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文档简介

1、磷扩散笔记多晶硅扩散氧化层对太阳电池性能的影响_周艺.pdf 扩散前通氧的影响多晶硅太阳电池低温变温扩散工艺的优化_周艺.pdf 低温扩散优于高温扩散的原因：磷吸杂效果好，进多晶硅太阳电池低温变温扩散工艺的优化_周艺.pdf由氧化层厚度估算化学反应扩散掺杂量的研究.docx 4POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2（1） 2P2O5+5Si=5SiO2+4P （2） 干氧与硅也会直接发生反应生成SiO2薄膜，但干氧氧化速率相当低，在硅太阳电池的液态源磷扩散的条件下（900，1015min），干氧与硅直接反应生成的SiO2薄膜在10nm左右，可以忽略不计，亦可做为修正因子，SiO2薄膜主要是由

2、反应式（1）和（2）生成的。 反应式（2）的氧化机理是：高温下的P2O5分子与硅片表面的Si原子反应，生成SiO2起始层，此后，由于氧化层阻止了P2O5分子与硅片表面的直接接触，P2O5分子只有以扩散方式通过SiO2层，到达SiO2-Si界面，才能与Si原子反应，生成新的SiO2层和P原子。 在900时，磷在硅中的扩散系数约为其在二氧化硅中的100倍，而且磷在硅中的固溶度约为其在二氧化硅中的10倍，可以认为所生成的磷原子绝大多数扩入了硅片中。扩散装备发展现状及发展趋势_曹孙根.pdf晶体硅太阳电池制作中的扩散工艺研究_何堂贵.caj磷在p型硅中扩散工艺研究_曹储辉.caj1、片内均匀性，随片间距增大而改善，2、磷扩散过程分为几个部分3、减少干氧的量，方阻降低，且减少氧化膜也提高硅片扩散的片均匀性硅太阳电池扩散方阻均匀性研究_

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