无尘室环境检测标准

1、1. 目的规范无尘室内环境检测方法及判定作业。2. 范围适用于公司所有无尘室的环境检测作业。3.职责 3.1 无尘室管事部: 负责无尘室的定期检测及检测数据的统计分析,无尘室检测异常的提出。3.2 生产部: 负责对无尘室的日常维护及保养。3.3 机电部:负责无尘室高效及低效过滤网的更换及维修。3.4设备部：负责无尘室的定期保养,新过滤网的请购。4.内容4.1 无尘室落尘检测：4.1.1 静态检测: 生产设备安装完毕,且正常运行但无人员工作状态下检测。4.1.2 动态检测: 生产设备安装完毕正常运行,且工作人员正常工作状态下检测。 4.2检测周期: 无尘室2次/周。作业面区域2次/周，FFU过滤

2、网检测1次/年度，生产依据检测排查结果，开出工程需求申请单，请购滤网进行更换。 注：CCM及三星专线无尘车间为每日点检。4.3无尘车间人数规定，按每3m²最多只能容纳1人计算；比如：100m²的车间，最多只能容纳33人, 每天进入无尘车间人员需做清点及统计，并记录于无尘室人数点检表中，超出空间限制人 员数量时应由无尘室管理禁止及进入。(参考国标GB 50073-2001) 。4.4 检测方式:4.4.1 检测时使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器。4.4.2测量时位于工作区的高度(距离地面高度约0.8m)处进行检测。4.4.3测量时间最少为1min。4.5 检测异常处

3、理： 灰尘度检测人员对检测结果进行判定，如检测结果超出标准，无尘室管理部开出无尘室检测异常联络单，要求产线和相关部门进行改善，改善后再进行生产。 4.6 检测方法要求：参考： ISO 14644-1/2 NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom 4.6.2洁净室的测试点以不少于总面积开平方根的数量来均匀划分。 （例如：1000平米车间至少需32个检测点）4.6.3取样量为每分钟1个立方英尺,取样时间为一分钟。 在每个点的中心最小取一分钟，高度在0.8米左右. （靠近人员实际作业区域）当有障碍物时采样点放在障碍物12

4、英寸上面4.7 检测等级判定：4.7.1本司检测设备检测量为2.83L/min(即0.1ft/min)。4.7.2 依据FS-209E/GB50073-2001标准进行检测判定,即1ft的空间里面含有0.5um 落尘的数量即为多少等级,也可依1m³空间来计算,换算公式为1 m³=1000L。 例: 现设备检测1min, 0.5um的落尘显示数值为87。即为: 在0.1ft空间内有87个0.5um的落尘=1ft空间内有870个0.5um的落尘。依标准判定无尘室等级为870级。4.7.3 FS-209E标准的空气中悬浮粒子洁净度等级(ft & m³比对表)等级

5、标准等级限制0.1um0.2um0.3um0.5um5um容积单位容积单位容积单位容积单位容积单位m³Ft3m³Ft3m³Ft3m³Ft3m³Ft31021002410411000352377.5102335110100003502370751020303521010010000023700750102003003520100291000100000023700010200035200996293710000352000996229307010000035200009961629300700352000002930004.8 FFU滤网检测：参考： ISO 14644-3：注1：洁净室及相关受控环境-第3部分：计量和测试方法。4.8.1检测频率： 4.8.2更换周期为1次/1年(依据检测结果而定)。 4.8.3 测试方法4.8.3.1对于每个2X4过滤器, 距离其表面150MM处均匀取2个读数4.8.3.2对于每个4X4过滤器, 距离其表面150MM处均匀取4个读数4.8.3.3平均风速：0.45 m/s ± 20%4.9 无尘室压力管控 规定不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差，应不小于5pa，洁净区与