MEMS在手机中的运用

1、成员：。MEMS在手机中的运用目 录CONTENTSMEMS在手机中的运用02MEMS的概念01p 概念p 优点p MEMS加速计p MEMS陀螺仪p MEMS麦克风PARTONEMEMS概念1 MEMS的概念1优点 MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-Electro Mechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。 它是利用传统的半导体工艺和材料，用微米技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应电路集成为一个整体的技术。 l 相对于传统的机械，它们的尺寸更小；l 采

2、用以硅为主的材料，电气性能优良；l 采用与集成电路（IC）类似的生成技术，进行大批量、低成本生产，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。MEMSPARTTWOMEMS在手机中的运用2 MEMS在手机中的运用2 MEMS应用广泛，涉及航天航空，消费类电子、汽车工业等多领域。 在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用。 下面主要介绍三种运用为加速计、陀螺仪与MEMS麦克风。应用2 MEMS在手机中的运用3分为三种：压电式、容感式、热感式。MEMS加速计1. 压电式 运用压电效应，在其内部有一个刚体支撑的质量快，有运动的

3、情况下质量块会产生压力，刚体产生应变，把加速度转变成电信号输出。2 MEMS在手机中的运用4MEMS加速计2. 容感式 标准的平板电容器。加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板电容两极的间距和正对面积，通过测量电容变化量来计算加速度。2 MEMS在手机中的运用5MEMS加速计3. 热感式 内部没有任何质量块，中央有一个加热体，周边是温度传感器，里面是密闭的气腔，工作时在加热体的作用下，气体在内部形成一个热气团，热气团的比重和周围的冷气是有差异的，通过惯性，热气团的移动形成的热场变化让感应器感性到加速度值。2 MEMS在手机中的运用6MEMS加速计 根据终端设备的指向，MEMS加速计可以把

4、图像、视频等进行旋转。通过上下左右倾斜手机，可以查看手机菜单；还能检测到用户抖动手机的动作，可以用于跳转播放歌曲等。2 MEMS在手机中的运用7MEMS陀螺仪 MEMS陀螺仪是科里奥利力的最常见应用。旋转中的陀螺仪可对各种形式的直线运动产生反应，通过记录陀螺仪部件受到的科里奥利力可以进行运动的测量与控制。一般的MEMS陀螺仪由梳子结构的驱动部分和电容板形状的传感部分组成，是补充MEMS加速计功能的理想技术。2 MEMS在手机中的运用8MEMS陀螺仪 MEMS陀螺仪通常安装有两个方向的可移动电容极。径向的电容极加震荡电压迫使物体做径向运动，横向的电容极测量由于横向科里奥利运动带来电容变化。 因而

5、，MEMS陀螺仪内“陀螺物体”在驱动下不断做径向运动或震荡，可以由电容的变化计算出MEMS陀螺仪的角速度。 原理2 MEMS在手机中的运用9 如果组合使用加速计和陀螺仪这两种传感器，系统设计人员可以跟踪并捕捉三维空间的完整运动，为用户提供现场感更强的用户使用体验、精确的导航系统以及其他功能。 使用加速度计和陀螺仪实现手势识别，比如拍打、双击和摇动，进而激活某些功能和调节工作模式。2 MEMS在手机中的运用10MEMS麦克风 MEMS麦克风由两个芯片、MEMS传感 器单元和CMOS电路构成。声信号在MEMS中转换为电容的变化。CMOC IC将电容变化转换成数字或模拟输出电压，然后通过移动设备中的其他元件进行处理。优点：尺寸小、灵敏度高、信噪比高、与数字信号处理具有适应性，生产组装简单，稳定性好，在设备加工制造方面具有可扩展性、耐热性。2 MEMS在手机中的