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文档简介
1、奥林巴斯半导体显微镜奥林巴斯半导体显微镜系统简介:在半导体器件制造中,电子电路的生产都是基于晶圆这种原材料。晶圆的晶体缺陷或夹杂都可能造成器件报废,因此对原材料的质量控制非常重要。为了检测直径达 300mm 的整个晶圆,具有处理大样品能力的光学显微镜必不可少。在不同生产阶段中的质量控制包括监测沉积、蚀刻以及光刻工艺的效率以及测定薄膜厚度。奥林巴斯半导体显微镜产品参数:观察方法 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光反射/透射 反射/透射照明装置 6单元转台切换照明系统反射照明100 W卤素/100 W水银/75 W氙 透射照明100 W卤素对焦单元电
2、动/手动手动物镜转换器上下移动式(载物台固定式) 微调灵敏度微调旋钮转动1周移动0.1 mm奥林巴斯半导体显微镜: 奥林巴斯半导体金相显微镜GX71 奥林巴斯半导体金相显微镜BX53M奥林巴斯金相显微镜_倒置显微镜_半导体显微镜_GX71金相显微镜奥林巴斯倒置金相显微镜GX71是可实现明视野、暗视野、微分干涉、简易偏光、荧光(U-G激发)观察的最高级倒置金相显微镜。有26.5的超宽视野、最多可同时接3台影像系统,目视、数字图像存储一应俱全的产品。1、图像鲜明度和优异的分辨率可以从不同的用途和倍率中,选择符合客户目的的UIS2物镜。来自波像差控制的高品质、逼真的中性色彩显示等,从目视观
3、察到数码影像,UIS2物镜发挥着优异的性能。 2、内置变倍器本体内置变倍器,可以轻松放大,从而获得检查、观察所需要的放大倍率。 3、各种成像技术,操作更为简便舒适奥林巴斯倒置金相显微镜GX71可以通过切换云台,容易的进行明视场观察、暗视场观察、微分干涉观察、简易偏振光观察和荧光(UG激励)观察。4、自动化提高研究和检查效率电动物镜转换器可以切换物镜,电动云台(镜子单元)能切换从明视场观察到荧光观察的多种观察方法,电动滤镜转轮使照明的切换等可由近在咫尺的手控开关和电脑完成。这些特长进一步提高了操作性,便于集中观察。可以按照需要自由组合电动单元。GX71以其优异的光学性能、创新的技术、完善的功能、
4、强大的扩展能力,简便的操作为材料科学研究提供极大便利。针对数字化应用,提供多至3个光路出口,同时可配备电动平台、电动光路切换等附件,为自动化检测分析提供完整的解决方案。日本奥林巴斯金相显微镜_半导体正置显微镜_BX53M高级的显微观察 便捷的显微操作奥林巴斯推出新一代工业金相显微镜BX53MBX53M系列采用了模块化设计,为广泛的材料学和工业应用提供了多样化的解决方案。BX53M改进了与奥林巴斯Stream软件的集成性,从而为常规显微镜检查和数码成像用户提供了从观察到报告创建的无缝工作流程。BX53M根据工业和材料学的不用应用,可以组合成反射显微镜、透反射显微镜、红外显微镜、偏光显微镜等多种应
5、用的显微镜。直观的显微镜控制舒适而便于使用显微检查任务常常需要用很长的时间来调节显微镜设置、获取图像,以及进行必要的测量,从而得到令人满意的报告。BX53M通过其优良的设计和便捷的控制功能,简化了复杂的显微检查任务。用户不需要长时间的培训即可掌握显微镜的大多数功能。BX53M方便而舒适的操作还改善了图像的再现性,最大程度减少了人为错误。编码硬件:很容易恢复显微镜设置BX53M采用了新的编码功能,将显微镜的硬件设置与奥林巴斯Stream图像分析软件整合在一起。观察方法、照明强度和物镜位置全都记录在软件和/或手动控制器里。编码功能使显微镜设置能够与每幅图像一起自动保存,从而使此后还原设置,以及为报表提供文档记录更加方便。既节省了操作者的时间,又最大程度减小了使用不正确设置的概率。当前的观察设置总是清晰地显示在手动控制器和软件上。先进的成像BX53M保留了常规显微镜检查的传统衬度对比法,比如明场、
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