KM---常见ESD防护及量测方法

1、1報告單位報告單位: BEOL BU 品管課品管課指導主管指導主管: 蔣偉蔣偉報報 告告 人人: 牛麗靜牛麗靜報告日期報告日期: 2007年年10月月23日日2內容概述靜電的成因及影響ESD的防護ESD量測方法3 ESC Electrostatic Charge(靜電充電)ESD Electrostatic Discharge(靜電放電)靜電的產生是物質表面經由某種過程 (如摩擦)而失去或得到電子,使其帶“不流動”的電荷稱為靜電.4靜電產生類型摩擦帶電-指電子束縛能力不同的兩種物體相接觸並分離時, 產生的靜電.摩擦帶電序列表,(見右圖):感應帶電-一帶電體與不帶電體相互靠近時,因電荷閒的相互作

2、用,不帶電體內部電荷會發生變化(見右圖) :+ + + + + + + + + + + + + + + - - - - - + - + - + - + - +空氣空氣人手人手玻璃玻璃皮毛皮毛紙張紙張木材木材聚酯薄聚酯薄膜膜鐵氟龍鐵氟龍Positive+Negative-5靜電吸附造成產品污染靜電放電造成產品击傷電磁干擾擾亂設備運行6+ + + + +Panel靜電吸附造成產品污染我們FEOL製程中為甚麼會產生亮亮點點,CELL內異內異物物等不良?+-產生靜電7內容概述靜電的成因及影響ESD的防護ESD量測方法8ESD發生的條件發生的條件急速充電電荷累積急速放電LCD製造流程中製造流程中ESD的

3、防護的防護 減少靜電源減少靜電源阻阻止電荷止電荷積累積累減緩產品放電減緩產品放電包裝材質的預防包裝材質的預防設備及人員接地設備及人員接地靜電消除器靜電消除器環境方面預防環境方面預防9 結論結論:在溫度25條件下,為有效防止靜電荷的產生,同時考慮產品和設備防腐問題,溼度保持在50%70%為最佳。環境溫溼度的範圍( (地毯上走動地毯上走動) )(塑膠地板上走動塑膠地板上走動)(工作台操作工作台操作)影響靜電充電的主要環境因素:相對溼度.下圖為人體在恒溫25,不同濕度下的帶電狀況:101.ESD防護的重要方法-接地消散.與產品相接觸設備的接地2.接地的目的: 使帶電體所產生的電荷迅速疏導至大地,抑制

4、電荷的累積,從而降低接觸產品時的充電量.11 (1)靜電接地的對象:對地絕緣的金屬導體,不管體積的大小都應對其接 地,不可因體積較小而忽略. 3.設備接地注意事項: (2)接地方式(如下圖):一般采用接地鏈或接地導線.12OKNGNG PS:ESD S20.20要求 -當人員在靜電防護區工作,且觸摸靜電敏感物時,都應使用靜電環.人員的接地靜電環:其穿戴方式如下圖:靜電衣:使人體的靜電維持在0電位;靜電鞋:通過接觸導電地板將人體產生的電荷導至大地.13ESD發生的條件發生的條件急速充電電荷累積急速放電LCD製造流程中製造流程中ESD的防護的防護 減少靜電源減少靜電源阻阻止電荷止電荷積累積累減緩產

5、品放電減緩產品放電包裝材質的預防包裝材質的預防設備及人員接地設備及人員接地靜電消除器靜電消除器環境方面預防環境方面預防14常見靜電消除器 PS:對於紙張、布匹以及產品運行過程等較難靠接地來解決電荷累積,必須使用靜電消除設備.ION FanION Bar靜電消除器的工作原理靜電消除器的工作原理是通過針尖放電,產生正負兩種電荷, 之後與產品產生的正負電荷相中和,最終達到減少電荷累積的目的.High VoltagePower Supply+15,000 VHigh VoltagePower Supply-15,000 V-+ION Fan 與產品閒距離範圍為30cm60cm;ION Bar與產品閒距

6、離範圍為15cm1m.16ESD發生的條件發生的條件急速充電電荷累積急速放電LCD製造流程中製造流程中ESD的防護的防護 減少靜電源減少靜電源阻阻止電荷止電荷積累積累減緩產品放電減緩產品放電包裝材質的預防包裝材質的預防設備及人員接地設備及人員接地靜電消除器靜電消除器環境方面預防環境方面預防17絕緣體 1012 /Square 靜電消散級 1051012/Square 導電級 105/Square材料等級分類依據表面阻抗值區分 PS:當產品接觸靜電消散級材質時,其所帶電荷可減緩釋放.目前,我們產線使用的靜電消散級材料,主要有: 導電地板,Cassette, tray盤, 傳送帶, PE片,EPP

7、-Box,均壓布,靜電衣以及靜電袋等.18ESD發生的條件發生的條件急速充電電荷累積急速放電LCD製造流程中製造流程中ESD的防護的防護 減少靜電源減少靜電源阻阻止電荷止電荷積累積累減緩產品放電減緩產品放電包裝材質的預防包裝材質的預防設備及人員接地設備及人員接地靜電消除器靜電消除器環境方面預防環境方面預防19內容概述靜電的成因及影響ESD的防護ESD量測方法20 1.Rtg量測(Surface-to Ground Resistance):點對地電阻量測,即接地電阻; 2.Rtt量測(Resistance Between Two points) :點對點電阻量測.量測方式: 檢測儀器-阻抗量測儀

8、: ESD的量測方法21阻抗量測方法: Rtg量測示意圖及實際量測圖Rtt量測示意圖及實際量測圖導電橡膠電極導電橡膠電極接地接地接地釦接地釦導電橡膠電極導電橡膠電極接地接地接地釦接地釦接地接地絕緣板絕緣板阻抗量測儀OKNGOKNG22量測方式量測物件量測阻值內定標淮值ESD S20.20標準值Rtg移動移動Buffer5.2*1053.2*106106109109MGV2.5*1054.8*107CST1.6*1062.1*108重型貨架重型貨架3.3*1053.0*107推車推車2.8*1054.5*108RttEPP-BOX1.9*1096.7*10101061091041011PET Tray 5.23*1071.36*101017靜電袋靜電袋6.21*1093.42*1010墊片紙墊片紙5.72*1064.53*108地板地板1.73*1051.12*1071