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文档简介
1、25MW多晶硅太阳能电池片制造线设备及动力要求主要耗材:(1)制绒清洗:(绒面;在每个平方硅表面形成几百万个金字塔结构,用来增加光的吸收,提高电池转换效率,制绒前,硅片须先进行表面腐蚀,用碱性后酸性腐蚀液蚀去约20-25um。)NaOH、HC1、DIWater、N2、HF、高压空气、工水(2)磷扩散:(形成pn结)POCL3、N2、02、高压空气、冷却水(3)去PSG漂洗(清洗腐蚀机):(去除扩散制结后在硅表面形成的一层磷硅玻璃)HF、DIWater、N2、工水(4)等离子刻蚀(刻边机):(对太阳能电池周边的参杂硅进行刻蚀,以去除电池边缘的pn结)cCF4、O2、N2、高压空气(5)PECVD
2、(镀膜;减反射膜);(为了减少电池表面反射,提高电池的转换效率)。NH3、SiH4、CF4、N2、O2、冷去水(6)丝网印刷:(为了将电池产生的电流导出,需要在电池表面制作正负两个极)。银/铝浆、N2(7)备用承载工具:号序承载器件规格1片盒125X1252片盒156X1563花篮装4盒4花篮装12盒5石墨舟125X125(196片)6石墨舟156X156(168片)参考单价数参考总价(丫万备注(¥元)量(件)元)22004008824004009642002510.560002012100000660根据产量选配100000660根据产量选配设备的基本动力要求电力(KVA)冷却水(
3、L/min)去离子水(L/min)CDA(L/min)氮气(L/min)排放(m3/min)排风(m3/h)注最大平均最大平均最大平均最大平均1净干燥压缩空15001200300300150200010002501002010000气其它根据设计的不同而变化(2) 厂房设计要求、辅助系统、参考价格(1)25MW电池片生产线预计需要使用面积约1500平方米,厂房高度约44.5米左右厂房洁净等级:要求达到10万级,扩散、刻蚀区域万级以上。(3) 辅助系统:DI水制备系统、气体制备系统、电力系统、排风系统、废液(气)处理系统等。(4) 物流设备及其他设备。整个厂房需要投入的动力系统、供电系统、净化间
4、、空调系统、化学系统、管路系统、消防系统等,预计总价值为2500万元。工序工艺过程所用设备处理能力设备厂商单价1制绒清洗多晶制绒清洗机1400片/小时七星电子180万2磷扩散扩散炉(4管)1600片/小时七星电子170万3电阻率测试四探针测试仪抽检七星电子7万4去PSG漂洗清洗腐蚀机1400片/小时七星电子60万5等离子周边刻蚀MCP刻边机1600片/小时七星电子16万6减反射膜制备PECVD(2管)满足25MW七星电子240万7背面电极印刷丝网印刷机进口或国产8背面电极印刷烘干烘干炉1400片/小时进口或国产9铝背场印刷进口或国产10铝背场印刷烘干烘干炉1400片/小时进口或国产11正向电极印刷进口或国产12正向电极印刷烘干烘干炉1400片/小时进口或国产13烧结烧结炉1400片/小时进口或国产
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