国立中央大学光电中心

1、國立中央大學光電中心HDP 高密度電漿蝕刻機911021使用規範一、目的：為維持本實驗室正常運作且發揮其最大功能，特訂定此管理辦法，供使用者依循。二、設備指導教授： 電機所 辛裕明教授儀器負責人：電機所 博生楊世丞、碩生張佳彥設備型號：Nextral 860L TC300三、使用者等級及權限：各級使用者權限使 用 者 權 限A級使用者1. 訓練B、T級使用者之權利義務2. 具有Process Engineer之權限3. 開發新製程recipe4. 協助儀器負責人進行機台maintainB級使用者1. 訓練T級使用者之權利義務2. 具有Operator之權限T級使用者須有合格使用者陪同，始可操作

2、儀器各級使用者門禁分級ABT高級中級初級.四、訓練申請須知等級考核流程：1. A級使用者：j填寫C表k審核l資格考m廠務訓練2. B級使用者：jT級使用者k訓練l資格考3. T級使用者：審核訓練申請說明：凡每位欲成為合格使用者必須先通過微光電實驗室潔淨台操作資格考方可提出訓練申請表，申請表格同微光電實驗室之B表，並依規定詳實填寫。B表簽名流程如下: j指導教授簽名k行政助理蓋章l儀器負責人簽名m正式累積訓練紀錄n完成訓練後請訓練員簽名(訓練員請自行安排)o檢定員考核並簽名（檢定員由儀器負責人指定）。 測試結果，將由儀器檢定員當場告知或行政助理發函告知。訓練流程：若使用過程有嚴重失誤行為，除依”

3、相關規定及懲處”外，該次失誤操作(含)之前的操作與訓練次數不計入考核計算，必須重新計算。1. A級使用者：jB級使用者k至少達到12次B級(3個月內統計)實際上機操作才能申請A級使用者的操作訓練課程，經過至少5次以上的A級操作的訓練課程(由訓練員決定訓練次數，但至少5次，須有訓練員簽名，並在使用紀錄簿上登記）l提出資格考申請m 儀器負責人：將所有考核內容呈報設備指導教授核准。2. B級使用者：jT級使用者k至少達到6次(二個月內統計)實際上機操作(須有合格使用者陪同)，不含3次以上B級操作的訓練課程(由訓練員決定訓練次數，但至少3次，須有訓練員簽名，並在使用紀錄簿上登記）l提出資格考申請 m

4、儀器負責人：最後依所有考核內容核准，並報知設備指導教授。3. T級使用者：無。考核標準：級 別考 核 內 容A級使用者jB級使用次數達12次以上(三個月內)(每日最多累計2次)kA級筆試l口試m廠務訓練合格B級使用者jT級使用次數達6次以上(二個月內) (每日最多累計2次)kB級筆試l口試T級使用者已通過潔淨台資格考，並填寫B表和儀器操作訓練紀錄表人員定義：訓練員：具有合格使用資格者。檢定員：由儀器負責人指定已具合格使用資格者。合格者須知：合格使用者名單公告在儀器設備記錄本及輪值排班表上。通過檢定之使用者若於三個月內未申請操作則自動降一級使用資格，上機時間則重新累計。若因故被取消使用資格，則須

5、再通過考核，才可恢復使用資格。五、預約規定說明每天開放預約時段：星期Mon-SatMon- SatMon-Sat(Mon除外)Mon-Sat(Mon除外)Mon-FriMon-Fri時12301330-15301530-18001800-20302030-2300 一天須做兩個以上時段者，須於使用時段結束後始可預約下一個時段 機台維護時間，每星期一13:3018:00，請避開預約預約與取消預約：1.合格使用者須在使用時段前完成預約。2.超時段使用者需在16:00前至辦公室內填寫”超時段預約紀錄簿”。3.日間取消預約請在原預約使用時間30分鐘前完成。4.夜間取消預約

6、請在16:00以前完成。六、收費標準：收費項目自行操作委託操作HDP Etcher5000元/時未滿一個小時以一個小時計算，使用時間以使用者登入與登出系統的時間記錄為依據。 七、相關規定及懲處：1. 本設備如有特別需求者可與管理者反應，經提報設備負責人同意後執行。2. 每一位使用者初次使用前，必須詳細閱讀此管理辦法，並於申請表(B表)上簽名同意後方可提出訓練申請。3. 樣品材料規範l 蝕刻材料：GaAs, InP及GaN。l Mask材料：光阻、SiOx、SiNx2及PMMA為主。(不允許用任何金屬當mask)l Wafer本身須完全清潔始可置入，不可有任何會污染Chamber之沾染物。l 特

7、殊材料須經由開會決定實驗可否。4. 將未授權之Wafer或Mask材料進行實驗者，取消使用資格，並永久不得取得儀器使用資格。5. 將使用者密碼任意告知他人者，取消使用資格，並在四週內不得取得儀器使用資格。6. 合格使用者若私下授與門禁卡而操作者，取消兩者之使用資格。7. 實驗進行中時，操作者未在微光電實驗室內者，一律停權兩週。8. 製程完成後，未依規定執行Chamber Clean動作、關閉EPD (End Point Detector)、或登出者，停權兩週。9. 使用者預約時段之前無人使用可先提早半個小時使用，且使用時間最多不可超過使用時段半個小時，若有另一使用者已預約該時段則有權令其停止使用。10. 未經許可私自帶走本實驗室任何物品者，停權兩週。11. 每次製程必須登記使用記錄簿並依規定儲存所有的製程資料，未依規定使用者停權兩週。12. 機台異常，請詳細紀錄異常狀況與初步應變措施於維修紀錄本中，並盡快通知管理者處理，若因延遲申報造成機台損毀，視為該使用者之責任並承擔。13. 使用者必須遵守操作規範（如操作手則），非關正常操作機台的一切行為一概禁止，如有不當使用之行為經發現將停權一週，若有毀損儀器將負修理賠償責任取消該使用者資格並提報指導教授。14. 製程完成後，必須遵守HDP使用規範完成整個製程步驟，若有違反，停權兩週。15