真空退火炉工安全技术操作规程_第1页
真空退火炉工安全技术操作规程_第2页
真空退火炉工安全技术操作规程_第3页
真空退火炉工安全技术操作规程_第4页
免费预览已结束，剩余1页可下载查看

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、FS 精编操作规程 | OPERATING PROCEDURES编号：SM-ZD-92522真空退火炉工安全技术操作规程Through the process agreement to achieve a unified action policy for different people, so as tocoordinate action, reduce blindness, and make the work orderly.编制：审核：批准：本文档下载后可任意修改真空退火炉工安全技术操作规程简介：该规程资料适用于公司或组织通过合理化地制定计划，达成上下级或不同的人员 之间形成统一的行动

2、方针，明确执行目标，工作内容，执行方式，执行进度，从而使整 体计划目标统一，行动协调，过程有条不紊。文档可直接下载或修改，使用时请详细阅 读内容。1 .先送水源，检查水源是否畅通，水压p >0.lMPa,否则不 准开炉。2 .合上总电源，再合上操作电源1 .开机械泵，分别打开1号、2号闸门2 .合上真空计总电源，接通热电偶电源，调整好加热电流(电流调为128A)测量真空度。电流为22mA 时真空度为10-1Torr(13.3Pa);电流为84mA时真空度为10-2Torr(1.33Pa);电流为98mA 时真空度为10-3Torr(0.133Pa);电流为100mA 时真空度为10-4T

3、orr(0.0133Pa)。5 .真空度高于1.33Pa以后，打开3号真空阀，使扩散泵内 的真空度也达到1.33Pa以上。6 .扩散泵送电加热，约40min以后,泵油加热蒸发，这时关 闭2号真空阀然后再打开高真空阀。7 .真空度高于0.133Pa后关闭“热电偶电源”，打开“电 离计电源”，用电离计测量真空度。8 .把电子电位差计的定针调到要求的温度值，把“ PID”调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%150%,积分时间为 62.5min,微分时间为 54min)9 .把电路电源“手动给定”旋钮调到最小，开关打到“自动”位置把“PID”调节器的“手动”调到最小，开关打到“手 动”位

4、置，并接通“ PID”电源。10 .电炉送电，调整“PID”的“手动”，使三相电流表的输 由指示基本均衡在 3070A o11 .待炉温接近给定值时，把“PID”的炉温控制从“手动” 打到“自动”以便进行自动控制。12 .保温时间满足要求后，如工艺要求随炉冷却，可关闭电 炉电源。如工艺要求控制冷却 ，即把“ PID”由“自动”打到 “手动”，靠“手动”调节冷却。13 .350 C以上不准关闭水源和真空系统，关闭扩散泵时 必须首先关闭高真空阀，然后关闭3号真空阀，打开2号真空 阀。14 .关闭机械泵时，先关闭2号真空阀，再关闭电源。15 .炉温高于150 C时，不准放气和打开炉盖。16 .工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程不准脱离岗位，经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 备课教案

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论