气柜分类及结构

1、气瓶柜分类钢瓶数主要危害性储存状态TYPE 13 CY. (a)2 CY. (b)燃烧性高压气态TYPE 23 CY. (a)2 CY. (b)燃烧性中压液态TYPE 32 CY. (a)腐蚀性/毒性低蒸发压气态TYPE 42 CY. (a)惰性液态TYPE 52 CY. (a)惰性高压气态12项次品名建议厂商项次 品名建议厂商1调压阀Regulator(1)APTECH7真空产生器Vacuum Generator(1)VERIFLO(2)VERIFLO(2)SVT(3)TESCOM8压力表Pressure Gauge(1)MILLIPORE(4)CROWN(2)WIKA2手动阀Manual

2、Valve(1)FUJIKIN9压力传输器Pressure Transducer(1)TEM-TECH(2)VERIFLO(2)MILLIPORE(3)APTECH(3)MKS3气动阀Air Valve(1)FUJIKIN10磅秤Scale(1)MILLIPORE(2)VERIFLO11管材Tube & Pipe(1)KUZE(3)APTECH(2)POLYMOUTH4流量传感器Exceed Flow Sensor(1)SWAGELOK(3)SUMIKIN5过滤器Filter(1)PALL12管接头Fitting(1)FUJIKIN(2)MILLIPORE(2)HAMLET(3)TEM

3、-TECH(3)PARKER6逆止阀Check Valve(1)NUPRO13钢瓶接头Cylinder Connector(1)EWAL(2)FUJIKIN(3)SVT材料使用厂牌G/C TYPE 1G/C TYPE 13(A) Flammable High Pressure Gas Type-1aAccessories：SprinklerIR2 DetectorOver Temperature DetectorDiff. Pressure Gauge/SwitchEmergency Shut-Off Valve AV1L/RShut-BoyHigh-pressure Test Pipes a

4、nd ValvesExcess Flow SwitchPurge N2 Safety Release ValveAuto DamperG/C TYPE 2G/C TYPE 2(B) Flammable Liquid Gas Type-2a(B) Flammable Liquid Gas Type-2aAccessoriesAccessories：SprinklerSprinklerUV/IR DetectorUV/IR DetectorOver Temperature DetectorOver Temperature DetectorDiff. Pressure Gauge/SwitchDif

5、f. Pressure Gauge/SwitchEmergency Shut-Off Valve AV1L/REmergency Shut-Off Valve AV1L/RShut-BoyShut-BoyHigh-pressure Test Pipes and ValvesHigh-pressure Test Pipes and ValvesExcess Flow Switch Excess Flow Switch * *Note 1Note 1Purge N2 Safety Release ValvePurge N2 Safety Release ValveLoad CellLoad Cel

6、lAuto DamperAuto Damper4 G/C TYPE 3G/C TYPE 3(C) Corrosive Liquid Gas Type-3a(C) Corrosive Liquid Gas Type-3aAccessoriesAccessories：Diff. Pressure Gauge/SwitchDiff. Pressure Gauge/SwitchEmergency Shut-Off Valve AV1L/REmergency Shut-Off Valve AV1L/RShut-BoyShut-BoyExcess Flow Switch Excess Flow Switc

7、h * *Note 1Note 1Load CellLoad CellPurge N2 Safety Release ValvePurge N2 Safety Release Valve* *Note 1Note 1：Type3a for WF6 doesType3a for WF6 does not contain excess flow switch EFS1L/R. not contain excess flow switch EFS1L/R.* *Note 2Note 2：Type3b for BCl3 doesType3b for BCl3 does not contain exce

8、ss flow switch EFS1L/R. not contain excess flow switch EFS1L/R.And regulator PRV1L/R.And regulator PRV1L/R.5 Utility (1)管路规格项目内容备注管件主管路：SUS 316L VIM+VAR吹净管路：SUS 316L VIM+VAR抽气管路：SUS 316L VIM+VARInstrument Pipe：Nylon Tube配件主管路 ：Auto-welding butt type Using elbow with welding.吹净管路：Auto-welding butt ty

9、pe Using elbow with welding.抽气管路：Auto-welding butt type Instrument Pipe：Quick Connection.6 Utility (2)衔接规格衔接名称尺寸衔接型式备注Gas Outlet 6.35Metal Gasket (VCR)Purge Gas Inlet 6.35Metal Gasket (VCR)Vent N2 Inlet 6.35Metal Gasket (VCR)VG Vent 9.52Metal Gasket (VCR)Instrument Inlet 4.001/8” PTExhaust of GC 100

10、Short Pipe7 管线/路配置(1)1.一次侧管路(High Pressure)：一般是以钢瓶入口至调压阀这段管路称做一次侧管路，由于这个区段的管路压力最大，因此再与其他部分连接时，应装设逆止阀或调压阀来阻止高压气体进入低压区域，避免损害低压阀件。2.二次侧管路(High Pressure)：制程气体经由调压阀转换成低压状态后再输出至气柜以外的系统（如VMB），这部分称为二次侧管路，主要功能在于管制制程气体的供应，若连接一次侧与二次侧的调压阀失去作用，将会使这部份管路的低压阀件造成损坏，因此在二次侧管路的出口端是采用高压的手动阀以避免输出高压的制程气体。8 管线/路配置(2)3.吹净管路

11、（Purge）：吹净用的N2可分为钢瓶供应或外界供应。在本气瓶柜中，是采用钢瓶提供N2来吹净制程管路，另外，还可分别提供高压或低压的N2气体。由于N2通常仅用于维修或换装新制程钢瓶，且使用量并不大，因此在本气瓶柜还提供N2给其他VMB或气瓶柜使用。4.抽气管路（Vent）：GN2气体经由气动阀VVS管制在通过真空产生器VG，再由废气处理系统的抽气帮浦抽出气柜系统因为真空产生器与抽气帮浦的作用，使VENT管路与制程管路产生极大的压差，进而将纯度较低的制程气体受污染的气体或微尘粒子（Particles）抽离供气管路。9 安全防护装置(1)101.气动阀压力开关主要功能： 侦测气动阀驱动压力注意注意

12、!驱动气源压力不足或过高时，将无法控制器动阀4.差压系统主要功能： 测量阀箱的负压值注意注意!压力不足时，极有可能表示气体泄漏2.过流量检测开关主要功能： 检测钢瓶供气的流量注意注意!气体流量过高，将会损坏阀件5.外部讯号默认功能： 远程EMO、地震讯号、气体泄漏侦测 安全防护装置(2)119.隔离开关主要功能： 控制气瓶柜的电源7.紧急停止系统主要功能： 紧急中断气瓶柜的所有动作注意注意!按下时，仍保留部分侦测用电源8.紧急遮断器主要功能： 系统中断气动阀气源时，关闭钢瓶10.Z-Purge主要功能： 防止制程气体进入控制箱注意注意!压力不足时，泄漏之气体有可能进入控制箱 安全防护装置(3)

13、126.洒水装置主要功能： 扑灭先期火灾与降低火场温度注意注意!禁止使用和水会反应之气体3.火焰侦测器（IR2）主要功能： 侦测钢瓶内部是否有火焰产生注意注意!需另安装消防备用电源 Gas Monitor Integrated SystemTech Present Company IntroductionH/W SolutionS/W Solution13 1. Tech PresentationGMS Networking14 Provide Ethernet switch network as the for communicatingamong SCADA PC , Workstatio

14、n PC , PLC and other devices.Using PLC Ethernet to Connect with GAS Cabinet： -Ethernet ports：Status signal.3. Using DI/O to Connect with GAS Cabinet： -DI/O：shutdown signal.4. Provide SIEMENS PLC Profibus remote I/O to link with VMB/VMP.2. H/W Solution15 SCADA PC：IPC Industrial grade PC with windows

15、2000 platform.2. Control System Unit：Siemens S7-400 PLC with Ethernet and Profibus Link interface.3. Gas Cabinet / VMB linking unit： Ethernet：reading status and value.4. Alarm Panel System.5. OSM RJ-45 Port to link with FMS.3. S/W Solution (1/2)16 Implement SCADA function and exchange data with FMS.

16、 -H/HH Alarm will show on HMI Graphic & Alarm summary if event occur. 1.1 The SCADA system monitor the process, collecting Tag alarm message from the process. 1.2 Filtering and forwarding to related devices such as Alarm panel. 1.3 Maintenance area assignment. 1.4 Enable/Disable alarm function d

17、uring PM period. 1.5 Alarm Filtering. 1.6 Assign critical alarm status to Alarm Panel.3. S/W Solution (2/2)17 2. Dangerous area layout, if relative area gas leakage, also will indicate with flicker light until acknowledge Buzzer And Lamp activate.预防保养(1)18 本GC设计只需极简易的保养即能提供 贵厂整年度无问题之操作，经常执行下列之预防保养，仅

18、需花费少许时间即能延长设备的寿命。电控系统 输入及输出的测试，确认作动讯号正确与否包含下列项目： 1.1 Shut Down：确认输入讯号到盘面可以自动Shut Down。 1.2自动切换：确保适当指定作动点是正确地被设定及确认会产生切换。预防保养(2)19 2. Transducer校正 2.1 Zero校正： 排除管内压力，比较显示数值是否仍落在误差内，否则予以校正。 2.2讯号确认： 确认已存在之讯号有到控制箱及控制室。预防保养(3)20 3.气体盘面系统 3.1执行气体盘面检查应在每次零件更换或每三个月或更频繁次数，盘 面不可因任何原因被移动，最早失效的零件是调压阀、真空产生器 及vent阀，尤其是腐蚀性气体。在每次维修保养期间，检查可能泄 漏或问题点。 3.2检查所有连接钢瓶接头的配件及VCR接头，一个Female VC