制程检验操作指引

1、苏修订日期修订单号修订内容摘要版次生效日期2009/12/1/系统文件新制定A/02009/12/1批准：审核：罗开春编制：苏岚凤文件发放范围总经理管理者代表管理部制造部物流部品质部市场部财务部声明：盖上受控文件印章方可视为有效。此为泽浩深业科技有限公司内部文件,未经许可不得翻印。目 录1.0 目的-32.0 范围 -33.0 抽样-34.0制程检验规范-34.1钻孔制程检验规范-34.2内层湿膜制程检验规范-54.3外层线路制程检验规范 -74.4电镀制程检验规范-94.5蚀刻制程检验规范-11 4.6阻焊制程检验规范-144.7字符制符检验规范-164.8碳油制程检验规范-184.9喷锡制

2、程检验规范-194.10 化Ni/Au 检验规范 -214.11成型制程检验规范-224.12 开料检验规范-234.13压合制程检验规范-24 4.14 板电制程检验规范-254.15 OSP检验规范-261.0目的:通过对各制程半成品的检验和验证,以保证各工序之半成品质量得到有效地控制,满足本公司或客户的品质要求.2.0检验范围: 各生产制程3.0抽样要求:3.1在本公司生产的板各制程抽样要求参见本规范“4.0制程检验规范”中各项规定.3.2各段制程外协加工板重缺陷按公司抽样检查规定中的AQL0.65进行检查(三个轻缺陷,合一个重缺陷计)。3.3没有规定具体抽样数的IPQA检验点,进行随机

3、抽检。4.0 制程检验规范4.1钻孔制程检验规范: 流程:发料钻孔沉铜 检验标准:项目质量要求检验方法缺点区分板材厚度符合MI要求千分尺MA孔位不允许偏孔红片(绿片)MA孔数不允许多孔、少孔红片(绿片)MA孔型不允许未钻透、孔塞、孔变形、有毛刺目视MA孔壁不允许有腻污放大镜/九孔镜/微切片MA孔内粗糙度： 应30um(除客户要求)孔径及槽的尺寸符合MI要求针规、游标卡尺MA板面无污染、氧化、油污、胶渍目视MI不允许有划伤、凹坑、压痕目视划伤在磨板后可消除MI划伤在磨板后不可消除MA内层孔偏(多层板不充许破坏X-RAYMA检验方式:.1首板检验:a. 责任单位：操作员负责检验、IPQA确认。b.

4、 检验时机: 每连续生产批的开始；工程资料变更时；更换,维修钻机后的首次钻板；新料号。c. 检验数:钻机各钻轴的首次钻板。d. 管制办法:除板面以外的项目全部都以0收1退；首板检验合格后,方可进行批量生产。e. 记录:钻孔首板检验报告.2抽检:a. 检验责任：IPQA。b. 检验时机:转序前。c. 检验数:普通双面板抽样数为每2趟每轴的底板,二钻板及多层板抽样数为每趟每轴的底板。d. 管制办法:主要缺点(MA)：采0收1退；次要缺点(MI)：三个次要缺点折合一个主要缺点；抽检合格该批转序,不合格则由该操作员（或领班）挑选、返工并上报主管，制造工序需将不合格原因查出并改善后方可继续生产。e. 记

5、录：IPQA抽查记录表.3 巡检：a. 操作员每趟板需针对每个钻轴的底板进行检查。b. 发现问题及时修正，并对之前生产的板进行追溯直至将不合格品全部检出为止。 记录.1钻孔首板检验报告 .2IPQA抽查记录表 4.2内层湿膜制程检验规范：流程: 发料内层湿膜蚀刻。 判定标准:(Major- MA:代表重缺陷，Minor- MI:代表轻缺陷)检验项目检验标准检验频率检验方法缺点区分线宽工作底片10%a:首板b:最少3PNL/料号/班百倍镜MA线距工作底片10%a:首板b:最少3PNL/料号/班百倍镜MA缺口线宽的10%巡检百倍锐MA凸位线宽的10%巡检百倍镜MA对称性两个内层线路的位置偏差0.0

6、5mm首板百倍镜MA锯齿深度线宽20%、长度（总长度的10%；13mm 取最小值）巡检百倍镜MA铜面刮伤不露基材，不影响线宽巡检目视MI开、短路不允许巡检目视MA露铜不允许巡检目视MA残胶、显影不净不允许巡检目视MA修理不良不允许有修理不良 修理符合以上各项要求巡检目视MI擦花不允许巡检目视MA靶位完整、清晰巡检目视MA 检验方式:.1 首板检验：a. 检验责任: 线路QC负责检验、IPQA监控。b. 检验时机:每一连续生产批、工程资料变更、生产设备变更,维修、新料号。c. 检验数：开始生产前最少3片。d. 管制办法:首板合格之后方可进行批量生产。e. 记录:线路首板检验报告.2 巡检。a.

7、检验责任：线路QC。b. 检验时机、数量：在显影口进行巡检。 记录.1线路首板检验报告 4.3 外层制程检验规范： 流程:全板电外层图形电镀 检验标准: (Major- MA:代表重缺陷，Minor- MI:代表轻缺陷)检验项目检验标准检验方法检验频率缺点区分开短路不允许目 视全检MA线宽偏差小于0.01mm百倍镜a:首板b:最少3PNL/料号/班MA线距偏差小于工作底片10%百倍镜a:首板b:最少3PNL/料号/班MA缺口不允许大于线宽的20%百倍镜全检MA凸位线宽的20%百倍镜全检MA焊环0.1mm百倍镜a:首板b:最少3PNL/料号/班MA对称性两层线路的位置偏差0.05mm目 视百倍镜

8、全检MA残胶、垃圾不允许目 视全检MA露铜不允许目 视全检MA线面刮伤不导致露铜目 视全检MA铜面划伤不露基材和不影响线宽目 视全检MI锯齿深度小于线宽的10%，且长度小于线宽的5倍目 视百倍镜全检MA标记标记与MI一致；周期更改符合MI要求目 视全检MA 检验方式。4.3.3.1 首板检验：a. 检验责任:线路QC负责检验、IPQA监控。b. 检验时机:每一连续生产批；工程资料变更；生产设备变更,维修 ，新料号。c. 检验数：开始生产前最少3片d. 管制办法:首板合格之后方可进行批量生产。e. 记录:线路首板检验报告.2 全检a. 检验责任：线路QC。b. 检验时机，数量：显影后的板100%

9、检验。c. 管制办法:检验合格以一张工作卡管制数为一批交付IPQA确认。记录 .1线路首板检验报告 4.4 电镀制程检验规范 流程：沉铜 电镀（板电） 外层线路 蚀刻；阻焊 表面处理文字检验标准检验项目质量要求检验工具缺点区分图形电镀后孔铜厚度(SC)18-40um孔内铜厚测试仪或切片厚度小于25um，或厚度影响孔径时MA非汽车板厚度在20 um，上限而未影响孔径时MI板电铜厚3-8um孔内铜厚测试仪或切片MA注:客户没有镀层厚度要求时,或客户要求与上述金度镀层厚度要求一致时,按本规范中规定的质量要求执行。客户有要求时，则必须符合客户厚度要求。检验方式：.1电流与镀层厚度的确认：a. 责任单位

10、：物理实验室。b. 检验时机：新料号的板正式批量电镀生产前。c. 检验数：由制造部送交的左、中、右位置3PNL板。d. 管制办法：对制造部提供样板进行镀层厚度测量,如果合格且确认电流合理则在经工艺签字确认的电流指示上签字。不合格则通知制造部重新试做，直至确认合格，不合格试样报QA主管处理。.2镀层厚度的在线测量。a. 责任单位:物理实验室。b. 检验时机:批量生产时,每缸测试3PNL，每PNL至少测试1点。c. 管制办法:合格则继续生产,发现不合格立即改善,必要时停工改善 相关记录：.1电镀铜厚检测报告 4.5蚀刻制程检验规范流程:图形电镀蚀刻阻焊检验标准(Major- MA:代表重缺陷，Mi

11、nor- MI:代表轻缺陷)项目质量要求检验工具检验频率 缺点区分开短路不允许目 视全检MA线宽锡板偏差不超过设计线宽的20%；金板则因侧蚀而造成金镍镀层下的铜层宽度减少不超过设计线宽的20%，线宽和蚀刻系数标准两者取决于对线路影响较小者。百倍镜金相显微镜a:首板b:最少3PNL/料号/班MA侧蚀用3M 600#胶带朝着90度垂直方向拉扯线路,不允许有掉金或线路上金镍镀层起翘的现象,且做蚀刻系数切片,要求蚀刻系数在2.0以上（附图一）。3M 600#胶带金相显微镜a:首板b: 最少3PNL/料号/班MA线距偏差不超过设计线宽的20%百倍镜a:首板b: 最少3PNL/料号/班MA线路缺口每条线不

12、超过3个且符合线宽要求（附图二）目视、百倍镜全检MI凸位不超过设计线宽的20%，且符合线距要求目视、百倍镜全检MI蚀板不净不允许在有效板内目 视全检MA针孔金手指上:针孔小于0.1mm,不得露铜、镍,不得出现在金手指中间部位3/5的范围内.每个手指1PCS板上不得超过2个。线路上：针孔不影响线宽要求，同一线路上不可超过3个.目视、百倍镜全检MA线路扭曲、刮伤不允许目 视全检MA板允许有轻微刮伤,但需后工序磨板处理时去除目 视全检MI金板不允许有刮伤目 视全检MA环宽环宽不小于0.1mm,与线路连接部分的环宽因偏位而减少不小于线宽80%;目 视a:首板b: 最少3PNL/料号/班MA金属化孔1、

13、 孔内清洁,无任何杂物。2、 孔壁不可有无铜现象3、 孔内不得有铜渣4、 不得有使孔径减少超过孔径公差的毛刺、镀瘤等，5、 不得塞孔6、 孔内空穴不能多于1个，且其任意方向尺寸5%孔厚或90圆环，有空穴孔的个数5%总孔数。目视放大镜针规全检MA非金属化孔孔内不得留有金属镀层目 视全检MA铜面不允许有退锡不净,氧化、粗糙、烧焦现象.目 视全检MI基材表面不允许有晕圈、分层、起泡现象 。目 视全检MA外来夹杂物可视夹杂物为不导电体长度小于0.75mm,且夹杂物的宽度不导致线路间距超过规定的偏差。目视、百倍镜全检MI板材LOGO与MI 板材供应商要求一致；颜色（黄料或白料）相符。目 视全检MA铜丝无

14、铜丝目视/AOI全检MA孔内铜粒导通孔内铜粒，不可遮挡孔的三分之一面积，对于插件孔，不影响孔径可接受。目 视全检MA标记不清蚀刻标志的线条宽度不少于线宽要求的50%，但可读，允许有些线路破损，但尚可辨认。目 视全检MA内层杂物透明或半透明的外来物是允许的，其它杂物满足以下条件可接受：a.杂物与任一导线的间距符合最小间距要求，若最小间距未作规定，最小间距应为0.13mm。b.杂物最大尺寸0.8mm。目 视全检MA白点受白点影响的面积不超过单元面积的5%，且线间白点不应超过间距的70%。目 视全检MI露布纹纤维显露之处与线路之距离不低于MI规定的最小间距要求。目 视全检MA 检验方式.1 首板检验

15、a. 检验时机：每一连续生产批；工程资料变更；生产设备更换、维修；新料号b. 检验责任：蚀检QC、IPQA监控。c. 检验数:开始生产前最少3片d. 管制办法:首板合格后方可进行批量生产e. 记录：蚀刻首板检验报告 .2 全检a. 检验责任:蚀刻QC。b. 检验条件、数量:所有蚀刻板100%全检。c. 管制办法:检验合格以一张工作卡管制数为一批交付IPQA确认。 记录 .1 蚀刻首板检验报告 附图： 附图 一：蚀刻系数的计算方法:蚀刻系数=V/X 照像底版上的导线宽度 附图二：线路缺口abcdwe aW/S, b2mm,c2mm, d2mm,eW/S4.6阻焊制程检验规范检验项目检验标准检验方

16、法缺点区分绿油上焊盘SMD按键位阻焊上盘10%目视、百倍镜MA露铜不允许目 视MA绿油进孔1、 不允许进插件孔；2、 进非电镀孔不能影响孔径。目 视MA绿油底氧化不允许目 视MA绿油针孔不允许目 视MI绿油起泡最大尺寸0.25mm允许每面2个，但不能使线路或焊盘桥接。目 视MA显影不净不允许目 视MA绿油划伤宽度0.05 mm 长度10mm,每PCS不多于2条.每PNL不多于3条. 目 视MI绿油剥离不允许3M600#胶带MA绿油上金手指不允许目 视MA绿油不均不允许目 视MA色泽不一致不允许目 视MA塞孔不足不允许目 视MI塞孔凸起不允许目 视MI绿油下杂物或手指印、污点不允许目 视MI显影

17、过度不允许目 视MA绿油起皱不允许目 视MI绿油偏移节距1.25mm只能一侧上Pad，且0.05mm；节距1.25mm只能一侧上Pad，且0.025mm；BGA位不能上绿油百倍镜MA塞错孔不允许目 视MA绿油桥完整,无残缺、剥离目 视MA漏印不允许目 视MA标记标记与MI一致；周期更改符合MI要求目 视MA油墨类型颜色、油墨类型与MI要求一致目视核对MIMA流程:蚀刻阻焊字符检验标准:4.6.3检验方式:4.6.3.1首板检验：a. 检验责任：阻焊QC负责检验、IPQA监控。b. 检验时机:每一连续生产批；工程资料变更；重要生产设备变更、维修、调整；新料号。c. 检验数:开始生产前最少3片.d

18、. 管制办法:首板检合格之后方可进行批量生产。e. 记录:阻焊首板检验报告.2全检a. 检验责任：阻焊QC。b. 检验时机、数量：对显影后的阻焊板进行 100%全检。c. 管制办法：检验合格品以一张工作卡管制数为一批交付IPQA确认。记录:.1IPQA抽查记录 4.7字符制程检验规范流程:阻焊字符喷锡（或：镀金手指、成型） 或：喷锡（或化Ni/Au）字符成型检验标准:检验项目检验标准检验方法缺点区分字符内容完整、无误、不得印反目 视MA宽度不均匀不允许目 视MA字符模糊不允许目 视MA重影不允许目 视MA偏位不允许上焊盘的10%以上百倍镜MA字符入孔不允许目 视MA字符剥离不允许3M600#胶

19、带MA油墨沾污板面不允许目 视MA标记标记与MI一致；周期更改符合MI要求目 视MA字符类型颜色、油墨类型与MI要求一致目视核对MIMA检验方式:.1首板检验a.检验责任:字符员工、目检字符QC确认检查。b. 检验时机:每一连续生产批；工程资料变更；重要生产设备变更；新料号。c.检验数:开始生产前最少3片;管制办法:首板合格之后方可进行批量生产a. 记录:字符首板检验报告.2 抽检a. 检验责任:字符QCb. 检验时机：转序前c. 检验数量: 随机抽样，抽样数不少于生产批的10%d. 管制办法:主要缺陷(MA)采0收1退次要缺陷(MI)以3个次要缺陷折1个主要缺陷计；抽检合格时继续生产，不合格

20、由相关单位挑选、改善后方可继续生产，定位缺陷还应由制造部对该抽查时段印刷的板进行全检，由制造对不合格进行返工处理。 记录.1字符首板检验报告 4.8碳油制程检验规范检验项目检验标准检验方法缺点区分丝印偏位不允许目 视MA露铜、金不允许目 视MA碳油剥离不允许目视、3M600#胶带MA碳油阻值符合MI要求用万用表测量MA碳油增宽偏差不能超过设计间距的20%目视、十倍镜MA碳油针孔不允许目 视MI碳油短路不允许目 视MA碳油类型与MI要求一致目视核对MIMA 流程:字符碳油成型（或绿油碳油字符；成型碳油蓝胶） 检验标准: 检验方式:.1 首板检验:a. 检验责任:操作员工自检、字符QC确认检查。b

21、. 检验时机：每一连续生产批；工程资料变更；重要生产设备变更c. 检验数:开始生产前最少3片。d. 管制办法:首板合格后可进行批量生产。e. 记录:碳油首板检验报告。.2 抽检a. 检验责任:字符QC。b. 检验时机：转序前。c. 数量: 随机抽样，抽样数不少于生产批的10%。d. 管制方法:主要缺陷(MA)采0收1退；次要缺陷(MI)以3个次要缺陷折一个主要缺陷计；抽检合格时继续生产,不合格由相关单位挑选、改善后方可继续生产,定位缺陷还应由制造部对该抽查时段印刷的板进行全检,由制造部对不合格进行返工处理。4.9 喷锡制程检验规范流程:阻焊喷锡文字（或：成型）检验标准:检验项目检验标准检验方法

22、缺点区分孔内锡厚上限:不影响孔径针规MA锡面发黑不允许目视MA锡面发白不允许目视MI锡面粗糙不允许目视MI锡面不平整或不均匀不允许目视MI线路上锡不允许目视MA金手指上锡不允许目视MA塞 孔不允许目视MA开短路不允许目视MA锡须不允许目视MI锡高不允许目视MI孔小不允许目视MA露铜不允许目视MA刮伤不允许伤及阻焊层或线路目视MA折板不允许目视MA基材分层不允许目视MA绿油起泡不允许3M600#胶带MA孔内锡渣不允许目视MA光点不能有锡高、不圆、亚光目视MA检验方式: 抽检.1检验责任:IPQA.2检验时机:每一张工卡管制产品数经全检,合格需转序时.3检验数:交验批的20%。.4管制办法:主要缺

23、陷(MA)采0收1退；次要缺陷(MI)以3个次要缺陷折1个主要缺陷计,抽检合格时,该批转序,不合格则退回喷锡QC返工；记录:.1IPQA抽查记录 4.10 化Ni/Au检验规范流程：阻焊化Ni/Au字符。检验标准:检验项目检 验 标 准检 验 方 法缺点区分金厚(SC)不低于MI要求,客户无要求时必须 0.03 um切片或X-Ray测试MA镍厚(SC)不低于MI要求,客户无要求时,金手指镍厚5um切片或X-Ray测试MA镀层结合力不允许铜、镍、金各层之间有分层3M600#胶带测试MA露铜不允许百倍镜MA磨痕磨痕不能过于深刻，要求磨痕均匀一致，且不能将与金手指相邻的阻焊层磨掉。目 视MA渗镀影响

24、间距不能超出最小接受值目 视MA氧化变色不允许目 视MA脏污不允许目 视MI镀瘤及粗糙不允许目 视MA起泡不允许目 视MA针孔不允许目 视MA色泽要求金面呈金本色且色泽一致，不允许金面发白。目 视MA掉油不允许3M600#胶带测试MA擦花不允许露铜、露镍。目 视MA检验方式:.1首板检验a. 检验责任:物理实验室。b. 检验时机: 每一种新料号的批量生产；工艺条件的改变。c. 由工艺经初步确认后送交最少3片样板。d. 管制办法:首板检验合格,方可批量生产;不合格则通知工艺重新试板直至合格,不合格试样板报QA主管处理。e. 检验记录:化Ni/Au首板检验报告.2在线检验:a. 责任单位:在线QC

25、b. 检验时机:批量生产时连续自检，并区分不合格品。c. 管制办法:合格则继续生产,不合格立即改善。必要时,停工改善。记录 .1化Ni/Au首板检验报告 4.11成型制程检验规范项目质量要求检验办法缺点区分尺寸(SC)符合MI要求游标卡尺MAV-CUT1、 尺寸、角度符合MI要求2、 上、下对准度0.1mm刻度放大镜MA3、 不能有漏V-Cut、V-Cut不到头、伤线路、发白、毛刺、深浅不一目 视MA倒角角度符合MI要求刻度放大镜MA刮伤不允许目 视MA折伤不允许目 视MA板角损伤不允许目 视MA金手指斜边斜边深度和角度符合MI要求刻度放大镜MA板边不允许发白、粗糙或锯齿、未锣透、损伤、尘屑等

26、目 视MA板面无油渍、胶渍、灰尘目 视MI铣槽不能有灰尘、烧焦痕迹、凹凸、位置偏移目视、游标卡尺MAV-Cut防呆线不能有未割断现象目 视MI冲板不允许有冲偏、毛刺、未冲透、冲反、压伤现象目视MA流程:喷锡成型清洗 或:字符成型清洗检验标准:检验方式:.1首板检验a. 检验责任:成型操作员或领班负责检验、IPQA监控。b. 检验时机: 新料号；每个连续生产批的开始；设备维修、断电或新安装,调整后的首次生产板；工程资料变更时。c. 检验数: 铣床首次铣板的每个头的底板和面板（包括对外观和外形的检验）；d. 记录:外形尺寸检验报告.2抽检:a. 责任单位:IPQAb. 检验时机: 每批量卡c. 检

27、验数: 铣床每机每2趟板抽底板检查。d. 管制办法:主要缺点（MA）:采0收1退；次要缺点（MI）：三个次要缺点折合一个主要缺点计之；抽检合格则继续批量生产，抽检不合格由相关单位挑选、改善后方可批量生产，并上报QA主管，定位缺陷或公差尺寸有偏差时，还应由制造部对该抽查时段所加工的板进行全检。a. 发现问题及时修正，并对之前生产的板进行追溯直至将不合格品全部检出为止记录.1外形尺寸检测报告 4.12 开料制程的检验流程：发料开料钻孔检验标准:项 目质量要求检验方法缺点区分板材厚度(SC)符合MI要求千分尺MA钢箔厚度符合MI要求铜箔测厚仪MA板面无污染、氧化、油污、胶渍目 视MI不允许有划伤、凹

28、坑、压痕目 视划伤磨板后可消除MI划伤在磨板后不可消除MA开料尺寸MI要求尺寸1mm钢直尺MI板边缘光滑，无毛刺目 视MI经纬方向多层板经纬方向要一致，不同时必须切角分开目视MA板材类型符合MI要求目视核对MIMA检验方式.1开料前抽检a. 责任单位：开料操作员或领班。b. 检验时机:每连续生产批开料前板料；工程资料变更时；交接班时。c. 检验数:每批开料前的最少3片。d. 管制办法:抽检合格后,方可进行批量生产。4.13压合制程检验规范（压合回转后检验）流程:棕化叠板压合打靶检验检验标准:项目质量要求检验方法缺点区分凹坑/针孔直径0.13mm单面不得超过3点、0.130.25mm不允许目视、

29、百倍镜MA砂孔同上目视、百倍镜MA划伤不能有手感的划伤目视、手感MA铜箔起泡、起皱不允许目视、MA板角起翘(分层)不允许 目视MA靶位许偏移不允许超过0.05mm放大镜；X-ray检测仪MA白斑不允许伸入有效单元目视、撕板角MA压合厚度(SC)符合客户及MI要求千分尺MA介质层厚度(阻抗板)符合客户及MI要求金相显微镜MA检验方式.1 内层芯板抽检a. 检验责任:压合操作员。b. 检验时机:每一连续生产批；工程资料变更.c. 抽样数:生产批的5%。d. 管制办法:确认芯板厚度与MI相符方可进行批量生产.2全检d. 检验责任：层压QC。e. 检验时机、数量：对层压分板后的层压板进行 100%全检。a. 管制办法：检验合格品以一张工作卡管制数为一批交付IPQA抽检。.3 抽查：a.检验责任： IPQA b.检验时机：每张工卡数经层压QC全检合格后。 c.检验数量：按生产批的20%进行抽检。 d.管制办法：重缺陷（MA）0收1退，轻缺陷（MI）3个轻缺陷折成1个重缺陷计。抽查合格后，该批转序，不合格退回棕化返工。e.记录：IPQA抽查记录 4.13.4记录：IPQA抽查记录4.14 板电检验规范流程：PTH整板电镀图形转移检验项目检验标准检验方法缺点区分