激光微加工系统3

1、Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司1激光微加工系统Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司2激光微加工系统激光微加工准分子激光微加工飞秒激光微加工Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司3激光微加工微加工的概念 微细加工( micro-fabricat ion) 起源于半导体制造工艺, 是指加工尺度在微米级范围的加工方式, 在微机械研究领域中, 它是微米级, 亚微米级乃至纳米级微细加工的通称。 Microfabric

2、ation 微细加工（结构，功能，性能） Micromachining 精细加工（尺寸精确，机械加工）区别于传统的激光加工 激光微加工区别于传统的激光焊接、切割、打孔、表面改性等，包含范围非常广，能无限激发人的创造力。微加工分类 微细加工方式十分丰富, 包含了各种现代特种加工, 高能束等加工方式。而微机械制造过程又往往是多种加工方式的组合。目前, 常用的有以下方法:Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司4etching technologyLIAGphotolithogr aphy漆胶1.化学异向蚀刻光刻显影2.离子束蚀刻3.激光蚀刻

3、X射线曝光电铸成形注塑激光微加工常用方法Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司5中北大学、四川马尔斯等科研单位光栅加工的常规工艺瀚宇科技激光微加工系统激光直刻技术制作光栅的工艺激光微加工Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司6激光微加工优势使用灵活工艺简单材料广泛系统多用Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司7激光微加工准分子（Excier）微加工 准分子激光由于具有波长短(250nm) , 聚焦直径小, 功率谱密度

4、高, 且属于冷光源等优点而成为最有前途的激光源。准分子激光蚀刻技术是当前激光微细加工最先进的技术之一。目前常用的有氟化氩准分子激光和氯化氙准分子激光。.飞秒（Femto）微加工 飞秒激光微加工是当今世界激光、光电行业中极为引人注目的前沿研究方向。 因其具有能耗低，加工材料广泛，高精度，高质量，高分辨率，对环境没有特殊要求，无污染等特点，推动激光微加工向低成本，高可靠性，多用途，产业化方向发展。Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司8准分子激光微加工特点高分辨率高精度高能量密度“冷”光源直径小Hisky Technology (Hong

5、 Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司9OPTEC简介OPTEC专业使用准分子和脉冲激光设计和搭建微加工系统。与ATL和GSI Lumonics密切合作超过15年，提供一切系统组件，小型工作站，交钥匙工业应用。OPTEC提供一站式解决集成加工知识，创新功能，客户定制和工业可靠性。OPTEC的加工系统正在全球推行，他们与合作正在密切合作。Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司10OPTEC准分子激光加工系统OPTEC主要加工系统型号：MicroMasterProMasterLSV3MAS300LightBench-RxL

6、AP2000 Processing ToolsLaser Trimming ToolsHisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司11MicroMasterHisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司12MicroMasterMask 掩膜掩膜BDU 光束传输装置光束传输装置Motion 位移台位移台Laser ATL准分子激光器准分子激光器 Vision 双相机所见即所得双相机所见即所得系统系统Lens 紫外微加工透镜紫外微加工透镜Software ProcessPower 软件软件H

7、isky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司13MicroMaster规格激光 波长 248nm（193nm可选） 脉冲能量 14mJ 在248nm(10mJ 在193nm) 重复频率 300Hz（500Hz可选） 脉宽5-6ns 光斑46mm 发散21mradHisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司14MicroMaster规格光束传播 能量控制 5-95% 缩倍4-20 紫外光学分辨率 1.5mm 焦距 25mm 目标能量密度 0.25-10J/cm2，使用光束汇聚选件可达25J/

8、cm2 视场 离轴40X，同轴150-500X由透镜缩倍决定Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司15MicroMaster规格加工对象定位 XY移动 200200mm XY分辨率 1mm XY重复定位精度 1mm XY速度 40mm/sHisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司16MicroMaster特点： 激光光束亮度高且短脉冲 掩模投影缩倍由电脑控制，连续可变 X,Y定位于刚性花岗岩上，线性驱动，分辨率为1m 机动焦点控制（沿Z轴） 配有同轴和离轴相机，模式识别软件可选

9、功能全面的PcoessPower软件 CAD/CAM界面 快速响应时间，易于操作的软件程序 Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司17MicroMaster性能： 材料对紫外激光微加工具有最小的热影响区，包括包括各种不同的聚合物，陶瓷，玻璃，金属，薄膜。在248nm和193nm之间可以使用光学转换套件。 加工典型特征值为5mm-2mm。掩模选择可以通过32图案掩模板，和/或电动矩形光阑进行。可以组合图案。复杂图案模式可以通过控制激光发射和零件移动来实现。Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技

10、(香港)有限公司18MicroMaster性能 选择加工效果最佳缩倍（ 4-20X ），全自动（MicroMaster独有的特点） 能量密度为0.25-10J/cm2,良好的软件程序辅助选择最佳工艺参数。 光学分辨率1.5mm， 材料和能量密度定义了Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司19MicroMaster应用：选择性的去除聚合物微型钻孔/开槽微铣削/表面结构。3D结构，含透镜薄金属膜图案。OLEDs，微流体，传感器聚合物-陶瓷-金属-无机材料 Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(

11、香港)有限公司20ProMasterHisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司21ProMasterLaser ATL准分子激光准分子激光器器Mask 掩膜掩膜Energy 能量控能量控制器制器Stability 天然花岗岩天然花岗岩Motion 位移台位移台Focus 动态聚动态聚焦镜焦镜Lens 紫外投影紫外投影透镜透镜Theta 旋转台旋转台Part 真空吸盘真空吸盘Shield 同轴气体喷嘴同轴气体喷嘴Cover 安全罩安全罩Image 同轴视场同轴视场Software ProcessPower 软件软件Hisky Technol

12、ogy (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司22ProMaster规格激光 波长 248nm（193nm可选） 脉冲能量 14mJ 248(10mJ 193) 重复频率 0-300Hz（500Hz可选），由软件控制 脉宽5-6ns 光斑46mm 发散21mradHisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司23ProMaster规格光束传输 能量密度 0.5-5J/cm2，手动设置分级控制能量密度。附加的内部聚光镜使用户自定义能量密度范围 标准掩膜选择 线性电动32图案选择器，包括圆形、方形和条纹的标准掩膜。用户自

13、定义的掩膜也可以使用 加工分辨率 1.5mm 视场 同轴视场，全屏放大为400XHisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司24ProMaster规格加工对象定位 零件固定 直径80mm真空吸盘 XY移动 100100mm XY分辨率 1mm XY重复定位精度 1-2 mmHisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司25ProMaster性能性能: ProMaster使用超短波长和ns级脉宽的紫外准分子激光，确保对加工对象的最高峰值功率耦合。加工精度可以达到mm量级，并且切口和热效应都极

14、小。 ProMaster使用掩膜投影来选定加工对象的加工区域。从32个图案中选择合适图案，逐次重复，或移动X,Y直接刻写复杂的图案。新的“智能光阑”选件是将图案（圆形、三角形）与受程序控制的矩形光阑结合，产生无限的组合图案，并存储在计算机里作为“虚拟掩膜”来调用。Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司26ProMaster性能： 图特的共焦特性，通过聚光透镜可以观察到加工对象；当加工对象聚焦在TV中心时，激光自动聚焦在加工对象上。WYSIWYG=所见即所得。选择合适的图案，发射激光进行精确加工。 易于操作的ProcessPower软件

15、集成CCTV和图像处理功能，接受CAD输入。 紫外激光微加工的材料包括范围广阔的聚合物、薄金属和氧化物薄膜。可以应用于钻磨，在绝缘层剥电接触点，分离金属连接，刻写新的导电轨道。Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司27MicroMaster与ProMaster区别Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司28LSV3Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司29LSV3特性和规格:Hisky Technology (Hong

16、 Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司30LSV3特性和规格Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司31MAS-300Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司32MAS-300主要特点：主要特点： 定制可立即使用的系统 内置小型激光器和气体供应装置 可选的大型或小型激光器 模块化LightBench光学支持：易于重新配置，保证可重复性的结果 所见即所得的光学模式代替猜测，影像聚焦在CCTV中心即可开始加工 手动或电动聚焦、控制深度 大范围加工对象固定/定位选项 P

17、rocessPower软件接受CAD输入Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司33MAS-300应用：应用： 聚合物加工与修整 薄膜图案 医疗设备制造 微流体 OLED 微铣削Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司34LAP2000 Laser Processing ToolHisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司35LAP2000 Laser Processing Tool规格激光类型 准分子（供应商和型号可选）工作

18、波长 248nm（183nm可选）脉冲能量 可达700mJ重复频率 可达200Hz目标能量密度 0.5-5J/cm2XY移动 300300mmXY速度 100mm/s分辨率 1mmHisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司36LAP2000 Laser Processing Tool特性 激光烧蚀清除聚合物不损失金属或基地 激光光斑分布均匀 计算机选择烧蚀部分或加工区域 兼容CAD 高效排烟Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司37LightBench-RxHisky Techn

19、ology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司38LightBench-Rx光学：光学： 波长 193nm，248nm，355nm，532nm，1064nm 精确能量密度 0.1J/cm2 到 25J/cm2 加工材质 聚合物，无机物，金属 视场 达2mm 机加工分辨率 2,4 GW峰值功率）。系统通过一级的激光安全罩得到有效保护并通过单SCA工程软件窗口来控制。Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司52飞秒激光加工机床飞秒激光加工机床FemtoFAB特点：特点： 高速的制造速度-达到350 000 px/s 亚微米分辨率来制造难处理物体 飞秒微加工模式时最小热影响区 Aerotech立足于精确的物体定位通过亚微米精度 精密激光束控制运用高性能的检流计扫描器 发射编号控制（单个到350 kHz） 时空中移动目标激光脉冲的同步 原有软件接口是为控制所有集成硬件设备而设Hisky Technology (Hong Kong) Li