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文档简介

1、 姓姓 名:周杭超名:周杭超 专专 业:机械工程及其自动化业:机械工程及其自动化 指导老师:指导老师:XXX 设计时间:设计时间:2012.11.102013.6.5研究内容研究内容 喷雾液滴穿过小孔挡板,喷雾液滴穿过小孔挡板,在光滑平面吸附,通过显在光滑平面吸附,通过显微图像处理技术,实现液微图像处理技术,实现液滴粒径的自动测量。设计滴粒径的自动测量。设计的三向测试台用于上述喷的三向测试台用于上述喷雾液滴在光滑平面沉积吸雾液滴在光滑平面沉积吸附的取样。附的取样。喷雾液滴测量实验装置喷雾液滴测量实验装置创新点创新点1.1.实现了粒径自动化测量,减轻了劳动强度。实现了粒径自动化测量,减轻了劳动强

2、度。2.2.小孔挡板的使用,阻止了大部分的油雾流,从小孔挡板的使用,阻止了大部分的油雾流,从而避免液滴在硅片上的重叠。而避免液滴在硅片上的重叠。3.3.该装置对中性好,取得的液滴分布性好。该装置对中性好,取得的液滴分布性好。4.4.该设备可以有效地控制喷嘴到硅片的距离,实该设备可以有效地控制喷嘴到硅片的距离,实现连续化不同高度取样。现连续化不同高度取样。三向测试台基本参数三向测试台基本参数根据设计任务书,主要技术指标如下:根据设计任务书,主要技术指标如下:(1)小孔挡板的尺寸)小孔挡板的尺寸500500mm ;(2)工作行程)工作行程200300mm ;(3)喷嘴与小孔挡板的最大距离)喷嘴与小

3、孔挡板的最大距离130mm ;(4)小孔挡板与硅片的最大距离)小孔挡板与硅片的最大距离100mm ;(5)最小行程为)最小行程为1mm;(6)硅片的直径)硅片的直径100mm。一一. .三向测试台的总体方案设计三向测试台的总体方案设计二二. .滚珠丝杠螺母副的选型滚珠丝杠螺母副的选型三三. .滚动导轨的选型滚动导轨的选型四四. .步进电机选型步进电机选型五五. .其他部件(联轴器、轴承)的选型与其他部件(联轴器、轴承)的选型与设计设计设计步骤设计步骤 1.1.三向测试台总体方案设计三向测试台总体方案设计三向测试台运动图三向测试台运动图2.2.滚珠丝杠螺母副的选型滚珠丝杠螺母副的选型Y轴选用型号

4、为BSX1505-500滚珠丝杠副。其中BSX表示丝杠代号,15表示丝杆轴外径是15mm,05表示螺距是5mm,500表示丝杠总长是500mm。3.3.滚动导轨的参数选型滚动导轨的参数选型选择型号SV2R24的直线导轨 X导轨长400mm Y导轨长520mm Z轴导轨长340mm滑块4个 额定动载荷5.0KN额定静载荷8.23KN4.4.步进电机选型步进电机选型水平部分:选用步进电机的型号为5相PK系列PK569-A。垂直部分:滚珠丝杠传动效率高、摩擦小,摩擦角小于滚珠丝杠的螺旋角,因而在垂直方向上不能被自锁。因此选用电磁制动步进电机,型号为5相CRK系列PK564AWM。5.5.其他部件的选

5、型与设计其他部件的选型与设计联轴器选择联轴器选择联轴器选择CPDW32-8-10膜片联轴器。膜片联轴器是一种高性能的金属弹性元件挠性联轴器,不用润滑,结构较紧凑,强度高,受用寿命长。轴承选择轴承选择支承方式:一端固定,一端支承固定侧:双列角接触球轴承组件支承侧:深沟球轴承主要零部件的三维模型主要零部件的三维模型装配图装配图致谢致谢 大学学习生活即将结束,借此机会,我要感谢所有大学学习生活即将结束,借此机会,我要感谢所有机械学院的老师在四年里为我们付出的一切,谢谢您们机械学院的老师在四年里为我们付出的一切,谢谢您们对我们的谆谆教诲和关心,感谢您们陪伴我们度过人生对我们的谆谆教诲和关心,感谢您们陪伴我们度过人生中最幸福美好的大学生活!中最幸福美好的大学生活! 最后要感谢许老

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