品杯即 可,无需其他辅助工具。最大样品尺寸：直径lO

12、nm ;长度lOQnm倾斜角度:- +4CT旋转角度：十/3SPhencm Pro Su進专为Phencm台式扫描电子显微置 设计的应用模块，其开发目的是使用户可以从Phencm的 SB/1图像中提取更多信息，拓展Phencm的应用，满足特 走的用户需求。自动全景图像拼合远程控制界面 M easurelT标准Phencm Pro Suite漠块用户界面 3Dffi糙度重建纤维系统HB自动全景图像拼合模块使得用户 可以得到大范围的高分辨图像。用户只需在总览图中定义扫描区 域，自动全景图像拼合模块将自 动开始以指走的分辨率对该区域 逬行扫描。所得图像将拼合成一 副全景图像加以保存，方便进行 进一步

13、的观测所有图片也将分最大8 0亦m的超大视野（FOV），完整呈现样品全貌-高达M乙像素的超高分辨率自动采集图像，每分钟可采集超过10（1长1024 x 102尙辨率的 图像-简明的单页用户界面，操作简便-可与纤维系统联用PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品别保存。PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品左：利用自动全星图像拼合得到的2 46x2 4dnm半导体元件的高分辨全星图像,分辨率高达850（万像素。 右：局部特写揭示样品的表面细节Phencm

14、 Pro Suite应用模块中的远程控制界面使 得用户可以在不同地点对Phencm进行远程操作， 您也可以在报告中实时演示Phencm中的图像；也 为在不同地点的同事之间的合作提供了便利。对图像迸行各种离线处理和测量。PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品Tools fo r Nanotech3D粗糙度重建摸块（3D Roughness Reconstructbn）是Phencm台式扫描电彊所 独有的强大图像处理工具。借助3（湘糙度重建 模块，Phencm可以产生样品的3C®原图,对 其进行任意旋转，并逬行亚微米呈级的粗糙度 测星，矜助用户更加细致

15、的分析样品形貌。纹理分析腴陷&失效分析.摩擦学瘩扌员分析机械加工的质呈控制证物鉴走钻头表面S时图像,放大倍数600耳图像中可以看到钻头表面磨损所致的纹理，但由于为像,纹理的起伏目动创建3像,通过颜色指示高度过滤后的3矚像 3怪像可任意旋转目动粗糙度测量-Ra（平均粗糙度）和Rz（粗糙高度）用户可设定波纹过滤支持跌同时测呈.远优于光学或机械测星手段高分辨率高精度不破坏样品无需倾斜样品不够直观，无法进行较为精确的测量。数秒之内完成快速3建钻头表面SB/1图像,放大倍数2900X左：利用36且糙度重建懊块得到的钻头表面的3D重建图像r图像可进行任意角度的旋转，使得祥品表面的粗糙起 伏变得更加

16、明晰.图中包含三条测臺曲线，右侧区域内显示了 R看R甜测星结杲.右：左图中的测星结杲的放大 图r给出了样品表面起伏高度的走呈测量结果:钻头表面最大沟壑深度为113im#PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm World BV荣晉出品%PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm World BV荣晉出品纟千维系统使得直接观察和测呈微米、纳米纤维 变得前所未有的快捷.简单。结合Phencm台 式扫描电子显微镜，纤维系统可以使您获得微 米、纳米纤维的精确尺寸信息。纤维系统的自动图像表征功能可以在几秒内完 成数百次测呈，提供更加精确的数据。与以往 耗时费力且精确度难以保证的手动测呈相比 纟

17、千维系统将为您节省大量时间、精力,给您最 大的回报。纤维系统用户界面，图中显示了纤维及孔径测最过滤网膜织物造纸自动测量,几秒内完成数百次测最,节省时间每张图片测臺ijoocm;自动生成统计数据可以观察和测最从纳米到微米星级的 纟千维同Phencm连接，可逬行实时测臺数据可以标准格式导出空代过滤网SHV1图像左：纤维东统白动进行纤维亘径及孔径的测星右：左图中纤维尺寸的分布柱状统计图。用户可以对统计图坐标进行调整。纤维的最小、 最大及平均尺寸均显示在图片下方.%PHENOMWORLDFE1司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品Tools fo r Nanotech齿轮木炭 1 o球形石墨全

18、属滤网FE1司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品FE1司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品11卵壳内侧过滤纤维奶粉颗粒药物中间体PHENOMWORLDFE1司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品Tools for NanotechFE1司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品FE1司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品太阳能电池表面太阳能电池断面12球墨铸铁FE1司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品FE1司旗下Phencm AA/orb BV荣管出品13小昆虫霉菌泡子海藻滤膜上的细菌PHENOMWORLD寸寸ud-:a)alun 一 urtnoLIDS'X(xe£ mZH09_0s"<>0寸GOHHH%08v卩om虽6>I9PUJUJ£S6mx 云 morslx(M sa 1© ee(£ 寸卜x(p oomx(M 9SI 常 6>js 寸、ee(£ mx 云 0AX(M S 寸 I 購w 6>IOSUJUJ(£ S6寸x(p 99SX(M 980 定州SSIVEE9rnX 9cnguf8 寸 00 * g 寸 orM寸rslOT X 寸NOT 179 X 这9 9S