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文档简介

半导体晶体结构、结构缺陷与高分辨X射线衍射王玉田 中国科学院半导体所课程简介：本课程系统地讲述了高分辨X射线技术的基本理论，设备结构，实验分析方法，以及对最新的半导体材料的表征。通过学习，为学生提供必要的实验技术基础。主要内容：第一章 半导体材料晶体结构与结构缺陷金刚石，闪锌矿，纤维锌矿结构 点缺陷，位错，层错 外延膜晶格应变与弛豫第二章 X射线双晶衍射X射线源 运动学理论 完整晶体的衍射峰宽度第三章 X射线限束单色化 平行化 duMond图 束线限束器第四章 异质外延多层膜的X射线双晶衍射单层外延膜的廻摆曲线 多层外延膜的衍射动力学 超晶格的衍射动力学第五章 X射线衍射的动力学理论色散面方程 高木方程 多层膜的衍射动力学 衬底的衍射动力学第六章 三轴衍射三轴衍射 倒易空间图 扫描和极图第七章 晶格参数的精确测量相对测量 绝对测量 晶格参数与SIGaAs的化学配比第八章 镶嵌结构（Mosaic structure）中位错密度与晶粒尺寸WilliamsonHall方法 Ploog方法 tilt和twist测量 共格长度L和L第九章 镜面反射单层膜的镜面反射 多层膜的镜面反射 GID方法

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