《薄膜光学与技术》期末测验试题B答案

1、薄膜光学与技术期末测验试 题B答案1 / 7个人收集整理，勿做商业用途作者:日期:2014-2015学年第1学期薄膜光学与技术期末考试试题（B卷）参考答案及评分标准一、填空题（每空1分，共25分）1、薄膜是指附着于基底，且与基底不同质的非自持性 涂层。2、镀制单层介质薄膜时，第二次看到相同的反射色时的膜层光学厚度是第一次看到相同的反射色时膜层光学厚度的3 倍。3、K9玻璃上的单层 MgF2膜层与单层ZrO2膜层具有相同的反射色调时，MgF2 膜层的光学厚度等于（大于、小于、等于）ZrO2膜层的光学厚度。4、在折射率为3.5的材料表面镀单层减反射膜，材料最佳的折射率为：1.8708。5、周期性对

2、称膜系（pqp）s的等效折射率和基本周期/pqp的等效折射率完全相同，具等效位相厚度等于 基本周期的s倍 。6、按照材料状态不同，一般将薄膜分为 固体薄膜、气体 薄膜和液体薄膜三类。7、Torr和Pa是两个常用来表示真空度的单位，它们较为准确的换算关系为： 1Torr=133.3Pa 。8、镀膜室内真空度高表明气体压强小 、真空度低则气体压强大 。9、由于极值点的判读精度不高，因此常常采用 过正控制、高级次监控 、 预镀监控片等措施来提高极值法监控精度。10、电子枪的e型枪是指电子束 出射后至用端表面的运动方向改变了 270度 。11、请写出常用的三种金属镀膜材料：Au、_Ag_、_jAL 。

3、12、一般镀膜系统测量真空需要两个真空计：热电偶 真空计和 电离 真空计。13、采用光电极值法监控膜厚，监控片为 K9玻璃（折射率为1.52）,如果要镀 制单层ZnS薄膜（折射率为2.35）,监控的第一个透射率极值点应该是极大值还 是极小值：极小佰 。14、能够直接用来抽大气的真空泵是机械泵 。15、热蒸发技术常用的蒸发源有电阻蒸发源 和 电干枪 。二、判断题：先回答以下说法是否正确？然后说明理由或修改正确。（每题4分,共20分）2一1、膜层的有效位相厚度表小为：S= ndcosH,当光波斜入射时，对于s光和 p光而言，要分别代入修正后的折射率值进行运算。答：错误。当光波斜入射时，无论对于s光

4、和p光而言，折射率值均是同一个值。2、采用单半波滤光片结构，获得的通带波形比多半波滤光片更加接近矩形。答：错误。采用多半波滤光片结构，获得的通带波形比单半波滤光片更加接近矩 形。3、一般镀膜设备上需要机械泵和扩散泵组合起来作为真空机组，这主要是因为 双泵组合可以提高抽气速率。答：错误。因为机械泵可以直接抽大气，但极限真空并不高，而扩散泵可以抽到 镀膜所需的真空度，但不能直接抽大气，也不能直接排气到大气，因此镀膜机上 采用双泵组合的方式才能完成抽气过程。4、用于离子辅助镀膜的离子源，有产生离子束的，也有产生等离子体的。潘宁 离子源是一种典型的产生等离子体的离子源。答：错误。潘宁离子源是一种典型的

5、产生离子束的离子源。5、测量镀膜样片的透射率时，将镀膜面向着光源和背对光源测得的结果不同。答：错误。样片的透射率与光的传播方向无关。注：正误回答正确得2分，理由正确得2分。三、问答题（每题5分，共15分）1、什么是单层介质膜层反射率的双重周期性？其周期性的主要特点有哪些？答：单层介质膜的反射率会随着薄膜位相厚度的变化而呈现周期性变化（2分）;当膜厚确定后，随着光波波长的变化，反射率会随之发生周期性变化（2分）。随厚度变化的周期呈现间隔相等， 而随波长变化的周期不等，波长越大，周期越 长。如将波长转化为光波频率，则随频率不同，反射率的周期是等间隔的（1分）。 说明：周期性每正确一点2分，特点回答

6、正确1分。2、试叙述光电极值法监控膜厚的基本原理。答：光通过正在镀膜的比较片时，随着薄膜厚度的增加，比较片的透射率（反射率）会发生周期性的变化，且薄膜光学厚度每变化入/4寸，透射率出现一次极值（3分）。利用光电测光方法测量正在镀制膜层的 T （或R）随膜层厚度增加过程中的极值个数，可以获得以 入/软单位的整数厚度的膜层（2分）。3、影响膜层厚度均匀性的主要因素有哪些？答：蒸发源发射特性，由蒸发源结构、蒸发膜料不同的发射分布特性引起（3分）;蒸发源与被镀件的相对位置；被镀件的面形（2分）。四、计算题（1、2题各10分，第3题20分，共40分）1、已知 nG=1.52,nH =2.3,nL=1.4

7、4,窄带滤光膜系 GHLHLHLHLH2LHLHLHLHA的峰值透射率是多少？解：根据2H或2L为虚设层的特点，膜系可以等效为GHLG结构， （2分）（3分）组合导纳 Y = * nG J" 1.52= 0.5 9 5 8 nH2.32膜系中可以看出，入射介质为空气，因此反射率为2（1 -0.5958）M= = 6.42%11 +0.5958 ）所以，膜系的透射率最终为T = 1 - R = 93.58%（3分）（2分）说明：计算结果正确共4分。如果没有进行分步运算，根据计算情况酌情给分。2、石英玻璃基底上镀制高反膜 G/（HL）5H/A,若镀膜材料为ZnS和MgF2,求峰值反射率和

8、中心波长处反射带的波长宽度？（中心波长500nm； ZnS折射率为 2.15; MgF2 折射率为 1.38;玻璃 ng=1.46）221212解：组合导纳为 丫=（4）5皿='45一 = 266.7582（2分）nLnGnL nG 1.38 1.461 Y c峰值反射率R =（）2 = 98.51 %（2分）1 y波数宽度ig =2arcsin（nH -nL）定 0.14（2 分）二Hh Al波长宽度九之 2%Ag/g2 =2 500 Q14 = 140（nm）（2 分）说明：每个步骤的公式正确各2分，4个计算结果正确共2分。如果没有进行分 步运算，根据计算情况酌情给分。3、图中两条

9、曲线分别是镀有单层ZrO2膜层和镀有单层TiO2膜层的K9 （n=1.52）平板玻璃的实测透过率光谱曲线, 计算ZrO2膜层的折射率和厚度。计算TiO 2膜层的折射率和厚度。ZrO2膜层的两个透过率极小值相等说明了什么？TiO 2膜层的所有透过率极小值均不相等说明了什么？为什么同一膜层的所有透过率极大值都相等？解：计算ZO2Zg的折射率和厚度。(10 分)Ti样片的透射率极小值均为0.78,根据（1 - R1）（1 - R2）T = 1- = 0.781 - R1R2（2分）2Y =!_ ng（2分）Y）11-1.52丫 = 0.0426<1+1.52；（2分）可得n=1.971在800nm波长处，有nd =m-41在600nm波长处，同样有nd=(m + 1)%4（1分）（1分）（1分）一，11于是由 nd =，（m+1）A2 =m，得至U m=3 d=300nm（1 分）44计算TiO 2膜层的折射率和厚度。（7分）由于480nm和780nm极小值不相等，因此分别计算，对于加=780nmTi =0.664,同理可得ni=2.328（2 分）对于心=480nmTi =0.645,同理可得n2=2.390（2 分）1 . 11-八由 n1d =% mn2d =九2